一种磁悬浮泵永磁转子位置检测结构制造技术

技术编号:39891607 阅读:21 留言:0更新日期:2023-12-30 13:06
本实用新型专利技术公开了一种磁悬浮泵永磁转子位置检测结构,包括极爪保持架

【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮泵永磁转子位置检测结构


[0001]本技术涉及磁悬浮泵永磁转子位置检测结构


技术介绍

[0002]磁悬浮泵是一种广泛应用于高端半导体湿法设备

精细化工及生物制药中的化学液泵,具备耐化学腐蚀

不产生颗粒污染物

结构紧凑

压力流量调节范围大且稳定

低脉动

高可靠性等特性

磁悬浮泵基于磁悬浮原理对叶轮转子进行支撑约束,可被完全无接触地密封在一个超洁净的封闭腔体内

要实现磁悬浮泵中永磁转子的稳定悬浮与高速旋转的前提是能够对密封在泵壳内的永磁转子进行高精度的非接触式实时测量

而基于差分原理的电涡流线圈对检测方法是目前解决永磁转子位置非接触高精度实时检测的主流方案

[0003]基于差分原理的电涡流线圈对检测方法是将两个电磁性能一致的电涡流线圈固定在相对设置的两对极爪中间,当永磁转子在位置中心时,两侧电涡流线圈在永磁转子表面感应出的涡流大小本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种磁悬浮泵永磁转子位置检测结构,其特征在于,包括极爪保持架

极爪组件

电涡流线圈组件以及调整螺丝,所述极爪保持架上开设有用于安放永磁转子的中心孔,所述极爪保持架上均布有若干个插槽,所述极爪组件安装在插槽中;相邻插槽之间设有用于搁置电涡流线圈组件的沉台,所述沉台处的极爪保持架上开设有用于安装调节螺丝的螺纹孔,所述电涡流线圈组件通过调整螺丝安装在极爪保持架上
。2.
根据权利要求1所述的磁悬浮泵永磁转子位置检测结构,其特征在于,所述电涡流线圈组件包括结构相同的第一电涡流线圈模组和第二电涡流线圈模组,第一电涡流线圈模组和第二电涡流线圈模组以极爪保持架的轴线为中心对称安装在极爪保持架上
。3.
根据权利要求2所述的磁悬浮泵永磁转子位置检测结构,其特征在于,所述沉台包括第一沉台和第二沉台,所述第一电涡流线圈模组和第二电涡流线圈模组分别置于第一沉台和第二沉台内
。4.
根据权利要求2所述的磁悬浮泵永磁转子位置检测结构,其特征在于,所述第一电涡流线圈模组和第二电涡流线圈模组均至少包括电涡流线圈座和电涡流线圈,所述电涡流线圈为中空线圈,中空形状与电涡流线圈座的顶面定位凸台的形状相吻合,所述电涡流线圈安装固定于电涡...

【专利技术属性】
技术研发人员:邵杰杰
申请(专利权)人:宁波众杰来同科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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