【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅长管烧结炉
[0001]本技术涉及碳化硅长管领域,特别涉及一种碳化硅长管烧结炉
。
技术介绍
[0002]碳化硅烧结炉是一种间歇式感应加热炉,碳化硅烧结炉主要用于硬质合金
、
粉末冶金行业生产各种粒度的碳化钨粉
、
碳化钛粉
、
碳化钒粉等金属粉末及复合金属粉末
。
[0003]申请人经过检索发现中国申请公开了“一种碳化硅烧结炉”,其公开
(
公告
)
号为“CN206609279U”,该专利主要型采用的长方筒形电阻件,使整个炉体空腔内受热均匀,从而加热碳化硅更为均匀,炉体温度可达到
2600
度,完全能够满足碳化硅的烧结温度,同时,温度测量器及压力测量器均采用两种不同的测量方式,使测量更为准确,从而提高烧结精度,采用控制器智能控制,实现半自动化碳化硅烧结,提高产品生产效,但是在使用的时候烧结炉的内部产生大量的一氧化碳,直接将一氧化碳排出,容易造成环境的污染,为操作人员带来危害,并且在使用的时候,一氧化碳不方便均匀的分布在烧结炉的内部与碳化硅加热进行反应,导致碳化硅长管在进行烧结的过程中合成的效率不高
。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种碳化硅长管烧结炉,以解决上述
技术介绍
中提出的在使用的时候烧结炉的内部产生大量的一氧化碳,直接将一氧化碳排出,容易造成环境的污染,为操作人员带来危害,并且在使用的时候,一氧化碳不方便均匀的分布在烧结炉的内部与碳化硅加热进
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种碳化硅长管烧结炉,包括烧结炉保温壳
(1)
,其特征在于:所述烧结炉保温壳
(1)
的内部设置有烧结炉主体
(2)
,所述烧结炉主体
(2)
的表面和烧结炉保温壳
(1)
的内壁共同固定连接有多个支撑组件
(3)
,所述烧结炉主体
(2)
的内部设置有气体均布管
(4)
,所述气体均布管
(4)
的右端与烧结炉保温壳
(1)
内壁的右侧固定连接,所述烧结炉保温壳
(1)
顶面的右侧固定连接有气体处理箱
(5)
,所述气体处理箱
(5)
内壁的右侧固定连接有进气管
(6)
,所述气体处理箱
(5)
内部的下方设置有
HCl
‑
CuCl
溶液
(23)
,所述气体处理箱
(5)
内壁的上侧固定连接有活性炭过滤板
(7)
,所述气体处理箱
(5)
内壁位于活性炭过滤板
(7)
的下侧固定连接有过滤网
(8)。2.
根据权利要求1所述的一种碳化硅长管烧结炉,其特征在于:所述气体均布管
(4)
的表面开设有多个出气口
(9)
,多个所述出气口
(9)
的内壁均固定连接有气体单向阀
(10)。3.
根据权利要求1所述的一种碳化硅长管烧结炉,其特征在于:所述气体处理箱
(5)
左面的上侧固定连接有进液管
(11)
,所述气体处理箱
(5)
左面的下侧固定连接有出液管
(12)
,所述进液管
(11)
的管壁和出液管
(12)
的管壁均固定连接有阀门
(13...
【专利技术属性】
技术研发人员:季学强,陆益,刘学,李培刚,
申请(专利权)人:合肥安芯睿创半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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