温度检测电路及MEMS振荡器制造技术

本申请公开一种温度检测电路及MEMS振荡器，其中温度检测电路应用于MEMS振荡器，所述MEMS振荡器具有第一振荡电路和第二振荡电路，所述第一振荡电路用于输出具有第一频率的第一电信号，所述第二振荡电路用于输出具有第二频率的第二电信号；所述温度检测电路包括锁相模块和温度确定单元；所述锁相模块用于根据所述第二电信号与所述第一电信号两者之间频率的比值输出输出电压信号；所述温度确定单元用于对所述输出电压信号进行拟合，以得到温度信息。本申请能够得到更为精确的温度信息。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电路，具体涉及一种温度检测电路及mems振荡器。

技术介绍

1、温度变化导致的测量差异是微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)振荡器面临的重大挑战之一。现有的降低温度对mems振荡器的影响方式可以分为两大类，分别为无源补偿或有源补偿。

2、无源补偿包括使用不同温度系数的材料制造mems振荡器，以及使用不同的掺杂材料或者不同掺杂浓度来降低温度依赖性。而有源补偿包括根据当前温度对mems振荡器施加受控电压以改变其结构体中的物理特性，最终对mems振荡器的谐振频率进行补偿。有源补偿虽然可以达到更宽的温度补偿范围，但需要高精度的温度测量。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供了一种温度检测电路及mems振荡器，以提升mems振荡器中温度测量的精度。

2、本申请提供一种温度检测电路，所述温度检测电路应用于mems振荡器，所述mems振荡器具有第一振荡电路和第二振荡电路，所述第一振荡电路用于输出具有第一频率的第一电信号，所述第二振荡电路用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种温度检测电路，其特征在于，所述温度检测电路应用于MEMS振荡器，所述MEMS振荡器具有第一振荡电路和第二振荡电路，所述第一振荡电路用于输出具有第一频率的第一电信号，所述第二振荡电路用于输出具有第二频率的第二电信号；所述温度检测电路包括数字锁相单元、环形锁相单元和温度确定单元；

2.根据权利要求1所述的温度检测电路，其特征在于，所述第二电信号对温度相对敏感，所述第一电信号对温度相对不敏感；和/或，所述第一频率大于所述第二频率。

3.根据权利要求1所述的温度检测电路，其特征在于，所述环形锁相单元包括鉴频鉴相器、电荷泵、环路滤波器、压控振荡器和分频器；

<...

【技术特征摘要】

1.一种温度检测电路，其特征在于，所述温度检测电路应用于mems振荡器，所述mems振荡器具有第一振荡电路和第二振荡电路，所述第一振荡电路用于输出具有第一频率的第一电信号，所述第二振荡电路用于输出具有第二频率的第二电信号；所述温度检测电路包括数字锁相单元、环形锁相单元和温度确定单元；

2.根据权利要求1所述的温度检测电路，其特征在于，所述第二电信号对温度相对敏感，所述第一电信号对温度相对不敏感；和/或，所述第一频率大于所述第二频率。

3.根据权利要求1所述的温度检测电路，其特征在于，所述环形锁相单元包括鉴频鉴相器、电荷泵、环路滤波器、压控振荡器和分频器；

4.根据权利要求3所述的温度检测电路，其特征在于，所述环形锁相单元还包括调制器；

5.根据权利要求1所述的温度检测电路，其特征在于，所述数字锁相单元还包括累加器、计数器和数字环形滤波器；

6.根据权利要求5所述的温度检测电路，其特征在于，所述数字锁相单元还包括相位预测模块；

7.根据权利要求1所述的温度检...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄寿，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：