【技术实现步骤摘要】
一种电子级二氧化碳纯化设备
[0001]本技术涉及电子级二氧化碳纯化设备
,尤其涉及一种电子级二氧化碳纯化设备
。
技术介绍
[0002]电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品质多
、
质量要求高,人们把这类在电子工业中所用的气体统称为电子特种气体,简称电子特气;其中电子级二氧化碳在主要用于激光
、
电子工业
、
超临界萃取
、
反应堆气体冷却及科学研究领域;
[0003]目前,电子级二氧化碳的生产方法,主要采用纯度大于
99.9
%,含有水分
、
甲烷和其它一些杂质的工业级二氧化碳为原料,通过将液态的二氧化碳进行汽化
、
冷却
、
再汽化来获取较高纯度的电子级二氧化碳;其中汽化后的二氧化碳在冷却成液态后需要进行过滤,目的是将液态中的杂质过滤掉来提高二氧化碳的纯度,但是,由于液态二氧化碳过滤后一些杂质会堆积在过滤板上不能及时处理,随着杂质堆积越开越多,这样会造成过滤板被堵塞而不能进行过滤工作
。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在过滤工作容易出现滤孔堵塞的缺点,而提出的一种电子级二氧化碳纯化设备
。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]设计一种电子级二氧化碳纯化设备,包括第一汽化器
、
冷却机构
、
过滤机构和第二 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种电子级二氧化碳纯化设备,其特征在于,包括第一汽化器
(1)、
冷却机构
(2)、
过滤机构
(3)
和第二汽化器
(4)
;所述第一汽化器
(1)
的出口端与冷却机构
(2)
的进口端接通,所述冷却机构
(2)
的出口端与过滤机构
(3)
的进口端接通,所述过滤机构
(3)
的出口端与第二汽化器
(4)
接通;所述冷却机构
(2)
包括第一安装箱
(21)、
若干冷凝板
(22)、
进气管
(24)
和导液管
(25)
;若干所述冷凝板
(22)
均固定安装在第一安装箱
(21)
的内侧
、
且沿着竖直方向等距分布,若干所述冷凝板
(22)
均为倾斜结构,若干所述冷凝板
(22)
上均开设有漏孔
(23)
,若干所述漏孔
(23)
均匀分布在冷凝板
(22)
上;若干所述冷凝板
(22)
交替分布在第一安装箱
(21)
内
、
且形成一条
S
型通道,所述进气管
(24)
的一端与第一汽化器
(1)
的出口端接通,所述进气管
(24)
的另一端与第一安装箱
(21)
内部接通;所述过滤机构
(3)
包括第二安装箱
(31)、
过滤板
(32)
和出液管
(36)
;所述第二安装箱
(31)
固定安装在第一安装箱
(21)
的底端,所述过滤板
(32)
固定安装在第二安装箱
(31)
的内侧,所述出液管
(36)
技术研发人员:姚文涛,章俊,
申请(专利权)人:合肥先微半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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