【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微机电系统装置，具体涉及一种微机电系统谐振器及微机电系统振荡器。
技术介绍
1、微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)谐振器是使机械结构在其固有频率振动的装置。其中，微机电系统谐振器可以与维持电路集成，从而构成微机电系统振荡器。而基于微机电系统谐振器的振荡器不仅具有高频高电容的优点，而且其制造工艺与集成芯片技术兼容，可实现微机电系统谐振器与维持电路在同一芯片集成，促使整个系统小型化。
2、因此，近年来，基于微机电系统谐振器的振荡器引起人们越来越多的关注。微机电系统谐振器目前正被开发用于各种各样的应用。例如，其可以用在电子装置的时钟电路中以生成时钟信号。
3、其中，微机电系统谐振器通常包括驱动谐振结构运动的一个或多个驱动电极、以及感测谐振结构位置变化以输出感应信号的一个或多个感测电极。然而，现有的电极配置往往导致驱动电极直接电容耦合到感测电极，从而导致驱动电极与感测电极之间形成较大的馈通电容，该馈通电容将影响感应信号的完整性。
4、因此，如何避免驱动电极与感测电极之间形成较大的馈通电容是现有微机电系统谐振器厂家亟需解决的难题。
技术实现思路
1、本申请提供一种微机电系统谐振器及微机电系统振荡器，能够抑制微机电系统谐振器的驱动电极与感测电极之间形成较大的馈通电容。
2、第一方面，本申请提供一种微机电系统谐振器，所述微机电系统谐振器包括以预设振动模态振动的谐振结构；用于驱动所述谐振结
3、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述驱动电极包括第一驱动电极和第二驱动电极，所述感测电极包括第一感测电极和第二感测电极，所述隔离电极包括第一隔离电极和第二隔离电极；其中，所述第一隔离电极和所述第二隔离电极分别位于所述谐振结构的相对两侧，所述第一驱动电极和所述第一感测电极分别位于所述第一隔离电极的相对两侧，所述第二驱动电极和所述第二感测电极分别位于所述第二隔离电极的相对两侧。
4、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述谐振结构呈环形。
5、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述驱动电极包括第三驱动电极、第四驱动电极和第五驱动电极，所述感测电极包括第三感测电极、第四感测电极和第五感测电极，所述隔离电极包括第三隔离电极、第四隔离电极和第五隔离电极；其中，所述第三隔离电极和所述第四隔离电极分别位于所述谐振结构的相对两侧，所述第三驱动电极和所述第三感测电极分别位于所述第三隔离电极的相对两侧，所述第四驱动电极和所述第四感测电极分别位于所述第四隔离电极的相对两侧，所述第五驱动电极、所述第五感测电极以及所述第五隔离电极均位于所述谐振结构的中心区域，且所述第五隔离电极位于所述第五感测电极和所述第五驱动电极之间。
6、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述第三驱动电极以及所述第四驱动电极分别与所述第五驱动电极构成差分驱动电极。
7、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述感测电极和所述驱动电极对称分布。
8、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述感测电极和所述驱动电极的数量相等。
9、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述谐振结构接入直流电压信号，所述驱动电极接入交流电压信号。
10、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述谐振结构的材料包括硅、锗、碳、硅锗和砷化镓中的一种和多种的组合。
11、第二方面，本申请还提供一种微机电系统振荡器，所述微机电系统振荡器包括维持电路模块以及如上所述的微机电系统谐振器，所述维持电路模块与所述微机电系统谐振器电连接。
12、本申请提供的微机电系统谐振器以及微机电系统振荡器，包括谐振结构、驱动电极、感测电极以及隔离电极。其中，对应的驱动电极和感测电极被配置为至少两对，位于同一侧之相邻的驱动电极和/或所述感测电极之间设置有隔离电极。在本申请实施例中，将隔离电极设置于位于同一侧之相邻的驱动电极和/或所述感测电极之间，从而可以抑制驱动电极和/或感测电极之间的电容耦合，从而可以避免驱动电极和/或感测电极之间形成较大的馈通电容，进而能够保证感应信号的完整性，提升用户的使用体验。
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1.一种微机电系统谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述驱动电极包括第一驱动电极和第二驱动电极，所述感测电极包括第一感测电极和第二感测电极，所述隔离电极包括第一隔离电极和第二隔离电极；其中，所述第一隔离电极和所述第二隔离电极分别位于所述谐振结构的相对两侧，所述第一驱动电极和所述第一感测电极分别位于所述第一隔离电极的相对两侧，所述第二驱动电极和所述第二感测电极分别位于所述第二隔离电极的相对两侧。
3.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述谐振结构呈环形。
4.根据权利要求3所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述驱动电极包括第三驱动电极、第四驱动电极和第五驱动电极，所述感测电极包括第三感测电极、第四感测电极和第五感测电极，所述隔离电极包括第三隔离电极、第四隔离电极和第五隔离电极；其中，所述第三隔离电极和所述第四隔离电极分别位于所述谐振结构的相对两侧，所述第三驱动电极和所述第三感测电极分别位于所述第三隔离电极的相对两侧，所述第四驱动电极和所述第四感测电极分别位于所述第四隔离电极的相对两
5.根据权利要求4所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述第三驱动电极以及所述第四驱动电极分别与所述第五驱动电极构成差分驱动电极。
6.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述感测电极和所述驱动电极对称分布。
7.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述感测电极和所述驱动电极的数量相等。
8.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述谐振结构接入直流电压信号，所述驱动电极接入交流电压信号。
9.一种微机电系统振荡器，其特征在于，所述微机电系统振荡器包括维持电路模块以及如权利要求1-8任一项所述的微机电系统谐振器，所述维持电路模块与所述微机电系统谐振器电连接。
...【技术特征摘要】
1.一种微机电系统谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述驱动电极包括第一驱动电极和第二驱动电极，所述感测电极包括第一感测电极和第二感测电极，所述隔离电极包括第一隔离电极和第二隔离电极；其中，所述第一隔离电极和所述第二隔离电极分别位于所述谐振结构的相对两侧，所述第一驱动电极和所述第一感测电极分别位于所述第一隔离电极的相对两侧，所述第二驱动电极和所述第二感测电极分别位于所述第二隔离电极的相对两侧。
3.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述谐振结构呈环形。
4.根据权利要求3所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述驱动电极包括第三驱动电极、第四驱动电极和第五驱动电极，所述感测电极包括第三感测电极、第四感测电极和第五感测电极，所述隔离电极包括第三隔离电极、第四隔离电极和第五隔离电极；其中，所述第三隔离电极和所述第四隔离电极分别位于所述谐振结构的相对两侧，所述第三驱动电极和所述第三感测电极分别位于所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷永庆，吴振云，李明，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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