一种镀膜设备行星齿轮系结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜设备行星齿轮系结构，包括行星保持架以及驱动行星保持架转动的行星驱动装置，还包括与行星保持架同轴设置的太阳轮，所述行星保持架沿周向转动设置有若干行星轮，所述行星轮与太阳轮啮合；所述行星轮的底端设置有硅片治具；本实用新型专利技术通过行星驱动装置带动若干行星轮绕着太阳轮进行公转，在行星轮工装的同时通过行星轮与太阳轮之间的啮合结构使得行星轮绕着自身的轴线进行自转，进而通过行星轮带动硅片治具进行公转与自转，保证了靶材能够均匀喷射至硅片的表面形成厚度均匀的镀膜层，提高了硅片表面的镀膜质量

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备行星齿轮系结构


[0001]本技术属于硅片镀膜的
，涉及一种镀膜设备行星齿轮系结构
。

技术介绍

[0002]进行硅片镀膜时，现有技术通常是对应硅片的镀膜面设置靶材喷射设备，通过靶材喷射设备将靶材沿固定路径喷射至硅片上形成镀膜层
。
但是，现有技术中，通过移动靶材喷射设备的喷头进行镀膜存在难以保证镀膜厚度均匀性的问题，使得镀膜层总是在喷涂起始位置以及终止位置的厚度更厚
。
因此，为了保证硅片镀膜厚度的均匀性，同时保证能够完全覆盖硅片的镀膜面进行镀膜，本技术公开了一种镀膜设备行星齿轮系结构
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种镀膜设备行星齿轮系结构，能够通过太阳轮与行星轮配合构成的行星齿轮系结构带动硅片进行公转与自转，进而使得靶材能够均匀镀膜至硅片表面，保障了镀膜的均匀性
。
[0004]本技术通过下述技术方案实现：
[0005]一种镀膜设备行星齿轮系结构，包括行星保持架以及驱动行星保持架转动的行星驱动装置，还包括与行星保持架同轴设置的太阳轮，所述行星保持架沿周向转动设置有若干行星轮，所述行星轮与太阳轮啮合；所述行星轮的底端设置有硅片治具
。
[0006]行星保持架与太阳轮同轴设置，且行星保持架能够在行星驱动装置的驱动下相对于太阳轮同轴转动，在行星保持架转动的过程中，太阳轮保持固定
。
行星保持架上沿周向转动安装有若干行星轮
。
在行星驱动装置带动行星保持架转动时，进而通过行星保持架带动若干行星轮绕着太阳轮进行工装
。
同时，由于行星轮与太阳轮之间的啮合关系，使得行星轮绕着太阳轮进行公转的同时，还能够使得行星轮绕着自身的轮轴进行自转
。
进而通过行星轮的公转与自转带动其底部的硅片治具绕着自身轴线自转以及绕着太阳轮进行公转，硅片治具用于安装夹持镀膜硅片，进而带动硅片进行自转与公转
。
通过硅片的自转与公转，使得镀膜靶材能够更加均匀的射击至硅片的表面，进而保证了镀膜的均匀性
。
[0007]为了更好地实现本技术，进一步的，所述行星保持架上沿周向均匀设置有若干安装孔，所述安装孔中设置有台阶轴套，所述台阶轴套的内孔中转动安装有行星轮轴，所述行星轮轴的顶端延伸至行星保持架的上方并套装有行星轮，所述行星轮轴的底端延伸至行星保持架的下方并同轴安装有硅片治具
。
[0008]为了更好地实现本技术，进一步的，所述硅片治具包括轴连接盘
、
上治具
、
下治具，所述轴连接盘的顶端与行星轮轴的底端同轴连接，所述轴连接盘的底端同轴连接有上治具，所述上治具的底端同轴安装有下治具，所述上治具与下治具之间构成供硅片安装的安装槽
。
[0009]为了更好地实现本技术，进一步的，所述上治具包括上治具内环面，所述下治具包括下治具内环面；所述上治具内环面上设置有环状上凸缘，所述下治具内环面上设置
有环状下凸缘，所述环状上凸缘与环状下凸缘之间构成构成供硅片安装的安装槽
。
[0010]为了更好地实现本技术，进一步的，所述下治具的底部端面上沿周向均匀设置有若干定位把手
。
[0011]为了更好地实现本技术，进一步的，所述行星驱动装置包括轴承座
、
驱动轴
、
驱动锥齿轮
、
从动锥齿轮
、
驱动电机，所述驱动轴转动设置在轴承座的内部，所述驱动轴的底端与行星保持架的顶端同轴连接，所述驱动轴的顶端套装有从动锥齿轮，所述轴承座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上套装有与从动锥齿轮啮合的驱动锥齿轮
。
[0012]为了更好地实现本技术，进一步的，所述驱动轴的底端同轴安装有连接法兰，所述连接法兰的底端通过连接螺栓与行星保持架的顶端同轴连接
。
[0013]为了更好地实现本技术，进一步的，所述行星保持架的底部同轴设置有密封挡片
。
[0014]本技术与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
[0015]本技术通过行星驱动装置带动若干行星轮绕着太阳轮进行公转，在行星轮工装的同时通过行星轮与太阳轮之间的啮合结构使得行星轮绕着自身的轴线进行自转，进而通过行星轮带动硅片治具进行公转与自转，保证了靶材能够均匀喷射至硅片的表面形成厚度均匀的镀膜层，提高了硅片表面的镀膜质量
。
附图说明
[0016]图1为镀膜设备行星齿轮系结构的立体结构示意图；
[0017]图2为镀膜设备行星齿轮系结构的俯视图；
[0018]图3为镀膜设备行星齿轮系结构的仰视图；
[0019]图4为图2的
A
‑
A
向剖视图；
[0020]图5为硅片治具的结构示意图；
[0021]图6为图5的
B
处局部放大图；
[0022]图7为行星驱动装置的结构示意图
。
[0023]其中：1‑
行星保持架；2‑
行星驱动装置；3‑
太阳轮；4‑
行星轮；5‑
硅片治具；6‑
台阶轴套；7‑
行星轮轴；8‑
密封挡片；
21
‑
轴承座；
22
‑
驱动轴；
23
‑
驱动锥齿轮；
24
‑
从动锥齿轮；
25
‑
驱动电机；
26
‑
连接法兰；
51
‑
轴连接盘；
52
‑
上治具；
53
‑
下治具；
54
‑
定位把手；
521
‑
环状上凸缘；
531
‑
环状下凸缘
。
具体实施方式
[0024]以下详细说明都是例示性的，旨在对本技术提供进一步的说明
。
除非另有指明，本技术使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属
的普通技术人员通常理解的相同含义
。
[0025]需注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式
。
如在这里所使用的，除非本技术另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和
/
或“包括”时，其指明存在特征
、
步骤
、
操作
、
器件
、
组件和
/
或它们的组合
。
[0026]为方便叙述，本技术中如果出现“上”、“下”、“左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种镀膜设备行星齿轮系结构，包括行星保持架（1）以及驱动行星保持架（1）转动的行星驱动装置（2），其特征在于，还包括与行星保持架（1）同轴设置的太阳轮（3），所述行星保持架（1）沿周向转动设置有若干行星轮（4），所述行星轮（4）与太阳轮（3）啮合；所述行星轮（4）的底端设置有硅片治具（5）
。2.
根据权利要求1所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述行星保持架（1）上沿周向均匀设置有若干安装孔，所述安装孔中设置有台阶轴套（6），所述台阶轴套（6）的内孔中转动安装有行星轮轴（7），所述行星轮轴（7）的顶端延伸至行星保持架（1）的上方并套装有行星轮（4），所述行星轮轴（7）的底端延伸至行星保持架（1）的下方并同轴安装有硅片治具（5）
。3.
根据权利要求2所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述硅片治具（5）包括轴连接盘（
51
）
、
上治具（
52
）
、
下治具（
53
），所述轴连接盘（
51
）的顶端与行星轮轴（7）的底端同轴连接，所述轴连接盘（
51
）的底端同轴连接有上治具（
52
），所述上治具（
52
）的底端同轴安装有下治具（
53
），所述上治具（
52
）与下治具（
53
）之间构成供硅片安装的安装槽
。4.
根据权利要求3所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述上治具（
52
）包括上治具内环面，所述下治具（
53
）包括下治具内环面；所述上治具内环面上设置有环状上凸缘（
521
），所述下治具内环面上设置有环状下凸缘（
531
），所述环状上凸缘（
521<...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨伟，孙悦，刘沧浪，李鑫磊，
申请(专利权)人：成都中科卓尔智能科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：