基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法技术

本发明专利技术提供一种基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法，其基本设计包括以下步骤：

【技术实现步骤摘要】
基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法


[0001]本专利技术属于非接触式光学相干层析成像
，具体涉及一种基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法
。

技术介绍

[0002]随着航空航天，能源，军工等行业的快速发展，滑动轴承时常需要在高温，高速和高负荷下运转，润滑的失效会增加被润滑装置的摩擦和磨损，因此滑动轴承相对运动表面的润滑近年来变得越来越重要，而耐磨涂层材料的几何厚度是评价其磨损程度的重要指标之一，其几何厚度的测量对于防止涂层失效具有重要意义
。
[0003]现有针对滑动轴承涂层的检测手段多使用扫描电子显微镜等仪器对剖切后的自润滑涂层截面进行检测，其属于有损检测，并且无法对滑动轴承涂层进行整体的涂层厚度检测，而频域光学相干层析技术具备高分辨率，非接触，应用灵活等优势，能够实现涂层厚度的无损检测，但在以往的涂层厚度检测中，存在着样品折射率未知以及使用样品折射率而非群折射率计算涂层厚度从而导致测量误差过大的问题
。
因此，非常有必要提出一种能够在涂层样品折射率未知的情况下仍能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、
将涂层与石英玻璃以三种不同的组合方式分别放置于频域光学相干层析系统的探测端并利用该系统分别采集三组干涉信号；
S2、
对
S1
所得的三组干涉信号进行光谱矫正，经快速傅里叶变换后利用汉宁窗能量重心矫正算法分别求取三组频域信号中各个反射层所对应的位置数据；
S3、
构建光学厚度与几何厚度之间的物理方程；
S4、
将
S2
所求得到各位置数据带入
S3
所建立的方程中计算得到涂层的厚度
d
s
和群折射率
n
s
。2.
根据权利要求1所述的基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法，其特征在于：步骤
S1
中，按如下步骤分别采集三组干涉信号：步骤
S11
：将石英玻璃作为样品放置于频域光学相干层析系统的探测臂处，采集石英玻璃上表面所对应的一组干涉信号，此时干涉信号对应石英玻璃上表面的位置数据；步骤
S12
：在步骤
S11
的基础之上，将涂层样品悬空放置于石英玻璃上方一定位置处，利用频域光学相干层析系统采集此条件下所对应的一组干涉信号，此时干涉信号对应受涂层折射率而改变的石英玻璃上表面位置数据；步骤
S13
：在步骤
S11
的基础之上，将涂层样品放置于石英玻璃表面，利用频域光学相干层析系统采集此条件下所对应的一组干涉信号，此时干涉信号对应涂层的上表面与下表面位置数据
。3.
根据权利要求2所述的基于频域光学相干层析技术的滑动轴承涂层厚度检测方法，其特征在于：步骤
S2
中，所述汉宁窗能量重心矫正算法为：其中，为谐波信号归一化后的频率，
k
为谱线幅值最大点所对应的谱线号，
G
为第
i
条谱线所对应的幅值，
f
s
为采样频率，
N
为采样点数
。...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟舜聪，邓耀森，张秋坤，林杰文，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：发明
国别省市：