基板支撑模块及包括该基板支撑模块的基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板支撑模块及包括该基板支撑模块的基板处理装置。本发明专利技术公开了一种基板支撑模块，用于支撑基板，包括：底板；第一基板支撑部，包括在所述底板上可进行移动的第一基板支撑板与配置在所述第一基板支撑板上的多个第一基板支撑销；第二基板支撑部，包括在所述底板上可进行移动的第二基板支撑板与配置在所述第二基板支撑板上的多个第二基板支撑销；驱动部，分别独立移动所述第一基板支撑部及所述第二基板支撑部；其中，所述第一基板支撑销及所述第二基板支撑销在所述第一基板支撑板与所述第二基板支撑板相邻时相互对齐。齐。齐。

【技术实现步骤摘要】
基板支撑模块及包括该基板支撑模块的基板处理装置


[0001]本专利技术涉及基板支撑模块及包括该基板支撑模块的基板处理装置，更详细地说，涉及可改变支撑位置的基板支撑模块及包括该基板支撑模块的基板处理装置。

技术介绍

[0002]通常，为了基板处理，在通过基板支撑模块支撑基板的状态下，通过基板支撑模块的上下移动将基板放置及固定在静电吸盘或者真空吸盘式的基板支撑部，进而执行基板处理。
[0003]此时，在通过基板支撑模块支撑处理对象基板的状态下下降基板支撑模块，进而可将基板放置于基板支撑部，并且在面朝向的状态下可对基板执行基板处理。
[0004]另一方面，基板的处理面朝向上方的面朝上状态的基板的情况下，其中一部分可出现在因为漂浮异物等吸附于基板处理面而污染基板的问题，所以在通过基板支撑模块支撑基板的状态下上升基板支撑模块，可将基板以基板处理面朝向下方的面朝下状态固定在基板支撑部。
[0005]如此，为了将基板固定在基板支撑部而支撑基板的情况下，需要支撑基板处理面，需要支撑对基板处理面没有影响的特定位置，然而该可支撑位置非常有限，并且根据投放的基板的种类出现相互不同的问题。
[0006]即，支撑基板的位置非常有限，并且根据投放的基板支撑位置可发生变化，因为无法精确设定这种支撑位，出现处理面污染或者损伤基板的问题。
[0007]另外，随着基板大型化，中心侧相比于边缘更加下沉，因此在无法保持基板水平的状态下支撑基板，中心侧无法接触于基板支撑部，因此存在无法顺利吸附基板的问题。
[0008]另一方面，为了改善这种问题，以往的基板支撑模块在边缘及中心适用了可移动的基板支撑销，然而因为狭小的空间内可配置的马达等驱动部的限制，存在无法设置这种基板支撑销的问题。
[0009]据此，以往的基板支撑模块的适用结构如下：具有可在边缘移动的基板支撑销与可在中心上下移动并且以水平方向固定配置的基板支撑销，随着在边缘配置的基板支撑销进行线性移动接触于配置在中心的基板支撑销，配置在中心的基板支撑销上升。
[0010]然而，如此的基板支撑模块的问题如下：边缘基板支撑销与中心基板支撑销无法同时支撑基板，因此设备运用宽度受限，而且伴随着结构之间的接触，出现基板支撑销错位，因此存在无法精确控制基板位置的问题。
[0011]另外，以往的基板支撑模块为，在上下驱动中心基板支撑销时，因为引导阻力发生结构变形，进而存在降低耐久性，维护频繁且相关成本增加的问题。
[0012]另外，以往的基板支撑模块为，以水平方向固定支撑基板的中心基板支撑销，因此存在无法根据基板可支撑位置精确设定基板支撑位置的问题。

技术实现思路

[0013]要解决的问题
[0014]本专利技术的目的在于，为了解决如上所述的问题，提供一种可改变基板的支撑位置的基板支撑模块及包括该基板支撑模块的基板处理装置。
[0015]解决问题的手段
[0016]本专利技术是为了达到如上所述的本专利技术的目的而提出的，本专利技术公开了一种基板支撑模块，用于支撑基板1，包括：底板50；第一基板支撑部100，包括第一基板支撑板110与多个第一基板支撑销120，所述第一基板支撑板110在所述底板50上可进行移动，所述多个第一基板支撑销120配置在所述第一基板支撑板110上；第二基板支撑部200，包括第二基板支撑板210与多个第二基板支撑销220，所述第二基板支撑板210在所述底板50上可进行移动，所述多个第二基板支撑销220配置在所述第二基板支撑板210上；驱动部，分别独立移动所述第一基板支撑部100及所述第二基板支撑部200；其中，所述第一基板支撑销120及所述第二基板支撑销220在所述第一基板支撑板110与所述第二基板支撑板210相邻时相互对齐。
[0017]所述第一基板支撑部100以第一方向可进行往返线性移动；所述第二基板支撑部200以所述第一方向与所述第一基板支撑部100相向设置，并且能够以所述第一方向可进行往返线性移动。
[0018]所述第一基板支撑板110具有以第二方向形成的长度，所述第二方向与所述第一方向交叉，并且沿着所述第二方向配置第一基板支撑销120；所述第二基板支撑板210可具有以所述第二方向形成的长度，并且沿着所述第二方向配置所述第二基板支撑销220。
[0019]所述第一基板支撑销120及所述第二基板支撑销220在对齐时能够以所述第二方向相互交替配置。
[0020]所述第一基板支撑销120及所述第二基板支撑销220在平面上以所述底板50中心为准可点对称配置。
[0021]所述驱动部可包括：第一驱动部300，包括第一传动部310与第一驱动马达320，所述第一传动部310向所述第一基板支撑部100传递动力以线性移动所述第一基板支撑部100，所述第一驱动马达320向所述第一传动部310提供动力；第二驱动部400，包括第二传动部410与第二驱动马达420，所述第二传动部410向所述第二基板支撑部200传递动力以线性移动所述第二基板支撑部200，所述第二驱动马达420向所述第二传动部410传递动力。
[0022]所述第一传动部310包括：第一滚珠螺杆311，形成所述第一基板支撑部100移动路径，并且通过所述第一驱动马达320进行旋转；第一移动块312，螺栓结合于所述第一滚珠螺杆311，并且与所述第一基板支撑部100连接进行移动。所述第二传动部410可包括：第二滚珠螺杆411，形成所述第二基板支撑部200的移动路径，并且通过所述第二驱动马达420进行旋转；第二移动块412，螺栓结合于所述第二滚珠螺杆411，并且与所述第二基板支撑部200连接进行移动。
[0023]所述基板支撑模块还可包括第一移动引导部500及第二移动引导部600，所述第一移动引导部500及第二移动引导部600设置在所述底板50上，以分别引导所述第一基板支撑部100及所述第二基板支撑部200的移动。
[0024]所述第一移动引导部500包括：第一导轨510，与所述第一传动部310平行设置；第一引导连接部520，沿着所述第一导轨510进行移动，并且连接于所述第一基板支撑部100。
所述第二移动引导部600可包括：第二导轨610，与所述第二传动部410平行设置；第二引导连接部620，沿着所述第二导轨610移动，并且连接于所述第二基板支撑部200。
[0025]所述第一移动引导部500及所述第二移动引导部600为，所述第一导轨510及所述第二导轨610相互结合而延伸，所述第一引导连接部520沿着所述第二导轨610可进行移动，所述第二引导连接部620可沿着所述第一导轨510可进行移动。
[0026]所述基板支撑模块还可包括静电传感器700，所述静电传感器700设置在所述底板50上以检测所述基板1的静电。
[0027]所述静电传感器700在所述底板50上固定配置在所述第一基板支撑部100及所述第二基板支撑部200之间；所述第一基板支撑部100及所述第二基板支撑部200中的至少一个可包括凹槽部190本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑模块，用于支撑基板(1)，其特征在于，包括：底板(50)；第一基板支撑部(100)，包括第一基板支撑板(110)与多个第一基板支撑销(120)，所述第一基板支撑板(110)在所述底板(50)上可进行移动，所述多个第一基板支撑销(120)配置在所述第一基板支撑板(110)上；第二基板支撑部(200)，包括第二基板支撑板(210)与多个第二基板支撑销(220)，所述第二基板支撑板(210)在所述底板(50)上可进行移动，所述多个第二基板支撑销(220)配置在所述第二基板支撑板(210)上；驱动部，分别独立移动所述第一基板支撑部(100)及所述第二基板支撑部(200)；其中，所述第一基板支撑销(120)及所述第二基板支撑销(220)在所述第一基板支撑板(110)与所述第二基板支撑板(210)相邻时相互对齐。2.根据权利要求1所述的基板支撑模块，其特征在于，所述第一基板支撑部(100)以第一方向可进行往返线性移动；所述第二基板支撑部(200)以所述第一方向与所述第一基板支撑部(100)相向设置，并且以所述第一方向可进行往返线性移动。3.根据权利要求2所述的基板支撑模块，其特征在于，所述第一基板支撑板(110)具有以第二方向形成的长度，所述第二方向与所述第一方向交叉，并且沿着所述第二方向配置第一基板支撑销(120)；所述第二基板支撑板(210)具有以所述第二方向形成的长度，并且沿着所述第二方向配置所述第二基板支撑销(220)。4.根据权利要求3所述的基板支撑模块，其特征在于，所述第一基板支撑销(120)及所述第二基板支撑销(220)在对齐时以所述第二方向相互交替配置。5.根据权利要求1所述的基板支撑模块，其特征在于，所述第一基板支撑销(120)及所述第二基板支撑销(220)在平面上以所述底板(50)中心为准点对称配置。6.根据权利要求1所述的基板支撑模块，其特征在于，所述驱动部包括：第一驱动部(300)，包括第一传动部(310)与第一驱动马达(320)，所述第一传动部(310)向所述第一基板支撑部(100)传递动力以线性移动所述第一基板支撑部(100)，所述第一驱动马达(320)向所述第一传动部(310)提供动力；第二驱动部(400)，包括第二传动部(410)与第二驱动马达(420)，所述第二传动部(410)向所述第二基板支撑部(200)传递动力以线性移动所述第二基板支撑部(200)，所述第二驱动马达(420)向所述第二传动部(410)传递动力。7.根据权利要求6所述的基板支撑模块，其特征在于，所述第一传动部(310)包括：第一滚珠螺杆(311)，形成所述第一基板支撑部(100)移动路径，并且通过所述第一驱动马达(320)进行旋转；第一移动块(312)，螺栓结合于所述第一滚珠螺杆(311)，并且与所述第一基板支撑部(100)连接进行移动；所述第二传动部(410)包括：
第二滚珠螺杆(411)，形成所述第二基板支撑部(200)的移动路径，并且通过所述第二驱动马达(420)进行旋转；第二移动块(412)，螺栓结合于所述第二滚珠螺杆(411)，并且与所述第二基板支撑部(200)连接进行移动。8.根据权利要求6所述的基板支撑模块，其特征在于，还包括：第一移动引导部(500)及第二移动引导部(600)，设置在所述底板(50)上，以分别引导所述第一基板支撑部(100)及所述第二基板支撑部(200)的移动。9.根据权利要求8所述的基板支撑模块，其特征在于，所述第一移动引导部...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜京模，李熙云，
申请(专利权)人：圆益IPS股份有限公司，
类型：发明
国别省市：