一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备制造技术

本发明专利技术公开了一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，包括：真空室，内部设有镀铝鼓

【技术实现步骤摘要】
一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备


[0001]本专利技术属于真空镀膜
，尤其涉及一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备
。

技术介绍

[0002]真空镀铝机的工作原理是通过在高真空环境下，利用电加热方式将铝材蒸发，并使其铝蒸汽沉积在基材表面实现镀膜的
。
[0003]具体来说，真空镀铝系统由真空腔体
、
抽气系统
、
电加热蒸发源
、
基材架等组成
。
先通过抽气系统将腔体抽到高真空状态，减少残余气体分子的干扰
。
然后打开电源对蒸发源中的铝材料通以大电流进行受热，铝金属快速升温并蒸发成铝蒸汽向腔体中喷发
。
铝属于易失电子金属，加热蒸发时会产生电子发射现象，铝蒸汽带有过剩的正电荷
。
基材架连接在负极上，并加上负偏压
。
在电场作用下，铝蒸汽中的正电荷被吸引到负电基板上，并在碰撞基板时补回电子成为中性铝原子，实现在基材表面的附着
。
持续铝的蒸发会形成均匀
、
致密的镀铝膜层
。
在实际使用中还会通过设置两块挡板来调节蒸发舟的开口以调节镀铝区域的宽度以及镀层的厚度，根据基膜上金属镀层的厚度
t
＝
w/(
π
ph)
，通过调节蒸发舟的开口大小以及镀铝鼓与蒸发舟之间的距离能控制金属镀层的厚度
。
工作时控制舟内铝原料的供给，通过精确调节加热丝温度使铝保持稳定的蒸发率，并配合沉积速率反馈进行参数优化，从而实现准确控制膜层的沉积程度
。
[0004]整个真空镀膜系统结构密闭，可以有效控制铝蒸汽在真空环境中的膜层沉积过程
。
该工艺不仅镀膜速度快，还可以获得致密均匀的镀层
。
通过调节电加热模式
、
基板偏压
、
蒸发时间等参数，可以精确控制镀层的厚度和性质
。
真空镀铝技术广泛应用于电子
、
光学
、
机械等行业，是一种高效
、
精确的金属镀膜方法
。
[0005]但是，工作人员在实际操作的过程中发现：若两块挡板之间的宽度过宽，则容易导致镀铝辊筒上未覆盖薄膜的镀铝鼓
(
一般是镀铝鼓的两端区域
)
被喷到铝蒸汽，造成镀铝鼓污染，俗称飞边
。
[0006]这种现象可能由两种原因导致，一种是由于在镀铝之前的涂布工艺以及基膜受辊卷时基膜和辊筒之间存在大量的摩擦，会引起表面电荷的分离，带负电荷的电子会聚集在薄膜表面，不受控制的负电荷遇到带有正电铝离子时会随之散逸至基膜两侧甚至带负偏压的镀铝鼓表面形成飞边；另一种是在真空中散逸的铝离子本身不受控制的蒸腾运动在过宽的挡板宽度中以特定的角度飞向了带负偏压的镀铝鼓
。
这两种原因都会导致飞边的产生
。
因此在镀铝操作完成后需要对镀铝鼓污染的区域进行清洁，造成时间浪费和对镀膜鼓的损坏
。

技术实现思路

[0007]鉴于现有相关技术中存在的种种缺陷，本申请的目的在于提供一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，用于解决现有技术中存在的难以解决镀铝鼓飞边等问题
。
[0008]为实现上述目的及其他相关目的，本申请公开了一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，包括：
[0009]真空室，内部设有镀铝鼓
、
蒸发舟和两个挡板，所述挡板位于蒸发舟与所述镀铝鼓之间，所述挡板之间形成开口；
[0010]两个离子捕获装置，分别设置于两挡板与镀铝鼓之间且位于开口的两侧；所述离子捕获装置包括：位于中心轴两端的两个端电极
、
以及绕同一中心轴对称设置的第一电极对和第二电极对，中心轴与镀铝鼓的主轴平行；
[0011]电源装置，其连接端电极
、
第一电极对和第二电极对，所述电源装置包括射频模块和直流模块，用以在端电极
、
第一电机对和第二电极对形成射频电场和
/
或直流电场
。
[0012]本申请提供的某些实施例中，所述第一电极对和所述第二电极上施加的相位相反的射频电场
。
[0013]本申请提供的某些实施例中，所述第一电极对和所述第二电极对的电极上沿轴向均设有用于离子出射的狭缝
。
[0014]本申请提供的某些实施例中，所述端电极中心设有与中心轴同轴的圆孔
。
[0015]本申请提供的某些实施例中，所述端电极上施加有直流电场
。
[0016]本申请提供的某些实施例中，所述电源装置的直流模块的正极与所述挡板连接，用以在所述挡板上施加正电极
。
[0017]本申请提供的某些实施例中，所述电源装置设置于真空室的外部
。
[0018]本申请提供的某些实施例中，进一步包括回收壳体，所述回收壳体位于所述离子捕获装置的外部
。
[0019]本申请提供的某些实施例中，所述射频模块包括信号源
、
功率放大器
、
变压器和第一电压调节器，所述电压调节器用以调节输出的交流电电压
。
[0020]本申请提供的某些实施例中，所述直流模块包括第二电压调节器，用以调节输出的直流电电压
。
[0021]本专利技术的有益效果：
[0022]1.
捕获飞边铝离子，防止镀铝鼓污染
。
离子捕获装置可以捕获原本会飞向镀铝鼓而造成飞边的铝离子，防止镀铝鼓被污染
。
[0023]2.
减少镀后清洗维护
。
由于防止了飞边，就减少了对镀铝鼓进行清洗维护的工作量
。
[0024]3.
收集残留铝离子，减少镀铝室污染
。
可以收集镀铝后的残留铝离子，减少对真空镀铝室的二次污染
。
[0025]4.
避免损伤镀铝鼓
。
离子捕获装置本身不会接触镀铝鼓，避免了清洗过程中可能对镀铝鼓的损伤
。
[0026]5.
提高镀铝效率
。
镀铝过程中铝离子得到更好利用，不会遗失，提高材料利用效率
。
[0027]6.
降低成本损耗
。
由于资源再利用，减少了耗材的浪费
。
[0028]7.
操作方便快捷
。
更换收集装置非常方便，大大简化了清洗步骤
。
[0029]8.
自动化程度高
。
整个捕集控制过程可以自动化进行，减少了人工操作
。
[0030]9.
工艺环保
。
收集回收铝资源，减少污染排放
。
附图说明
[0031]为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，其特征在于，包括：真空室，内部设有镀铝鼓
、
蒸发舟和两个挡板，所述挡板位于蒸发舟与所述镀铝鼓之间，所述挡板之间形成开口；两个离子捕获装置，分别设置于两挡板与镀铝鼓之间且位于开口的两侧；所述离子捕获装置包括：位于中心轴两端的两个端电极
、
以及绕同一中心轴对称设置的第一电极对和第二电极对，中心轴与镀铝鼓的主轴平行；电源装置，其连接端电极
、
第一电极对和第二电极对，所述电源装置包括射频模块和直流模块，用以在端电极
、
第一电机对和第二电极对形成射频电场和
/
或直流电场
。2.
根据权利要求1所述可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，其特征在于，所述第一电极对和所述第二电极上施加的相位相反的射频电场
。3.
根据权利要求1所述可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，其特征在于，所述第一电极对和所述第二电极对的电极上沿轴向均设有用于离子出射的狭缝
。4.
根据权利要求1所述可控制镀铝纸飞边的真空镀铝设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈清，胡羽飞，陆军盟，俞玮，
申请(专利权)人：上海睿途新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：