一种压力传感器自动抛光装置及其抛光方法制造方法及图纸

技术编号:39864820 阅读:27 留言:0更新日期:2023-12-30 12:56
一种压力传感器自动抛光装置及其抛光方法,它涉及传感器加工技术领,搬运机构位于夹持旋转机构的上方,且夹持旋转机构的前端配合设有修轮器组件,修轮器组件上设置有除尘机构,抛光轮机构位于搬运机构与夹持旋转机构的前方,且抛光轮机构与修轮器组件相互配合

【技术实现步骤摘要】
一种压力传感器自动抛光装置及其抛光方法


[0001]本专利技术涉及传感器加工
,具体涉及一种压力传感器自动抛光装置及其抛光方法


技术介绍

[0002]压力传感器作为
MEMS
传感器中的一个重要分支,是工业实践中必不可少的元器件之一,被广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电

铁路交通

智能建筑

生产自控

航空航天

军工

石化

油井

电力

船舶

机床

管道等众多行业,压力传感器表面抛光是生产工艺中必不可少的一部分

[0003]目前压力传感器的表面抛光主要靠人工完成,人工手动方式工作效率低,劳动强度大,存在误伤的安全隐患,且抛光过程中所产生的尘会对工作人员的健康造成危害,而在实现抛光自动化过程中,仍存在较多难点:如传感器规格多

外形尺寸存在差异
、<本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种压力传感器自动抛光装置及其抛光方法,其特征在于:它包括用于搬运待加工传感器
(6)
的搬运机构
(1)、
可进行待加工传感器
(6)
的夹持与旋转调节的夹持旋转机构
(2)、
用于除尘降尘的除尘机构
(3)、
对其待加工传感器
(6)
进行抛光打磨的抛光轮机构
(4)
及用于修正抛光轮机构
(4)
的修轮器组件
(5)
,所述搬运机构
(1)
位于夹持旋转机构
(2)
的上方,且夹持旋转机构
(2)
的前端配合设有修轮器组件
(5)
,修轮器组件
(5)
上设置有除尘机构
(3)
,所述抛光轮机构
(4)
位于搬运机构
(1)
与夹持旋转机构
(2)
的前方,且抛光轮机构
(4)
与修轮器组件
(5)
相互配合
。2.
根据权利要求1所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述搬运机构
(1)
包括横向搬运模组
(1

4)
,所述横向搬运模组
(1

4)
下方安装在搬运支撑立柱
(1

6)
上,且横向搬运模组
(1

4)
上滑动连接有搬运
Z
向机构
(1

3)
,所述搬运
Z
向机构
(1

3)
面端的中部安装有旋转气缸
(1

1)
,旋转气缸
(1

1)
的下方设有第二夹爪
(1

2)
,且旋转气缸
(1

1)
一侧设有第一夹爪
(1

5)
,旋转气缸
(1

1)
另一侧设有第三夹爪
(1

7)
,所述第三夹爪
(1

7)
与第一夹爪
(1

5)
分别设置在搬运
Z
向机构
(1

3)
面端的左右两侧
。3.
根据权利要求1所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述夹持旋转机构
(2)
包括夹持
Y
向移动机构
(2

3)
,所述夹持
Y
向移动机构
(2

3)
上滑动连接有加工夹持机构
(2

2)
,加工夹持机构
(2

2)
的后端与旋转机构
(2

1)
机械连接,且加工夹持机构
(2

2)
上夹持有待加工传感器
(6)。4.
根据权利要求1所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述除尘机构
(3)
包括了集尘管
(3

1)、
除尘盒
(3

2)、
钣金除尘盒
(3

4)
,所述除尘盒
(3

2)
安装在钣金除尘盒
(3

4)
上,钣金除尘盒
(3

4)
的底部设有钣金出尘孔
(3

5)
,所述集尘管
(3

1)
上方的开设有链接件出尘孔
(3

3)
,且钣金出尘孔
(3

5)
与链接件出尘孔
(3

3)
相连通
。5.
根据权利要求1所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述抛光轮机构
(4)
包括端面抛光模组与柱面抛光模组:所述端面抛光模组包括端面高速主轴
(4

8)
,所述端面高速主轴
(4

8)
设有两个,两个端面高速主轴
(4

8)
的输出端上均安装有端面抛光轮
(4

2)
,且两个端面高速主轴
(4

3)
的底部均安装在端面
Y
向模组
(4

6)
上,端面
Y
向模组
(4

6)
的底部与端面
Z
向机构
(4

7)
的顶部滑动连接;所述柱面抛光模组包括柱面高速主轴
(4

3)
,所述柱面高速主轴
(4

3)
的输出端安装有柱面抛光轮
(4

1)
,且柱面高速主轴
(4

3)
安装在柱面
Z
向模组
(4

4)
上,柱面
Z
向模组
(4

4)
与柱面
Y
向模组
(4

5)
滑动连接
。6.
根据权利要求1所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述修轮器组件
(5)
包括修轮固定块
(5

2)
,所述修轮固定块
(5

2)
的顶部安装有修轮器
(5

1)
,修轮固定块
(5

2)
的侧边设有顶丝
(5

3)
,且修轮固定块
(5

2)
通过顶丝
(5

3)
卡紧修轮器
(5

1)
,所述修轮固定块
(5

2)
的底部安装固定在基座
(5

4)
上,且基座
(5

4)
上设有便于除尘的基座出尘孔
(5

5)。7.
根据权利要求6所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述修轮器
(5

1)
与待加工传感器
(6)
之间设有便于待加工传感器
(6)
缓冲的间隙
。8.
根据权利要求1所述的一种压力传感器自动抛光装置,其特征在于:所述除尘机构
(3)、
抛光轮机构
(4)
及修轮器组件
(5)
均设有两组,且两组除尘机构
(3)、
抛光轮机构
(...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘旭东张辽赵冬冬吴国华赵志龙陈焕军闫建华
申请(专利权)人:北京清大天达光电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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