内支撑式磁悬浮电机散热结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种内支撑式磁悬浮电机散热结构，包括底座、旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件以及散热罩，所述散热罩安装在所述底座上，所述底座自下而上分别设有第一上表面、第二上表面和第三上表面；所述旋转绕组组件安装在第三上表面的外平面相接触，所述悬浮绕组组件与第三上表面的中心面相接触，所述电涡流传感器组件安装在所述底座的第二上表面上，所述散热罩的下表面与底座的第一上表面相接。本实用新型专利技术具有更小的轴向尺寸和径向尺寸和更优的散热性能。和径向尺寸和更优的散热性能。和径向尺寸和更优的散热性能。

【技术实现步骤摘要】
内支撑式磁悬浮电机散热结构


[0001]本技术涉及一种内支撑式磁悬浮电机的散热结构。

技术介绍

[0002]在高端半导体制造工艺过程中，化学药液的供给系统是高端半导体设备中不可或缺的功能单元，其严苛的工艺参数要求液体供给系统必须具备耐化学腐蚀、不产生颗粒污染物、结构紧凑、压力流量调节范围大且稳定、低脉动、高可靠性等特性，而磁悬浮电机正是最合适的选择。现有的磁悬浮电机多以外侧磁悬浮，内侧通过磁力环与电机马达末端的磁力环连接，轴向尺寸较大，结构复杂，并且存在机械旋转支撑，使用寿命不长；或者有在转子中心布置旋转绕组直接驱动转子旋转的，但是这样会导致产品径向结构偏大，且由于驱动线圈布置在电机的中心，在高速旋转的情况下，较大的驱动电流产生大量热量不易耗散，使得无法长期稳定工作。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术存在的问题，本技术提供了一种内支撑式磁悬浮电机散热结构，通过设置更加合理的散热结构，使得悬浮泵产生的热量得到更好的消散，保证了悬浮泵运行的稳定性。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案是一种内支撑式磁悬浮电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种内支撑式磁悬浮电机散热结构，其特征在于，包括底座、旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件以及散热罩，所述旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件和散热罩均安装在所述底座上；所述底座自下而上分别设有第一上表面、第二上表面和第三上表面，所述第三上表面由不连续的中心面和外平面组成；所述旋转绕组组件安装在第三上表面的外平面相接触，所述悬浮绕组组件与第三上表面的中心面相接触，所述电涡流传感器组件安装在所述底座的第二上表面上，所述散热罩的下表面与底座的第一上表面相接。2.根据权利要求1所述的散热结构，其特征在于，所述散热罩的内表面与所述旋转绕组组件相接触。3.根据权利要求1所述的散热结构，其特征在于，所述散热罩为中空柱状。4.根据权利要求3所述的散热结构，其特征在于，所述散热罩内侧壁为光滑圆柱面。5.根据权利要求1所述的散热结构，其特征在于，所述散热罩的外表面设置有散热筋。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵杰杰，马同，鲍晓东，杨杰，鲍晓玲，
申请(专利权)人：宁波众杰来同科技有限公司，
类型：新型
国别省市：