一种硅基板蒸镀用挡片联动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于硅基板蒸镀技术领域的硅基板蒸镀用挡片联动装置

【技术实现步骤摘要】
一种硅基板蒸镀用挡片联动装置


[0001]本技术属于硅基板蒸镀
，更具体地说，是涉及一种硅基板蒸镀用挡片联动装置
。

技术介绍

[0002]在硅基板蒸镀
，进行硅片基板的蒸镀加工过程中，通常采用挡板对蒸镀的坩埚进行临时的遮挡，进而防止坩埚的蒸镀原料提前镀膜
。
在实际加工过程中，因为结构设计缺陷，容易由于机械故障
、
信号传输等问题，造成对挡片的旋转驱动产生故障，而无法及时的发现，造成蒸镀持续进行，此时挡片依旧与硅基板之间形成错位遮挡，从而造成对硅基板的不完全镀膜等不良情况，严重影响加工的良率
。
[0003]现有技术中有名称为“一种蒸镀源遮挡机构”、
公开号为“208844171U”的技术，该技术包括挡片
、
转轴和驱动件，转轴穿过蒸镀室设置；蒸镀室上设置转轴的一面还设置了
N
个蒸镀源；转轴的第一端位于蒸镀室内，转轴的第二端位于蒸镀室外；第二端与驱动件相连；挡片与转轴的第一端固定连接；挡片在穿过转轴的蒸镀室的一面的投影包括
N
个离散面，
N
个离散面分别覆盖
N
个蒸镀源中的一个，
N
为大于等于1的正整数；挡片上还设置有检测件，检测件与蒸镀控制器电连接
。
本技术的蒸镀源遮挡机构，其通过驱动件驱动转轴旋转，使得挡片能够对蒸镀源进行遮挡或不遮挡，从而保证了蒸镀工艺的稳定性，大大地提高了产品质量，并且，检测件能够实时监测挡片的弯曲程度，使得工艺人员能够及时对挡片进行检修
。
[0004]然而，该技术没有涉及本申请的技术问题和技术方案
。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，可靠实现挡板旋转与坩埚蒸镀联动，避免在挡板旋转故障情况下坩埚持续进行加热问题出现，避免造成对硅基板的不完全镀膜等不良情况以致影响加工的良率的硅基板蒸镀用挡片联动装置
。
[0006]要解决以上所述的技术问题，本技术采取的技术方案为：
[0007]本技术为一种硅基板蒸镀用挡片联动装置，加热片与电源插座之间设置前部连接线缆和后部连接线缆，前部连接线缆自由端端部设置前部连接片，后部连接线缆自由端端部设置后部连接片，前部连接片和后部连接片位于升降内腔内，升降内腔上端设置连接端子，连接端子上端连接螺杆，旋转轴下端设置与螺杆连接的螺管，旋转轴连接驱动组件
。
[0008]所述的密封底座上活动安装旋转轴，旋转轴上端固定连接挡板，密封底座上设置坩埚，坩埚下方的密封底座上设置加热片
。
[0009]所述的密封底座内设置固定架，固定架上端设置升降内腔，升降内腔下端设置底板，底板与连接端子之间连接导向插杆
。
[0010]所述的驱动组件包括从动齿轮
、
主动齿轮，从动齿轮固定套接在旋转轴上，主动齿轮固定连接驱动电机，主动齿轮与从动齿轮啮合连接，电机固定设置在密封底座上
。
[0011]所述的密封底座上端设置真空框，旋转轴垂直安装在密封底座上
。
[0012]所述的导向插杆包括两个插杆杆件，每个插杆杆件一端插装在连接端子上的一个插孔内，每个插杆杆件另一端插装在底板上的一个插孔内
。
[0013]所述的前部连接片上设置前部弹簧，前部弹簧前段顶靠在前部连接片的凸台上，前部弹簧后段顶靠在升降内腔一侧侧壁上
。
[0014]所述的后部连接片上设置后部弹簧，后部弹簧前段顶靠在后部连接片的凸台上，后部弹簧后段顶靠在升降内腔另一侧侧壁上
。
[0015]所述的底板上设置前部滑槽和后部滑槽，前部连接片活动卡装在前部滑槽内，后部连接片活动卡装在后部滑槽内，前部滑槽前部和后部滑槽前部分别设置挡块
。
[0016]所述的旋转轴下部设置轴承座，旋转轴通过轴承座与密封底座连接
。
[0017]采用本技术的技术方案，工作原理及有益效果如下所述：
[0018]本技术所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置，主要是为了可靠实现挡板旋转与坩埚蒸镀联动
。
为此，在旋转轴的中间段设置驱动组件，驱动组件通过控制部件控制，驱动组件转动时，带动旋转轴转动，驱动组件向一个方向转动，带动旋转轴向一个方向旋转，从而带动挡板向一个方向旋转，实现对坩埚上方的遮挡，驱动组件向另一个方向转动，带动旋转轴向另一个方向旋转，从而带动挡板向另一个方向旋转，取消对坩埚上方的遮挡，这样，就达到调节挡板和坩埚的相对位置的目的
。
在旋转轴向一个方向旋转过程中，螺管与螺杆为螺纹连接结构，螺管随着旋转轴转动，则带动螺杆转动，螺杆位置向下，使得连接端子下降，连接端子同时与前部连接片和后部连接片贴合，连通电路，实现挡板转动到对坩埚上方的遮挡的位置的同时，加热片开始对坩埚加热
。
在旋转轴向另一个方向旋转过程中，螺管与螺杆为螺纹连接结构，螺管随着旋转轴转动，则带动螺杆转动，螺杆位置向上，使得连接端子上升，连接端子同时与前部连接片和后部连接片分离，断开电路，实现挡板转动到对坩埚上方的遮挡的取消，加热片停止对坩埚加热
。
这样，可靠实现挡板遮挡与坩埚加热控制的联动
。
附图说明
[0019]下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明：
[0020]图1为本技术所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置的结构示意图；
[0021]图2为图1所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置的
A
部位的局部放大结构示意图；
[0022]图3为图2所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置的
B
部位的局部放大结构示意图；
[0023]图4为本技术所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置的螺杆的结构示意图；
[0024]图5为本技术所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置的挡板与旋转轴的连接结构示意图；
[0025]附图中标记分别为：
1、
密封底座；
2、
真空框；
3、
坩埚；
4、
加热片；
5、
电源插座；
6、
挡板；
7、
旋转轴；
8、
从动齿轮；
9、
轴承座；
10、
螺管；
11、
螺杆；
12、
主动齿轮；
13、
固定架；
14、
前部连接线缆；
15、
连接端子；
16、
弹簧；
17、
升降内腔；
18、
导向插杆；
19、
连接片；
20、
底板；
21、
挡块；
22、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅基板蒸镀用挡片联动装置，其特征在于：加热片（4）与电源插座（5）之间设置前部连接线缆（
14
）和后部连接线缆（
23
），前部连接线缆（
14
）自由端端部设置前部连接片（
19
），后部连接线缆（
23
）自由端端部设置后部连接片（
24
），前部连接片（
19
）和后部连接片（
24
）位于升降内腔（
17
）内，升降内腔（
17
）上端设置连接端子（
15
），连接端子（
15
）上端连接螺杆（
11
），旋转轴（7）下端设置与螺杆（
11
）连接的螺管（
10
），旋转轴（7）连接驱动组件
。2.
根据权利要求1所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置，其特征在于：密封底座（1）上活动安装旋转轴（7），旋转轴（7）上端固定连接挡板（6），密封底座（1）上设置坩埚（3），坩埚（3）下方的密封底座（1）上设置加热片（4）
。3.
根据权利要求2所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置，其特征在于：所述的密封底座（1）内设置固定架（
13
），固定架（
13
）上端设置升降内腔（
17
），升降内腔（
17
）下端设置底板（
20
），底板（
20
）与连接端子（
15
）之间连接导向插杆（
18
）
。4.
根据权利要求1或2所述的硅基板蒸镀用挡片联动装置，其特征在于：所述的驱动组件包括从动齿轮（8）
、
主动齿轮（
12
），从动齿轮（8）固定套接在旋转轴（7）上，主动齿轮（
12
）固定连接驱动电机，主动齿轮（
12
）与从动齿轮（8）啮合连接，电机（
25
）固定设置在密封底座（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩杰，李维维，孙晨，卞建业，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：