一种用于蒸发设备的样品悬挂机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，该机构包括腔室上盖，腔室上盖中央开设有第一通孔，第一通孔内滑动连接有悬挂组件，悬挂组件与第一通孔之间设置有密封件，密封件固定在第一通孔内，悬挂组件底部设置有固定组件，悬挂组件上设置有直线组件

【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸发设备的样品悬挂机构


[0001]本技术涉及一种样品悬挂机构，具体涉及一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，属于钙钛矿电池制备生产

。

技术介绍

[0002]蒸发镀膜设备由真空抽气系统
、
真空腔体
、
悬挂机构及其他外围设备组成
。
真空抽气系统由高真空泵
、
低真空泵
、
排气管道和阀门等组成；真空腔体内配置有蒸发源
、
加热装置
、
基片台等部件
。
[0003]目前的技术手段蒸发镀膜设备的样品悬挂机构调节方式都停留于将基片置于样品架上通过调整电源的功率来获取所需要的膜厚，这种方法有较大局限性，调整的区间有限
。

技术实现思路

[0004]基于以上背景，本技术的目的在于提供一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，解决
技术介绍
中所述的问题
。
[0005]为了实现上述技术目的，本技术提供以下技术方案：
[0006]一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，该机构包括腔室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：该机构包括腔室上盖
(1)
，所述腔室上盖
(1)
中央开设有第一通孔
(6)
，所述第一通孔
(6)
内滑动连接有悬挂组件
(3)
，所述悬挂组件
(3)
与第一通孔
(6)
之间设置有密封件
(7)
，所述密封件
(7)
固定在第一通孔
(6)
内，所述悬挂组件
(3)
底部设置有固定组件
(4)
，所述悬挂组件
(3)
上设置有直线组件
(2)
，所述悬挂组件
(3)
可通过直线组件
(2)
的带动上下运动，所述悬挂组件
(3)
顶部固定连接有旋转组件
(5)。2.
根据权利要求1所述的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：所述直线组件
(2)
包括直线电机
(201)
，所述直线电机
(201)
包含定子
(202)
，所述定子
(202)
上设置有动子
(203)
，所述定子
(202)
与动子
(203)
同侧均固定连接有限位传感器
(204)
，所述动子
(203)
上与设置限位传感器
(204)
相反的侧面上固定连接有位置反馈装置
(205)
，所述动子
(203)
上远离与定子
(202)
滑接面一面上固定连接有凹型连接板
(206)
，所述凹型连接板
(206)
上开设有固定孔
(207)
，所述固定孔
(207)
与悬挂组件
(3)
固定连接
。3.
根据权利要求1所述的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：所述悬挂组件
(3)
包括悬挂主体
(301)
，所述悬挂主体
(301)
固定连接凹型连接板
(206)
上开设的固定孔
(207)
内，所述悬挂主体
(301)
上转动连接有转轴
...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭家俊，陈凌延，
申请(专利权)人：杭州鼎能光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：