硅棒晶托制造技术

技术编号:3991472 阅读:226 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种硅棒晶托,解决了在单晶硅生产过程中硅棒与晶托粘接后装入线切方机进行切割过程中,硅棒边皮脱落造成断线的问题。它包括晶托基体,其特殊之处是:在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。在硅棒粘接完毕后,把挡板插入到插槽中,将切割后的硅棒边皮挡住,固定效果好,从根本上杜绝了边皮脱落造成断线情况的发生,并且结构简单,拆卸方便,容易清洗。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶硅生产过程中使用的可防止边皮脱落的硅棒晶托
技术介绍
在单晶硅生产过程中需要使用线切方机切割单晶硅棒,圆硅棒需要粘接在晶托上 才能装入线切方机中进行切割,切割过程快结束时,经常发生硅棒边皮脱落的现象,脱落的 边皮压在线网上形成断线,使切割暂停,需重新布线继续切割。边皮脱落造成断线,不但影 响了产品质量,还浪费大量时间需重新布线、检查,再开机完成此次切割。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种结构简单,拆卸方便,容易清洗,确保切 割过程中边皮不会脱落的硅棒晶托。本技术涉及的硅棒晶托,包括晶托基体,其特殊之处是在晶托基体的圆周面 上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧 形挡板。上述的硅棒晶托,所述的插槽是由焊接在晶托基体圆周面上且内外布置的两个拱 形钢片形成,以将挡板固定夹紧。本技术的优点是结构简单,拆卸方便,而且便于清洗。在硅棒粘接完毕后,把 挡板插入到插槽中,将切割后的硅棒边皮挡住,固定效果好,从根本上杜绝了边皮脱落造成 断线情况的发生,把由于边皮脱落造成的断线损失降低为零。附图说明图1是本技术的结构示意图;图2是图1 (去掉左侧和后面挡板)的俯视图;图3是图1中挡板的结构示意图;图4是图3的仰视图。图中晶托基体1,插槽2,挡板3,拱形钢片4。具体实施方式如图所示,该硅棒晶托有一个晶托基体1,在晶托基体1的圆周面上设有四个插槽 2,所述的插槽2沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽2内的钢质弧形挡板 3。所述的插槽2是由焊接在晶托基体1圆周面上且内外布置的两个拱形钢片4形成,以将 挡板3固定夹紧。当晶棒与晶托基体1粘接后,把挡板3插入到插槽2中可起到固定晶棒 的作用,防止切割后的边皮脱落。权利要求一种硅棒晶托,包括晶托基体,其特征是在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。2.根据权利要求1所述的硅棒晶托,其特征是所述的插槽是由焊接在晶托基体圆周 面上且内外布置的两个拱形钢片形成。专利摘要一种硅棒晶托,解决了在单晶硅生产过程中硅棒与晶托粘接后装入线切方机进行切割过程中,硅棒边皮脱落造成断线的问题。它包括晶托基体,其特殊之处是在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。在硅棒粘接完毕后,把挡板插入到插槽中,将切割后的硅棒边皮挡住,固定效果好,从根本上杜绝了边皮脱落造成断线情况的发生,并且结构简单,拆卸方便,容易清洗。文档编号B28D7/04GK201677413SQ201020169378公开日2010年12月22日 申请日期2010年4月19日 优先权日2010年4月19日专利技术者刘雷, 唐迪, 罗贵实, 陈鹏 申请人:锦州日鑫硅材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅棒晶托,包括晶托基体,其特征是:在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘雷罗贵实陈鹏唐迪
申请(专利权)人:锦州日鑫硅材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:21[中国|辽宁]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1
相关领域技术
  • 暂无相关专利