【技术实现步骤摘要】
一种用于取放晶圆的机械手臂
[0001]本技术涉及半导体晶圆制造领域，尤其涉及一种用于取放晶圆的机械手臂
。
技术介绍
[0002]直拉法拉制的晶棒在被线切割后便可以获得多个晶圆，在后续的加工过程中，晶圆会被临时存放在比如晶圆盒之类的晶圆承载装置中以便于运输等操作，在需要使用或加工时从晶圆承载装置中取出
。
[0003]如上所述的将晶圆放置到比如晶圆盒中或者将晶圆从晶圆盒中取出通常都是通过机械手臂的操作来完成的
。
但是，并不是所有的机械手臂都经过了示教，从而比如在机械手臂将载持着的晶圆放入到晶圆盒中时能够将晶圆放置到晶圆盒中正确的位置，或者在机械手臂将放置在晶圆盒中的晶圆取出时能够准确地对晶圆进行拾取，因此可能会产生机械手臂在移动的过程中被晶圆盒阻挡的问题
。
而且，即使经过了示教的机械手臂，在比如晶圆盒的位置放置不当时，仍然会存在被晶圆盒阻挡的问题
。
另外在机械手臂的示教过程中，不同型号晶圆盒中用于承载晶圆的位置或者说机械手臂的示教方位是不同的，需...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种用于取放晶圆的机械手臂，其特征在于，所述机械手臂包括：多个节段；至少一个弹性连接件，所述至少一个弹性连接件用于相应地连接所述多个节段中的至少一组节段，其中，每组节段由相邻的两个节段组成，使得被所述弹性连接件连接的两个节段中的一者受到外力作用时，能够克服所述弹性连接件的弹性回复力相对于所述两个节段中的另一者产生位置的改变
。2.
根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述弹性连接件为弹性绳
。3.
根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述弹性绳包括外鞘和内芯
。4.
根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述外鞘由复合材料制成，所述复合材料含涤纶纱
、
尼龙纱和高弹纱，所述涤纶纱
、
所述尼龙纱和所述高弹纱的质量占比分别为
26
％至
30
％
、26
％至
...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓鹏，叶柯柯，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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