一种用于激光器线阵的检测装置制造方法及图纸

本申请提供了一种用于激光器线阵的检测装置，属于半导体激光器测试的技术领域，具体包括：积分球，安装在支撑支架上，积分球上安装有线阵装载夹具，线阵装载夹具用于安装待测试的激光器线阵，待测试的激光器线阵发射的激光射入积分球中；光纤光谱仪，与积分球的

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光器线阵的检测装置


[0001]本申请涉及半导体激光器测试的领域，尤其是涉及一种用于激光器线阵的检测装置
。

技术介绍

[0002]激光器线阵为泵浦模块的关键部件，泵浦模块是由线阵泵浦
YAG
激光晶体实现粒子反转产生跃迁辐射实现功率输出的，而泵浦模块中的固体激光介质均有特定的吸收中心波长和较窄的吸收谱宽，当激光器线阵的波长和吸收谱宽不能与泵浦模块中的固体激光介质对应时，影响泵浦模块的正常使用
。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种用于激光器线阵的检测装置，解决了现有技术中的问题，对激光器线阵的的功率和光谱的波长及谱宽进行测量，从而为泵浦模块的封装提供保障
。
[0004]本申请提供的一种用于激光器线阵的检测装置采用如下的技术方案：
[0005]一种用于激光器线阵的检测装置，包括：
[0006]积分球，安装在支撑支架上，所述积分球上安装有线阵装载夹具，所述线阵装载夹具用于安装待测试的激光器线阵，待测试的激光器线阵发射的激光射入积分球中；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于激光器线阵的检测装置，其特征在于，包括：积分球
(2)
，安装在支撑支架上，所述积分球
(2)
上安装有线阵装载夹具
(3)
，所述线阵装载夹具
(3)
用于安装待测试的激光器线阵，待测试的激光器线阵发射的激光射入积分球
(2)
中；光纤光谱仪，与所述积分球
(2)
的
SMA
光谱测量端口相接，所述光纤光谱仪用于待测试的激光器线阵的峰值波长和半高宽的测量；
LD
驱动源
(5)
，用于为待测试的激光器线阵供电；水冷机
(6)
，所述水冷机
(6)
通过线阵装载夹具
(3)
为待测试的激光器线阵提供冷冻水；控制器
(4)
，用于待测试的激光器线阵的供电控制和冷冻水启停的控制
。2.
根据权利要求1所述的用于激光器线阵的检测装置，其特征在于，所述积分球
(2)
为空心球体，所述空心球体上开设有通光孔，所述积分球
(2)
内设有漫反射陶瓷板作为待测试的激光器线阵发射的激光的第一个接收面，所述漫反射陶瓷板将待测试的激光器线阵发射的激光反射至积分球
(2)
的内壁上
。3.
根据权利要求2所述的用于激光器线阵的检测装置，其特征在于，所述积分球
(2)
的内径为
700
‑
800mm
，所述通光孔的直径为
140
‑
160mm
，所述积分球
(2)
用于承受波长范围为
380
‑
1100nm、
激光功率小于等于
500W
的光谱照射
。4.
根据权利要求1所述的用于激光器线阵的检测装置，其特征在于，所述积分球
(2)
内设有光功率探头，所述光功率探头用于待测试激光器线阵发光功率的测量
。5.
根据权利要求1所述的用于激光器线阵的检测装置，其特征在于，所述光纤光谱仪通过
SMA
光纤连接线与所述积分球
(2)
的
SMA
光谱测量端口相接，所述光纤光谱仪采用对称式
Czemy
‑
Tumer
光学设计以及
CCD
线性阵列探测器，所述光纤光谱仪覆盖
200
～
1100nm
光谱的测量范围，所述光纤光谱仪测量的波长范围为
750
～
850nm
，所述光纤光谱仪测量的光学分辨率范围为
0.14
～
0.18nm
，所述光纤光谱仪的波长测量精度为
±
0.5nm
，所述光纤光谱仪的信噪比优于
350:1
，且所述光纤光谱仪的灵...

【专利技术属性】
技术研发人员：李菊，王丙柱，徐晓明，赵永福，梁长安，朱弟发，
申请(专利权)人：天津亚光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：