应用于检测系统的自动变焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种应用于检测系统的自动变焦装置

【技术实现步骤摘要】
应用于检测系统的自动变焦装置


[0001]本技术涉及检测设备
，尤其涉及一种应用于检测系统的自动变焦装置
。

技术介绍

[0002]原来客户此类芯片的侧面检测是人工在手动显微镜下检测，通过人工调整显微镜物镜距离，来观察判断芯片侧面尺寸，生产效率低
、
消耗人力
、
品质不稳定
、
易造成漏检
、
二次污染
、
及作业过程中造成产品损伤
。
[0003]现有技术中，
CN201320090458.1
一种全自动变焦显微镜，虽然可以自动调节，但是其调节得精准度不够，无法是适配于小型得芯片使用
。
[0004]因此有必要设计一种应用于检测系统的自动变焦装置来解决以上问题
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是，提供一种应用于检测系统的自动变焦装置，以克服目前现有技术存在的上述不足
。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种应用于检测系统的自动变焦装置，其包括安装座
、
设置在安装座上的变焦驱动组件，其特征在于：还包括受所述变焦驱动组件驱动的检测单元
、
垂直于所述检测单元设置的真空吸附单元
、
以及垂直于所述真空吸附单元设置的点光谱传感器
。
[0008]优选的，所述变焦驱动组件
、
检测单元
、
真空吸附单元
、
以及点光谱传感器均处于同水平面置
。
[0009]优选的，所述点光谱传感器通过安装块安装在所述安装座上，且置于所述真空吸附单元下方
、
检测单元的上方
。
[0010]优选的，所述变焦驱动组件包括设置在所述安装座上的滑轨
、
通过滑块滑动安装在所述滑轨上的相机安装座
、
与所述滑块相连接的
CCD
变焦丝杆模组
、
以及驱动所述
CCD
变焦丝杆模组的
CCD
变焦步进马达
。
[0011]优选的，所述检测单元包括
CCD
相机
、
设置在所述
CCD
相机镜头前的显微物镜
、
设置在所述
CCD
相机旁侧的点光源
。
[0012]优选的，在所述显微物镜的镜头前端还设置有定位治具
。
[0013]优选的，所述真空吸附单元包括安装在所述安装座侧边的升降丝杆模组
、
驱动所述升降丝杆模组运动的步进马达
、
受所述升降丝杆模组驱动移动的安装板
、
安装于所述安装板端部的真空吸附头
。
[0014]本技术的有益效果是：本技术方案通过设置点光谱传感器，通过点光谱传感器对芯片侧面测量距离，变焦驱动组件根据点光谱测距尺寸，驱动
CCD
变焦丝杆模组从而移动到
20
倍显微物镜视野内，从而实现自动变焦，并自动检测
、
自动输出检测结果，生产效率大大提高，检测品质得到保证
。
附图说明
[0015]图1为本技术一种应用于检测系统的自动变焦装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术一种应用于检测系统的自动变焦装置的第二视角结构示意图；
[0017]图中：
1、
安装座；
2、
变焦驱动组件；
3、
检测单元；
4、
真空吸附单元；
5、
点光谱传感器；
21、
滑轨；
22、
滑块；
23、
相机安装座；
24、CCD
变焦丝杆模组；
25、CCD
变焦步进马达；
31、CCD
相机；
32、
显微物镜；
33、
点光源；
6、
定位治具；
41、
升降丝杆模组；
42、
步进马达；
43、
安装板；
44、
真空吸附头
。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0020]参照图1至图2，一种应用于检测系统的自动变焦装置，其包括安装座
1、
设置在安装座1上的变焦驱动组件
2、
受所述变焦驱动组件2驱动的检测单元
3、
垂直于所述检测单元3设置的真空吸附单元
4、
以及垂直于所述真空吸附单元4设置的点光谱传感器
5。
[0021]所述变焦驱动组件
2、
检测单元
3、
真空吸附单元
4、
以及点光谱传感器5均处于同水平面
。
[0022]所述点光谱传感器5通过安装块安装在所述安装座1上，且置于所述真空吸附单元4下方
、
检测单元3的上方
。
[0023]所述变焦驱动组件2包括设置在所述安装座1上的滑轨
21、
通过滑块
22
滑动安装在所述滑轨
21
上的相机安装座
23、
与所述滑块
22
相连接的
CCD
变焦丝杆模组
24、
以及驱动所述
CCD
变焦丝杆模组
24
的
CCD
变焦步进马达
25。
通过
CCD
变焦步进马达
25
转动带动
CCD
变焦丝杆模
24
组伸缩，从而推动所述滑块
22
沿着所述滑轨
21
移动，即带动相机安装座移动，且所述检测单元3安装在所述相机安装座
23
上
。
[0024本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种应用于检测系统的自动变焦装置，其包括安装座
、
设置在安装座上的变焦驱动组件，其特征在于：还包括受所述变焦驱动组件驱动的检测单元
、
垂直于所述检测单元设置的真空吸附单元
、
以及垂直于所述真空吸附单元设置的点光谱传感器
。2.
根据权利要求1所述的一种应用于检测系统的自动变焦装置，其特征在于：所述变焦驱动组件
、
检测单元
、
真空吸附单元
、
以及点光谱传感器均处于同水平面置
。3.
根据权利要求1所述的一种应用于检测系统的自动变焦装置，其特征在于：所述点光谱传感器通过安装块安装在所述安装座上，且置于所述真空吸附单元下方
、
检测单元的上方
。4.
根据权利要求1所述的一种应用于检测系统的自动变焦装置，其特征在于：所述变焦驱动组件包括设置在所述安装座上的滑轨
、
通过滑块滑动安装在所述滑轨上的相机安装座
、
与所述滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金杰，廖茂密，
申请(专利权)人：昆山普杰科特半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：