连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置及其方法，该装置包括光线发射组件和光线采集组件，所述光线发射组件由第一密闭外壳

【技术实现步骤摘要】
连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置及其方法


[0001]本专利技术属于陶瓷基复合材料界面层制备与质量监控
，具体涉及一种连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置及其方法
。

技术介绍

[0002]在纤维增强陶瓷基复合材料中，界面涂层是关键组元之一，界面涂层覆盖在增强纤维的表面，连接着增强纤维与陶瓷基体，起到了传递载荷
、
调节载荷和偏转裂纹的作用，界面涂层的优劣直接影响着复合材料的性能
。
[0003]化学气相沉积（
CVD
）工艺是制备氮化硼界面层最常用的工艺，按照沉积时工件的位置状态可将
CVD
工艺分为静态
CVD
工艺和连续
CVD
工艺
。
其中静态
CVD
工艺是最常见的
CVD
界面涂层制备方法，是指在沉积时基底工件静置在沉积室内，随设备一同升温
、
保温（沉积），最终降温取出
。
连续
CVD
工艺是对静态
CV本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置，所述实时监控装置设置在连续化学气相沉积腔室靠近其末端的部位，所述连续化学气相沉积腔室的顶部设置第一密封法兰和第二密封法兰，其特征在于：所述实时监控装置包括光线发射组件和光线采集组件；所述光线发射组件由第一密闭外壳
、
全光谱光源和第一反射镜构成，所述全光谱光源和所述第一反射镜分别位于所述第一密闭外壳的顶部和底部，所述第一密闭外壳的底部通过所述第一密封法兰垂直插入所述连续化学气相沉积腔室的内部；所述光线采集组件由第二密闭外壳
、
色散棱镜
、
光谱投屏板
、
第二反射镜和第三反射镜构成，所述第二反射镜和所述第三反射镜分别设置在所述第二密闭外壳的底部和顶部，所述色散棱镜设置在所述第二密闭外壳的顶部外侧，所述光谱投屏板与所述色散棱镜相对设置，且二者的中心轴线处于同一条水平线上，所述第二密闭外壳的底部通过所述第二密封法兰垂直插入所述连续化学气相沉积腔室的内部
。2.
根据权利要求1所述的连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置，其特征在于：所述第一密闭外壳和所述第二密闭外壳均为圆筒形，二者在竖直方向上平行设置
。3.
根据权利要求2所述的连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置，其特征在于：所述第一密闭外壳的底端和所述第二密闭外壳的底端处于同一条水平线上，二者位于连续化学气相沉积纤维的上方，且二者的底端与连续化学气相沉积纤维的距离相等
。4.
根据权利要求3所述的连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置，其特征在于：所述第一密闭外壳的底部与所述第一反射镜相对的侧面由高透光玻璃制成，其他各部分均由不锈钢或耐腐蚀塑料制成；所述第二密闭外壳的底部与所述第二反射镜相对的侧面由高透光玻璃制成，其他各部分均由不锈钢或耐腐蚀塑料制成
。5.
根据权利要求4所述的连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置，其特征在于：所述连续化学气相沉积腔室设置在放线辊与收线辊之间，纤维沿水平方向依次经过放线辊
、
连续化学气相沉积腔室及靠近其末端部位的实时监控装置
、
收线辊
。6.
一种连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控方法，其特征在于：使用权利要求1‑5中任一项所述的连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置，按照先后顺序包括以下步骤，步骤一：将实时监控装置安装在连续化学气相沉积腔室的末端部位，检查密封性和连接性，确保实时监控装置能够正常使用；步骤二：将纤维安装在放线辊上，拉出纤维头部使其沿水平方向依次穿过连续化学气相沉积腔室及靠近其末端部位的实时监控装置，并固定在收线辊上，调试第一反射镜
、
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆子龙，焦健，王晗，齐哲，杨金华，刘虎，
申请(专利权)人：中国航发北京航空材料研究院，
类型：发明
国别省市：