压电器件及其设计方法技术

本申请提供了一种压电器件及其设计方法

【技术实现步骤摘要】
压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备


[0001]本申请涉及压电器件
，尤其是涉及一种压电器件及其设计方法
、
压电滤波器
、
电子设备
。

技术介绍

[0002]随着移动通信技术进入到
5G
时代，大量
5G
移动终端和基站在世界范围内广泛部署
。5G
技术除了继承了前一代
4G
及
4G
‑
LTE
在
700MHz
‑
2.7GHz
的通信频段，还扩展了在
3GHz
以上的应用，如
N77、N78、N79
，频率最高可达
5GHz。
同时以
Wi
‑
Fi
为主要代表的无线局域网
(WLAN)
技术也在不断演进，
Wi
‑
Fi 6/6E
已经进入人们的日常生活，它们在传统的
2.4GHz
和
5GHz
频段
(
统称为
Sub 6GHz)
基础上又扩展
6GHz
以上的应用
。
现今的移动通信终端大多同时支持这两种技术的无线接入，多模式
、
多频段渐成通用的技术要求，其中负责空中接口的射频电路也日趋复杂，但移动终端又同时需要兼顾小型化的要求，因此市场对高性能
、
小型化的射频滤波类器件的需求也愈加迫切
。
[0003]目前，能够满足此类要求的滤波类器件主要是压电声波滤波器，构成此类声波滤波器的谐振器主要包括体声波
(Bulk Acoustic Wave
，
BAW)
谐振器和表面声波
(Surface Acoustic Wave
，
SAW)
谐振器
。
其中，体声波滤波器具有更高的应用频率
、
更低的插入损耗
、
更快的滚降边沿
、
更大的功率容量和防静电特性等优势，因此更加适用于高频场景的需求
。
[0004]在实际的使用过程中，一般需要从谐振器的上电极或下电极引出连线，将多个
BAW
谐振器连接在一起，构成滤波器等器件
。
引出连线与压电层和下电极重叠，但不与声学镜重叠的区域会产生寄生电容，导致谐振器的机电耦合系数
Kt2等性能受到影响而恶化
。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种压电器件及其设计方法
、
压电滤波器
、
电子设备，通过调整引出连线的结构来减小寄生电容，优化谐振器的性能
。
[0006]第一方面，本申请提供一种压电器件，包括：依次叠加的上电极
、
压电层
、
下电极
、
声学镜
、
基底；所述上电极
、
所述压电层
、
所述下电极
、
所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区；所述上电极的轮廓边缘中包括至少一条非连接边和至少一条连接边，长度大于预设长度的连接边上包括至少一个引出段和至少一个非引出段；长度小于预设长度的连接边和所述引出段用于引出连线；在所述非连接边对应的位置
、
所述非引出段对应的位置，所述上电极的轮廓边缘落入所述声学镜的轮廓内部，所述上电极的轮廓边缘与所述声学镜的轮廓边缘的距离为
d1
；所述声学镜的轮廓边缘落入所述下电极的轮廓内部，所述声学镜的轮廓边缘与所述下电极的轮廓边缘的距离为
d2
；在所述引出段对应的位置
、
长度小于预设长度的连接边对应的位置，所述上电极
的轮廓边缘与所述声学镜的轮廓边缘重叠，且落入所述下电极的轮廓内部；所述声学镜的轮廓边缘与所述下电极的轮廓边缘的距离为
d3
；其中，
d3
小于
d2
，
d3
小于等于
d1。
[0007]可选的，在所述引出段与所述非引出段连接处对应的位置，所述声学镜的轮廓边缘
、
所述下电极的轮廓边缘均以平滑的曲线连接
。
[0008]可选的，在所述引出段与所述非引出段连接处对应的位置，所述声学镜的轮廓边缘
、
所述下电极的轮廓边缘均以直线连接，且所形成的内角均为钝角或优角
。
[0009]可选的，所述优角的角度范围包括
190
°‑
260
°
；所述钝角的角度范围包括
100
°‑
170
°
。
[0010]可选的，
1um<d1<15um
，
1um<d2<15um
，
d3≥1um。
[0011]可选的，所述有效区的外轮廓为多边形；或者，所述有效区包括多边形区域
、
与所述多边形区域在同平面内连接的至少一个延伸区域；所述延伸区域包括一个基边和依次连接的若干折线边；其中，所述基边为所述多边形区域的其中一条边，所述若干折线边为以所述基边为弦的圆弧的内接折线；或者，所述有效区包括第一椭圆形区域和第二椭圆形区域；所述第一椭圆形区域包括长轴边
、
与所述长轴边和第一短轴对应的第一椭圆弧；所述第二椭圆形区域包括所述长轴边
、
与所述长轴边和第二短轴对应的第二椭圆弧；所述第一椭圆弧与所述第二椭圆弧分别相接于所述长轴边的两个端点处；其中，所述第一椭圆形区域与所述第二椭圆形区域以所述长轴边为界在同一平面内相邻设置；所述第一短轴与所述第二短轴不等长
。
[0012]可选的，在所述非引出段对应的位置或所述非连接边对应的位置，所述压电层上还设置有释放通道，连通所述声学镜和所述压电器件的外部空间
。
[0013]第二方面，本申请提供一种压电器件的设计方法，所述压电器件包括依次叠加的上电极
、
压电层
、
下电极
、
声学镜
、
基底；所述上电极
、
所述压电层
、
所述下电极
、
所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区；所述上电极的轮廓边缘中包括至少一条非连接边和至少一条连接边，至少有一条连接边上包括至少一个引出段和至少一个非引出段；在所述非连接边对应的位置
、
所述非引出段对应的位置，所述上电极的轮廓边缘落入所述声学镜的轮廓内部，所述上电极的轮廓边缘与所述声学镜的轮廓边缘的距离为
d1
；所述声学镜的轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种压电器件，其特征在于，包括：依次叠加的上电极
、
压电层
、
下电极
、
声学镜
、
基底；所述上电极
、
所述压电层
、
所述下电极
、
所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区；所述上电极的轮廓边缘中包括至少一条非连接边和至少一条连接边，长度大于预设长度的连接边上包括至少一个引出段和至少一个非引出段；长度小于预设长度的连接边和所述引出段用于引出连线；在所述非连接边对应的位置
、
所述非引出段对应的位置，所述上电极的轮廓边缘落入所述声学镜的轮廓内部，所述上电极的轮廓边缘与所述声学镜的轮廓边缘的距离为
d1
；所述声学镜的轮廓边缘落入所述下电极的轮廓内部，所述声学镜的轮廓边缘与所述下电极的轮廓边缘的距离为
d2
；在所述引出段对应的位置
、
长度小于预设长度的连接边对应的位置，所述上电极的轮廓边缘与所述声学镜的轮廓边缘重叠，且落入所述下电极的轮廓内部；所述声学镜的轮廓边缘与所述下电极的轮廓边缘的距离为
d3
；其中，
d3
小于
d2
，
d3
小于等于
d1。2.
根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，在所述引出段与所述非引出段连接处对应的位置，所述声学镜的轮廓边缘
、
所述下电极的轮廓边缘均以平滑的曲线连接
。3.
根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，在所述引出段与所述非引出段连接处对应的位置，所述声学镜的轮廓边缘
、
所述下电极的轮廓边缘均以直线连接，且所形成的内角均为钝角或优角
。4.
根据权利要求3所述的压电器件，其特征在于，所述优角的角度范围包括
190
°‑
260
°
；所述钝角的角度范围包括
100
°‑
170
°
。5.
根据权利要求1‑4任一项所述的压电器件，其特征在于，
1um<d1<15um
，
1um<d2<15um
，
d3≥1um。6.
根据权利要求1‑4任一项所述的压电器件，其特征在于，所述有效区的外轮廓为多边形；或者，所述有效区包括多边形区域
、
与所述多边形区域在同平面内连接的至少一个延伸区域；所述延伸区域包括一个基边和依次连接的若干折线边；其中，所述基边为所述多边形区域的其中一条边，所述若干折线边为以所述基边为弦的圆弧的内接折线；或者，所述有效区包括第一椭圆形区域和第二椭圆形区域；所述第一椭圆形区域包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑云卓，
申请(专利权)人：天津海腾微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：