【技术实现步骤摘要】
照明系统及其调试方法
[0001]本公开涉及照明系统领域，尤其涉及一种照明系统及其调试方法
。
技术介绍
[0002]随着光刻技术的发展，对产率以及套刻精度提出了越来越高的要求
。
同轴照明为照明系统提供光强对称的衍射光束，离轴照明可以有效地增加光刻工艺窗口，因此，照明系统需要兼容同轴照明和离轴照明功能，以满足曝光需求
。
[0003]光刻机内部零部件众多，空间有限，一路同轴照明和四路离轴照明的组合设计会导致照明系统体积过大，影响其他分系统空间布局，装配到整机上再进行光学性能测试的调试成本较高，因此小体积，高集成度，便于离线进行光学性能调试的照明系统支撑装置设计非常有必要
。
技术实现思路
[0004]鉴于上述问题，本公开提供了一种照明系统及其调试方法实现照明系统机械结构体积最小化，安装调试方便，具有较高的装配精度，同时具备同轴离轴多个照明模式自动切换功能
。
作为独立的分系统，方便置于光学平台上进行离线光学调试
。
[0005]...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种照明系统，其特征在于，包括：照明镜组
、
同轴镜组固定组件
、
离轴镜组固定组件和支撑组件，所述同轴镜组固定组件和所述离轴镜组固定组件将所述照明镜组固定于所述支撑组件上；所述支撑组件，包括一个具有中空部的支撑板
(41)
和四个支撑块
(42)
，四个支撑块
(42)
均布固定在支撑板
(41)
下方；所述同轴镜组固定组件，包括一个同轴转接板
(21)
和至少两根同轴支撑腿
(22)
，所述同轴转接板
(21)
设置于所述支撑板
(41)
上方，且所述同轴转接板
(21)
与所述支撑板
(41)
的中心轴线重合，至少两根同轴支撑腿
(22)
均连接固定所述同轴转接板
(21)
和所述支撑板
(41)
；所述离轴镜组固定组件，包括固定在所述支撑板
(41)
上的四组固定组件，所述四组固定组件与所述四组离轴照明镜组
(12)
一一对应连接，每组所述固定组件均包括离轴转接板
(31)、
直线运动台
(32)
，离轴照明镜组
(12)
固定在离轴转接板
(31)
上，所述离轴转接板
(31)
固定在所述直线运动台
(32)
上，所述直线运动台
(32)
固定在所述支撑板
(41)
上；所述照明镜组，包括同轴照明镜组
(11)
和四组离轴照明镜组
(12)
，所述同轴照明镜组
(11)
固定在所述同轴转接板
(21)
上，且位于所述同轴转接板
(21)
以及所述支撑板
(41)
的中心轴线上，四组离轴照明镜组
(12)
设置在所述中空部内环绕所述同轴照明镜组
(11)
分布
。2.
根据权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述同轴转接板
(21)
上开设有第一位置调节孔
(B1)
，所述同轴支撑腿
(22)
上开设有第二位置调节孔
(B2)
；所述第一位置调节孔
(B1)
和所述第二位置调节孔
(B2)
，用于使用调节杆
(23)
穿入所述第一位置调节孔
(B1)
和所述第二位置调节孔
(B2)
，对所述同轴转接板
(21)
和所述同轴支撑腿
(22)
之间的相对位置进行微调
。3.
根据权利要求1所述的照明系统，其特征在于，每组所述固定组件均包括四组位置调节组件
(33)
，所述四组位置调节组件
(33)
均固定在所述支撑板
(41)
上，所述直线运动台
(32)
的两侧均分布两组位置调节组件
(33)
；所述位置调节组件
(33)
包括
L
型支架
(331)
和螺丝
(332)
，所述
L
型支架
(331)
上开设有螺纹孔，所述螺丝
(332)
安装在
L
型支架
(331)
的螺纹孔中，所述
L
型支架
(331)
固定在支撑板
(41)
上
。4.
根据权利要求3所述的照明系统，其特征在于，在旋转任一螺丝
(332)
的情况下，可调节直线运动台
(32)
与
L
型支架
(331)
之间的距离；在同时调节同侧的两个螺丝
(332)
的情况下，可实现直线运动台
(32)
的平移；在同时调节对角方向的两个螺丝
(332)
的情况下，可实现直线运动台
(32)
的旋转
。5.
根据权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述同轴转接板
(21)
的中心位置上开设有适配于所述同轴照明镜组
(11)
的限位槽，所述同轴照明镜组
(11)
通过所述限位槽固定在所述同轴转接板
(21)
的中心位置
。6.
根据权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述四组离轴照明镜组
(12)
按
90
°
分布环绕所述同轴照明镜组
(11)
，提供二级或四级照明
。7.
根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙云卿，刘明刚，李成文利，王长涛，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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