一种用于存储芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种用于存储芯片

【技术实现步骤摘要】
一种用于存储芯片CP测试机的监测控制系统


[0001]本专利技术涉及晶圆测试
，具体涉及一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统
。

技术介绍

[0002]随着电子科技的日益进步，计算机
、
智能穿戴设备
、
网络监控设备等设备日益增多，而存储芯片又广泛存在于各类电子设备中，存储芯片的测试也就显得尤为重要
。
而目前国内用于存储芯片测试的设备，尤其是
DRAM
测试设备基本处于完全空白的状态
。
[0003]晶圆测试
CP
（
ChipProbing
），是晶圆上每个晶粒电路刻蚀完成后，对每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针（
probe
），与晶粒上的接点（
pad
）接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片以晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本
。
[0004]通常晶圆测试需要测试机头，电源柜，探针台，工作站等设备相互配合使用，来配合完成整个晶圆测试流程
。
其中，电源机柜的安全控制，测试机头的温度监测控制，液冷系统压力监测，探针台与测试机头之间的信息交互，探针卡的上卡与退卡等各种命令与任务极其复杂，需要一个“大脑”来监测与控制整个系统稳定运行，从而满足芯片各项测试指标
。
基于此，本专利技术提供了一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统，解决以下技术问题：电源机柜的安全控制，测试机头的温度监测控制，液冷系统压力监测，探针台与测试机头之间的信息交互，探针卡的上卡与退卡等各种命令与任务极其复杂，需要一个“大脑”来监测与控制整个系统稳定运行，从而满足芯片各项测试指标
。
基于此，本专利技术提供了一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统
。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统，用于控制测试机
、
电源机柜和探针台，包括：电源机柜，用于将
380V
三相电转换成
48V
直流电，为系统提供基础直流电源；所述电源机柜内集成有主控板卡作为系统控制中心，所述主控板卡用于提供
160
路输入接口，
128
路输出接口，8路
PWM
波形，8路串口通信，
16
路
ADC
；所述主控板卡通过电源机柜监控板卡接口和测试机头的高密度接口板卡接口相连；测试机头，用于为被测晶圆提供测试所需的数字电源信号，测试机头内部放置有
32
块数字板卡和
16
块电源板卡，测试机头内部的功能模块通过
cable
与高密度接口板卡相连；探针台，用于控制探针卡的上卡与退卡，晶圆的取送，以及测试环境温湿度设置；
Hi
‑
Fix
，作为测试机头和探针台的对接系统，用于把测试机头内部的测试信号和探针卡连接起来，通过探针卡实现和晶圆的接触测试；
Hi
‑
Fix
内部集成有中心夹具，所述中心夹具用于锁定所述探针卡
。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述电源机柜中，主控板卡包括电源模块
、CPU、FPGA、
模数转换模块
、
串口通信接口
、
脉冲宽度调制
、
数字信号输入
/
输出
。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：所述电源模块用于将电源机柜提供的
48V
电源转换至多路不同的电压，为整个主控板卡供电；所述
CPU
用于上电之后配置
FPGA
程序，接收上位机指令转发给
FPGA
，并回读汇总状态给上位机，所述
CPU
与上位机之间通过以太网通讯；所述
FPGA
用于提供输出输入接口，
PWM
波形，
ADC
信号采集；所述
FPGA
通过
PCIe
协议与
CPU
通信；所述模数转换模块用于采集模拟信号，进行模数转换；所述脉冲宽度调制用于调整测试机头的风扇转速；所述串口通信接口包括温度传感器接口
、
机台冷却液压力接口和光线液体检测传感器接口
。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述电源机柜监控板卡用于检测电源是否正常；检测电源机柜部件状态，所述电源机柜部件包括电源机柜柜门
、
电源机柜风扇
、
电源机柜的开关按钮
、
电源机柜指示灯；所述电源机柜监控板卡还用于板卡冷却模块的控制接口和高密度接口板卡的信号来源接口；通过提供8组
CON_IS
信号预留确保电源机柜监控板卡的连接性
。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述探针台通过
interlock
信号经电源机柜监控板卡连接到主控板卡，实现主控板卡与探针台的连接
。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述测试机头包括所述高密度接口板卡，所述高密度接口板卡用于对
Hi
‑
Fix
和探针卡进行状态检测；用于对测试机头内部环境进行温度检测，通过3组
CON_IS
信号预留确保高密度接口板卡的连接性
。
[0012]作为本专利技术进一步的方案：所述测试机头的功能模块包括
WHFI
模块
、WFAN
模块和
WHDS
模块；所述
WHFI
模块用于读取
Hi
‑
Fix
内部
Pusher
传感器和
Ballplunger
传感器的状态，并通过检测中心夹具传感器状态，判断中心夹具是否锁紧；有1组
CON_IS
信号预留；所述
WFAN
模块用于测试机头散热风扇模块控制，状态回读，所述测试机内部分为两组风扇模块，分别用于测试机前端和后端；有1组
CON_IS
信号预留；所述
WHDS
模块用于测试机头内部液体压力监测，检测液体压力是否正常；测试机头内部放置4个光线液体传感器；有1组
CON_IS
信号预留
。
[0013]作为本专利技术进一步的方案：系统的输入信号上拉电源为
24V。
[0014本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统，用于控制测试机头
、
电源机柜和探针台，其特征在于，包括：电源机柜，用于将
380V
三相电转换成
48V
直流电，为系统提供基础直流电源；所述电源机柜内集成有主控板卡作为系统控制中心，所述主控板卡用于提供
160
路输入接口，
128
路输出接口，8路
PWM
波形，8路串口通信，
16
路
ADC
；所述主控板卡通过电源机柜监控板卡接口和测试机头的高密度接口板卡接口相连；测试机头，用于为被测晶圆提供测试所需的数字电源信号，测试机头内部放置有
32
块数字板卡和
16
块电源板卡，测试机头内部的功能模块通过
cable
与高密度接口板卡相连；探针台，用于控制探针卡的上卡与退卡，晶圆的取送，以及测试环境温湿度设置；
Hi
‑
Fix
，作为测试机头和探针台的对接系统，用于把测试机头内部的测试信号和探针卡连接起来，通过探针卡实现和晶圆的接触测试；
Hi
‑
Fix
内部集成有中心夹具，所述中心夹具用于锁定所述探针卡
。2.
根据权利要求1所述的一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统，其特征在于，所述电源机柜中，主控板卡包括电源模块
、CPU、FPGA、
模数转换模块
、
串口通信接口
、
脉冲宽度调制
、
数字信号输入
/
输出
。3.
根据权利要求2所述的一种用于存储芯片
CP
测试机的监测控制系统，其特征在于，所述电源模块用于将电源机柜提供的
48V
电源转换至多路不同的电压，为整个主控板卡供电；所述
CPU
用于上电之后配置
FPGA
程序，接收上位机指令转发给
FPGA
，并回读汇总状态给上位机，所述
CPU
与上位机之间通过以太网通讯；所述
FPGA
用于提供输出输入接口，
PWM
波形，
ADC
信号采集；所述
FPGA
通过
PCIe
协议与
CPU
通信；所述模数转换模块用于采集模拟信号，进行模数转换；所述脉冲宽度调制用于调整测试机头的风扇转速；所述串口...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛如军，宋秀良，
申请(专利权)人：悦芯科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：