弹性波器件和梯形滤波器制造技术

目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件

【技术实现步骤摘要】
弹性波器件和梯形滤波器
[0001]本申请是分案申请，其原案申请是国际申请日为
2021
年4月
28
日
、
国际申请号为
PCT/US2021/029683
的
PCT
申请于
2022
年
10
月
19
日进入国家阶段的专利技术专利申请，国家申请号为
202180029585.8
，专利技术名称为“弹性波器件和梯形滤波器”。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]本申请要求于
2020
年4月
29
日提交的美国专利申请
No.63/017,101
的优先权
。
该申请的全部内容通过引用并入本文
。


[0004]本专利技术涉及在压电膜下方包括腔部的弹性波器件和包括该弹性波器件的梯形滤波器
。

技术介绍

[0005]常规地，已知在压电膜的下方设置腔部的弹性波器件
。
例如，下述专利文献1公开了使用兰姆波
(Lamb wave)
作为板波的弹性波器件
。
在该弹性波器件中，在支撑基板中设置腔部
。
压电膜与腔部重叠
。IDT
电极设置在压电膜的上表面上
。
在
IDT
电极的两侧设置有反射器
。
因此，构造了使用板波的弹性波谐振器
>。
[0006][
现有技术文献
][0007][
专利文献
][0008][
专利文献
1]日本专利申请公开
No.2012
‑
257019

技术实现思路

[0009][
本专利技术解决的问题
][0010]在专利文献1所描述的包括腔部的弹性波器件中，压电膜可能会发生破裂
。
[0011]本专利技术的优选实施例提供了包括腔部但减少或防止压电膜破裂的弹性波器件，以及包括这种弹性波器件的梯形滤波器
。
[0012][
解决问题的手段
][0013]根据本专利技术的优选实施例，一种弹性波器件包括：支撑基板，包括第一主表面和向第一主表面开口的凹部；压电膜，由铌酸锂或钽酸锂制成，层叠在支撑基板的第一主表面上，并与凹部和支撑基板一起限定腔部；以及电极，位于压电膜上，并包括第一母线和第二母线
、
连接到第一母线的第一电极指
、
以及连接到第二母线的第二电极指；其中，当在俯视图中观察时，第一母线和第二母线包括多个角部；弹性波器件使用厚度滑移模式的体波；并且当在俯视图中观察时，第一母线和第二母线的角部中的至少一个角部在腔部的外侧
。
[0014]根据本专利技术的优选实施例，一种弹性波器件包括：支撑基板，包括第一主表面和向第一主表面开口的凹部；压电膜，由铌酸锂或钽酸锂制成，层叠在支撑基板的第一主表面上，并与凹部和支撑基板一起限定腔部；以及电极，位于压电膜上，并包括第一母线和第二母线
、
连接到第一母线的第一电极指
、
以及连接到第二母线的第二电极指；其中，当在俯视
图中观察时，第一母线和第二母线包括多个角部；当压电膜的厚度为
d
，并且第一电极指和第二电极指的中心之间的距离为
p
时，
d/p
约为
0.5
或更小；并且当在俯视图中观察时，第一母线和第二母线的角部中的至少一个角部在腔部的外侧
。
[0015]根据本专利技术的优选实施例，一种弹性波器件包括：支撑基板，包括第一主表面和向第一主表面开口的凹部；压电膜，层叠在支撑基板的第一主表面上，并与凹部和支撑基板一起限定腔部；以及
IDT
电极，位于压电膜上，使得
IDT
电极的一部分与腔部重叠，其中，
IDT
电极包括第一母线和第二母线
、
连接到第一母线的多个第一电极指
、
以及连接到第二母线的多个第二电极指，多个第一电极指和多个第二电极指相互交错，当在俯视图中观察时，第一母线和第二母线包括多个角部，并且当在俯视图中观察时，第一母线和第二母线的角部中的至少一个角部在腔部的外侧
。
[0016][
本专利技术的效果
][0017]根据本专利技术的优选实施例，能够提供包括腔部但减少或防止压电膜破裂的弹性波器件，以及包括这种弹性波器件的梯形滤波器
。
[0018]根据以下参考附图对优选实施例的详细描述，本专利技术的上述和其它元件
、
特征
、
步骤
、
特性和优点将变得更显而易见
。
附图说明
[0019]图
1A
和图
1B
是用于说明根据本专利技术的第一优选实施例的弹性波器件的透视图和俯视图
。
[0020]图2是示出了根据本专利技术的第一优选实施例的弹性波器件的沿图
1A
的线
A—A
截取的部分的截面图
。
[0021]图
3A
是用于说明在常规的弹性波器件的压电膜中传播的兰姆波的示意性正截面图，并且图
3B
是用于说明在根据本专利技术的第一优选实施例的弹性波器件中的压电膜中传播的厚度滑移模式的体波的示意性正截面图
。
[0022]图4是示出了厚度滑移模式的体波的振幅方向的图
。
[0023]图5是示出了当相邻电极的中心之间的距离或相邻电极的中心之间的距离的平均距离为
p
且压电膜的厚度为
d
时，
d/2p
与作为谐振器的特定频带之间的关系的图
。
[0024]图6是用于说明常规的弹性波器件的问题的局部剖切俯视图
。
[0025]图
7A
和图
7B
是用于说明根据本专利技术的第二优选实施例的弹性波器件的透视图和俯视图
。
[0026]图8是根据本专利技术的第二优选实施例的弹性波器件的沿图
7A
的线
B—B
截取的部分的截面图
。
[0027]图9是用于说明根据本专利技术的第三优选实施例的弹性波器件的俯视图
。
[0028]图
10
是用于说明根据本专利技术的第四优选实施例的弹性波器件的俯视图
。
[0029]图
11
是用于说明根据本专利技术的第五优选实施例的弹性波器件的正截面图
。
[0030]图
12
是用于说明根据本专利技术的第六优选实施例的弹性波器件的俯视图
。
[0031]图
13
是包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种弹性波器件，包括：支撑基板，包括第一主表面和向所述第一主表面开口的凹部；压电膜，由铌酸锂或钽酸锂制成，层叠在所述支撑基板的所述第一主表面上，并与所述凹部和所述支撑基板一起限定腔部；以及电极，位于所述压电膜上，并包括第一母线和第二母线
、
连接到所述第一母线的第一电极指
、
以及连接到所述第二母线的第二电极指；其中，当在俯视图中观察时，所述第一母线和所述第二母线包括多个角部；当所述压电膜的厚度为
d
，并且所述第一电极指的中心与所述第二电极指的中心之间的距离为
p
时，
d/p
约为
0.5
或更小；并且当在俯视图中观察时，所述第一母线和所述第二母线的所述多个角部中的至少一个角部在所述腔部的外侧，所述支承基板是包含支承构件和绝缘层的层叠体，所述腔部为设置在支承基板的所述凹部，所述凹部设置在绝缘层
。2.
一种弹性波器件，包括：支撑基板，包括第一主表面和在所述第一主表面处的凹部；压电膜，层叠在所述支撑基板的所述第一主表面上，并与所述凹部一起限定腔部；以及
IDT
电极，位于所述压电膜上，使得所述
IDT
电极的一部分与所述腔部重叠；其中，所述
IDT
电极包括第一母线和第二母线
、
连接到所述第一母线的多个第一电极指
、
以及连接到所述第二母线的多个第二电极指；所述多个第一电极指和所述多个第二电极指相互交错；当在俯视图中观察时，所述第一母线和所述第二母线包括多个角部；并且当在俯视图中观察时，所述第一母线和所述第二母线的所述多个角部中的至少一个角部在所述腔部的外侧，所述支承基板是包含支承构件和绝缘层的层叠体，所述腔部为设置在支承基板的所述凹部，所述凹部设置在绝缘层
。3.
根据权利要求1或2所述的弹性波器件，其中，所述角部中的所述至少一个角部包括位于相应的所述第一母线和所述第二母线的侧面上的角部，所述多个第一电极指和所述多个第二电极指在所述侧面处连接
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波器件，其中，当在俯视图中观察时，所述第一母线和所述第二母线的所述多个角部中的所有角部在所述腔部的外侧
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波器件，还包括：第二层电极图案，层叠在所述第一母线和所述第二母线的至少一部分上；其中，当在俯视图中观...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，野竹直弘，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：