一种电子气体制取用精馏提纯设备制造技术

本发明专利技术涉及电子气体制取技术领域，尤其是一种电子气体制取用精馏提纯设备，包括调节仓，调节仓一侧通过导管连通有精馏段，调节仓上端连通有冷凝器，调节仓内设置有气泡去除机构，气泡去除机构包括第一多孔板和电机，第一多孔板固定连接在调节仓的内侧壁上，环形面齿轮的内圈侧壁上呈圆形均匀固定连接有若干个第一刀片，电机的输出轴一端固定连接有第一齿轮。该电子气体制取用精馏提纯设备通过气泡去除机构的设置，能够将经过提馏和精馏后的气体中存在的很多气泡过滤掉，从而能够避免最终制取的气体中存在很多的气泡，进而能够防止最终制取的气体中还存在着很多气泡中所包含的液体而影响到了气体的分离效率和气体纯度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子气体制取，尤其涉及一种电子气体制取用精馏提纯设备。

技术介绍

1、精馏塔是进行精馏的一种塔式汽液接触装置，是气液传热、传质过程的常用设备。蒸气由塔底进入。蒸发出的气相与下降液进行逆流接触，两相接触中，下降液中的易挥发(低沸点)组分不断地向气相中转移，气相中的难挥发(高沸点)组分不断地向下降液中转移，气相愈接近塔顶，其易挥发组分浓度愈高，而下降液愈接近塔底，其难挥发组分则愈富集，从而达到组分分离的目的。

2、现有的精馏提纯设备也经常用于多种电子气体的制取过程，电子气体的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确。

3、而在现有技术中，经过提馏和精馏后的气体通常都是直接地导入到冷凝器中进行气体分离，分离出来的气体就会被直接导出进行收集，而冷凝下来的液体就会直接落下，最终被回收起来，但是，目前的该种气体精馏提纯方式，其中，经过提馏和精馏后的气体中蕴含着很多的水蒸气，而在水蒸气中又存在着很多的气泡，那么，经过提馏和精馏后的气体中就会包含着很多的气本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子气体制取用精馏提纯设备，包括调节仓(1)，所述调节仓(1)一侧通过导管(2)连通有精馏段(3)，所述调节仓(1)上端连通有冷凝器(6)，其特征在于，所述调节仓(1)内设置有气泡去除机构(7)，所述气泡去除机构(7)包括第一多孔板(71)和电机(74)，所述第一多孔板(71)固定连接在所述调节仓(1)的内侧壁上，所述第一多孔板(71)下表面转动连接有环形面齿轮(72)，所述环形面齿轮(72)的内圈侧壁上呈圆形均匀固定连接有若干个第一刀片(73)，所述电机(74)固定连接在所述调节仓(1)的内侧壁上，所述电机(74)的输出轴一端固定连接有第一齿轮(75)，且所述第一齿轮(75)与...

【技术特征摘要】

1.一种电子气体制取用精馏提纯设备，包括调节仓(1)，所述调节仓(1)一侧通过导管(2)连通有精馏段(3)，所述调节仓(1)上端连通有冷凝器(6)，其特征在于，所述调节仓(1)内设置有气泡去除机构(7)，所述气泡去除机构(7)包括第一多孔板(71)和电机(74)，所述第一多孔板(71)固定连接在所述调节仓(1)的内侧壁上，所述第一多孔板(71)下表面转动连接有环形面齿轮(72)，所述环形面齿轮(72)的内圈侧壁上呈圆形均匀固定连接有若干个第一刀片(73)，所述电机(74)固定连接在所述调节仓(1)的内侧壁上，所述电机(74)的输出轴一端固定连接有第一齿轮(75)，且所述第一齿轮(75)与所述环形面齿轮(72)相啮合。

2.根据权利要求1所述的电子气体制取用精馏提纯设备，其特征在于，所述第一多孔板(71)上表面设置有气流调速机构(8)，所述气流调速机构(8)包括第二多孔板(81)，所述第二多孔板(81)转动连接在所述第一多孔板(71)上表面，所述第二多孔板(81)上表面设置有错位机构。

3.根据权利要求2所述的电子气体制取用精馏提纯设备，其特征在于，所述错位机构包括第二齿轮(82)和气缸(83)，所述第二齿轮(82)固定连接在所述第二多孔板(81)上表面，所述气缸(83)固定连接在调节仓(1)的外侧壁上，所述气缸(83)上连通有供气机构(87)，所述气缸(83)一端贯穿至所述调节仓(1)内并固定连接有直齿条(84)，且所述直齿条(84)与所述第二齿轮(82)相啮合。

4.根据权利要求3所述的电子气体制取用精馏提纯设备，其特征在于，所述直齿条(84)远离所述气缸(83)一端与所述调节仓(1)的内侧壁之间设置有复位机构，所述复位机构包括插杆(85)，所述插杆(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：董宜忠，章俊，
申请(专利权)人：合肥先微半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：