【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及一种钇铁石榴石YIG谐振子、YIG振荡器及其制作方法。
技术介绍
YIG谐振子由于在微波波段有很高的Q值，其调谐频率与大小尺寸无关，在偏置磁 场作用下，其谐振频率呈线性变化。因而YIG谐振子常用来制作YIG振荡器、YIG滤波器。 YIG谐振子由YIG单晶体和耦合环构成，而YIG单晶体一般是采用YIG小球或YIG薄膜。如 图1所示，为传统的两种通用YIG谐振子的结构模型图，依次为通用YIG小球谐振子和YIG 薄膜谐振子。两种结构模型谐振子的等效电路图如图2所示，即YIG谐振子等效为一个电 感电容电阻并联结构。YIG谐振子的装配和调试作为纯手工操作的工序，受各种条件影响带来相当多的 不确定因数。对于YIG小球谐振子，需要支撑杆使YIG小球悬空在磁场正中间，这大大降低 了器件的可靠性，同时由于震颤效应而降低频率稳定度、产生相位噪声，此外还需使用加热 器及其他辅助元件来使YIG小球谐振子达到温度稳定以减少环境温差的影响。对于YIG薄 膜谐振子，由于YIG薄膜是粘结在陶瓷基板上，因而可靠性也不理想，同时由于耦合环仍靠 手工绕制制作，造成...
【技术保护点】
一种ＹＩＧ谐振子，包括耦合环和布置于所述耦合环中的ＹＩＧ单晶，其特征在于，所述耦合环为通过低温共烧铁氧体工艺按预设的耦合类型布置于多层陶瓷基板中的耦合环；所述ＹＩＧ单晶镶嵌于所述耦合环中，并通过低温共烧陶瓷工艺与所述耦合环烧结为一体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈劲松，蓝江河，张菊艳，杨星星，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第九研究所，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]
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