内支撑式磁悬浮泵制造技术

本发明专利技术公开了一种内支撑式磁悬浮泵，包括电机、叶轮转子和密封壳，所述叶轮转子封闭于密封壳内，所述叶轮转子的旋转中心轴线与密封壳中空腔的中心轴线重合，所述密封腔体组件安装于电机上方，所述电机的中心轴线与密封腔体组件中空腔的中心轴线重合；液体从密封壳的中心轴线上方的液体入口吸入中空腔内，由处于高速悬浮旋转状态的叶轮转子加速液体产生离心力甩到密封腔体组件的内表面形成压力，并从与所述中空腔相连通的液体出口流出。本发明专利技术具有更小的轴向尺寸和径向尺寸，低转速小流量时的流量脉动更小，可精确稳定控制的流量范围更大。

【技术实现步骤摘要】
内支撑式磁悬浮泵
本专利技术涉及一种内支撑式磁悬浮泵。
技术介绍
在高端半导体制造工艺过程中，化学药液的供给系统是高端半导体设备(比如浸没式光刻机、晶圆清洗机，化学机械抛光系统，涂胶显影机等)不可或缺的功能单元。且其严苛的工艺条件要求液体供给系统必须具备耐化学腐蚀、不产生颗粒污染物、结构紧凑、压力流量调节范围大且稳定、低脉动、高可靠性等特性，而磁悬浮泵正是最合适的选择。磁悬浮泵基于磁悬浮原理对叶轮转子进行支撑约束，可被完全无接触地密封在一个超洁净的封闭腔体内。由于叶轮转子没有与腔体内壁产生任何机械接触，因此不存在机械摩擦，也不会产生颗粒污染和磨损，具有较高的使用寿命。目前现有的磁悬浮泵多以外侧磁悬浮，内侧通过磁力环与电机马达末端的磁力环连接，轴向尺寸较大，结构复杂，并且依然存在机械旋转支撑，使用寿命不长；也有专利技术专利所示的将悬浮绕组和驱动线圈都布置在转子外侧，但必须采用两套磁悬浮绕组，结构复杂，轴向尺寸较大；还有通过在转子中心布置旋转绕组直接驱动转子旋转的(如公开号为CN110714926A、CN101682229B的专利技术专利)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内支撑式磁悬浮泵，其特征在于，包括：/n密封壳，包括一中空腔；/n叶轮转子，设于所述中空腔中，所述叶轮转子的旋转中心轴与所述中空腔的中心轴线重合；以及/n电机，所述密封壳安装在所述电机的上方，所述电机的中心轴线与所述中空腔的中心轴线也重合；所述电机包括底座、旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件，所述旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件均安装在所述底座上，且所述旋转绕组组件、悬浮绕组组件和电涡流传感器组件的中心轴线均与所述底座的中心轴线重合；所述叶轮转子位于所述旋转绕组组件与悬浮绕组组件之间，所述悬浮绕组组件位于所述叶轮转子的内部；所述电涡流传感器组件用于检测所述叶轮转子...

【技术特征摘要】
1.一种内支撑式磁悬浮泵，其特征在于，包括：
密封壳，包括一中空腔；
叶轮转子，设于所述中空腔中，所述叶轮转子的旋转中心轴与所述中空腔的中心轴线重合；以及
电机，所述密封壳安装在所述电机的上方，所述电机的中心轴线与所述中空腔的中心轴线也重合；所述电机包括底座、旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件，所述旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件均安装在所述底座上，且所述旋转绕组组件、悬浮绕组组件和电涡流传感器组件的中心轴线均与所述底座的中心轴线重合；所述叶轮转子位于所述旋转绕组组件与悬浮绕组组件之间，所述悬浮绕组组件位于所述叶轮转子的内部；所述电涡流传感器组件用于检测所述叶轮转子的位置。


2.根据权利要求1所述的内支撑式磁悬浮泵，其特征在于，所述底座上设有绕组组件安装面，所述绕组组件安装面由不连续的中心面和外平面组成，所述旋转绕组组件位于所述外平面上，且所述旋转绕组组件与外平面的中心轴线重合；所述悬浮绕组组件位于所述中心面上，且所述悬浮绕组组件与所述中心面的中心轴线重合。


3.根据权利要求2所述的内支撑式磁悬浮泵，其特征在于，所述电机还包括散热罩，所述散热罩的下表面与所述底座相接，且所述散热罩位于所述旋转绕组组件外周。


4.根据权利要求1所述的内支撑式磁悬浮泵，其特征在于，所述密封壳包括蜗壳和泵盖，所述泵盖安装在所述蜗壳上方，所述泵盖的中心轴线与蜗壳的中心轴线重合，所述蜗壳内侧向下凸出形成中空腔，所述蜗壳上设有通孔流道，所述通孔流道与所述中空腔相连通。


5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵杰杰，马同，鲍晓东，杨杰，鲍晓玲，
申请(专利权)人：宁波众杰来同科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33