电极、压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备技术

本申请提供了一种电极、压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备。压电器件包括：依次叠加的第一电极、压电层、第二电极、声学镜、基底；所述第一电极、所述压电层、所述第二电极、所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区域；所述有效区域包括多边形区域、与所述多边形区域在同平面内连接的至少一个延伸区域；所述延伸区域包括一个基边和依次连接的若干折线边；其中，所述基边为所述多边形区域的其中一条边，所述若干折线边为以所述基边为弦的圆弧的内接折线。将多边形的某些直边用内接于圆弧的多段折线替代，增大各点在有效区边缘的相对位置的区别，尽量消除直边上可能存在多点的谐振路径相似的问题，提升器件性能。件性能。件性能。

【技术实现步骤摘要】
电极、压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备


[0001]本申请涉及压电器件
，尤其是涉及一种电极、压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备。

技术介绍

[0002]随着移动通信技术进入到5G时代，大量5G移动终端和基站在世界范围内广泛部署。5G技术除了继承了前一代4G及4G
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LTE在700MHz
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2.7GHz的通信频段，还扩展了在3GHz以上的应用，如N77、N78、N79，频率最高可达5GHz。同时以Wi
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Fi为主要代表的无线局域网（WLAN）技术也在不断演进，Wi
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Fi 6/6E已经进入人们的日常生活，它们在传统的2.4GHz和5GHz频段（统称为Sub 6GHz）基础上又扩展6GHz以上的应用。现今的移动通信终端大多同时支持这两种技术的无线接入，多模式、多频段渐成通用的技术要求，其中负责空中接口的射频电路也日趋复杂，但移动终端又同时需要兼顾小型化的要求，因此市场对高性能、小型化的射频滤波类器件的需求也愈加迫切。
[0003]目前，能够满足此类要求的滤波类器件主要是压电声波滤波器，构成此类声波滤波器的谐振器主要包括体声波（Bulk Acoustic Wave，BAW）谐振器和表面声波（Surface Acoustic Wave，SAW）谐振器。其中，体声波滤波器具有更高的应用频率、更低的插入损耗、更快的滚降边沿、更大的功率容量和防静电特性等优势，因此更加适用于高频场景的需求。
[0004]BAW谐振器的性能主要受到横向谐振的影响。当横向谐振某个模式的谐振频率恰好位于纵向主谐振模式（谐振频率对应的谐振模式）附近时，横向谐振产生能量叠加就可能位于主谐振频率附近，因为横向谐振而产生的阻抗毛刺会影响体声波滤波器的插入损耗，恶化器件性能。
[0005]相关技术中，通常将BAW谐振器有效区的形状设置成不存在平行边的多边形，以增加边缘各点横向谐振距离的长度，并使其尽量各不相同，从而尽量提升器件性能。不过，多边形的直边中仍可能有会存在某些邻近区域内的点反射路径相似，形成能量叠加，进而产生阻抗毛刺，降低器件性能。

技术实现思路

[0006]本申请提供一种电极、压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备，进一步提升横向谐振距离，分散相似反射路径的边缘点，提升器件性能。
[0007]第一方面，本申请提供一种压电器件，包括：依次叠加的第一电极、压电层、第二电极、声学镜、基底；所述第一电极、所述压电层、所述第二电极、所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区域；所述有效区域包括多边形区域、与所述多边形区域在同平面内连接的至少一个延伸区域；所述延伸区域包括一个基边和依次连接的若干折线边；
其中，所述基边为所述多边形区域的其中一条边，所述若干折线边为以所述基边为弦的圆弧的内接折线。
[0008]可选的，各所述折线边的长度范围是1μm~50μm。
[0009]可选的，各所述若干折线边的长度相等。
[0010]可选的，所述多边形区域包括：三角形区域、四边形区域、五边形区域、六边形区域。
[0011]可选的，所述有效区中，与所述多边形区域的顶点对应的内角大于90
°
。
[0012]可选的，所述有效区中，与所述多边形区域的顶点对应的内角大于180
°
。
[0013]第二方面，本申请提供一种压电器件的电极，所述电极用于作为第一方面所述的压电器件的第一电极和/或第二电极，以形成所述有效区域。
[0014]第三方面，本申请提供一种压电器件的设计方法，所述压电器件包括依次叠加的第一电极、压电层、第二电极、声学镜、基底；所述第一电极、所述压电层、所述第二电极、所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区域；所述有效区域包括多边形区域、与所述多边形区域在同平面内连接的至少一个延伸区域；所述延伸区域包括一个基边和依次连接的若干折线边；所述方法包括：确定多边形区域；从所述多边形区域的边中确定至少一个基边；根据预设的曲率，确定以所述基边为弦的圆弧；根据预设的折线数量，从所述圆弧上选取对应数量个插入端点；将所述基边的端点、对应数量个所述插入端点依次连接，形成若干折线边，作为所述圆弧的内接折线，以使所述若干折线边与所述基边构成所述延伸区域，所述延伸区域与所述多边形区域构成面积为预设面积的所述有效区域。
[0015]第四方面，本申请提供一种压电滤波器，包括：如第一方面任一项所述的压电器件。
[0016]第五方面，本申请提供一种电子设备，包括：如第四方面所述的压电滤波器。
[0017]第六方面，本申请提供一种压电器件的设计装置，包括：基础多边形确定模块，用于确定多边形区域；基边选取模块，用于从所述多边形区域的边中确定至少一个基边；圆弧确定模块，用于根据预设的曲率，确定以所述基边为弦的圆弧；插入点选取模块，用于根据预设的折线数量，从所述圆弧上选取对应数量个插入端点；有效区域调整模块，用于将所述基边的端点、对应数量个所述插入端点依次连接，形成若干折线边，作为所述圆弧的内接折线，以使所述若干折线边与所述基边构成所述延伸区域，所述延伸区域与所述多边形区域构成面积为预设面积的所述有效区域。
[0018]第七方面，本申请提供一种压电器件的设计设备，包括：存储器和处理器；所述存储器上存储有能够被处理器加载并执行第三方面的设计方法的计算机程序。
[0019]第八方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，存储有能够被处理器加载并执行第三方面的设计方法的计算机程序。
[0020]本申请提供了一种电极、压电器件及其设计方法、压电滤波器、电子设备。压电器
件的有效区域在多边形的基础上增加了延伸区域，将多边形的某些直边用内接于圆弧的多段折线替代，增大各点在有效区边缘的相对位置的区别，分散相似反射路径的边缘点，以尽量消除直边上可能存在多点的谐振路径相似的问题，提升器件性能。并且，弧化的结果仍是直线段，不包括弧线边，在设计软件中容易实现，便于器件参数计算。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本申请一实施例提供的一种现有的多边形有效区域示意图；图2为本申请一实施例提供的一种对图1的有效区域边缘采样点进行谐振距离分析的结果示意图；图3为本申请一实施例提供的图1中一个起始点的谐振路径示意图；图4为本申请一实施例提供的图1中另一个起始点的谐振路径示意图；图5为本申请一实施例提供的一种圆弧相关特征的解析示意图；图6为本申请一实施例提供的一种对直线进行弧化的示意图；图7为本申请一实施例提供的另一种对直线进行弧化的示意图；图8为本申请一实施例提供的一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电器件，其特征在于，包括：依次叠加的第一电极、压电层、第二电极、声学镜、基底；所述第一电极、所述压电层、所述第二电极、所述声学镜在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区域；所述有效区域包括多边形区域、与所述多边形区域在同平面内连接的至少一个延伸区域；所述延伸区域包括一个基边和依次连接的若干折线边；其中，所述基边为所述多边形区域的其中一条边，所述若干折线边为以所述基边为弦的圆弧的内接折线。2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，各所述折线边的长度范围是1μm~50μm。3.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，各所述若干折线边的长度相等。4.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，所述多边形区域包括：三角形区域、四边形区域、五边形区域、六边形区域。5.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，所述有效区中，与所述多边形区域的顶点对应的内角大于90
°
。6.根据权利要求5所述的压电器件，其特征在于，所述有效区中，与所述多边形区域的顶点对应的内角大于180
°
。7.一种压电器件的电极，其特征在于，所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑云卓，王笛，
申请(专利权)人：天津海腾微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：