下载连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置及其方法的技术资料

文档序号:39838601

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本发明公开了一种连续化学气相沉积界面层厚度的实时监控装置及其方法,该装置包括光线发射组件和光线采集组件,所述光线发射组件由第一密闭外壳
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该专利属于中国航发北京航空材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国航发北京航空材料研究院授权不得商用。

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