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本发明涉及电子气体制取技术领域，尤其是一种电子气体制取用精馏提纯设备，包括调节仓，调节仓一侧通过导管连通有精馏段，调节仓上端连通有冷凝器，调节仓内设置有气泡去除机构，气泡去除机构包括第一多孔板和电机，第一多孔板固定连接在调节仓的内侧壁上，环...
该专利属于合肥先微半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥先微半导体材料有限公司授权不得商用。

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