搬送装置和位置信息的存储方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供搬送装置和位置信息的存储方法，能够容易地将搬送位置存储于存储部。搬送装置具有：保持部(6)，其保持被加工物(晶片(90))；移动机构(2)，其使该保持部移动；以及控制部(3)，其控制该移动机构。移动机构具有向伺服电动机(211)提供电力并且读取编码器(212)的数值的控制器(213)。在编码器与控制器连接的状态下切断伺服电动机与控制器的连接，并且，控制部具有：第1存储部(31)，通过作业者使保持部沿水平方向移动到第1场所(181)的正上方或者正下方的第1位置，其存储编码器的值；以及第2存储部(32)，通过作业者使保持部沿水平方向移动到第2场所(182)的正上方或者正下方的第2位置，其存储编码器的值。其存储编码器的值。其存储编码器的值。

【技术实现步骤摘要】
搬送装置和位置信息的存储方法


[0001]本专利技术涉及将被加工物从第1场所搬送到第2场所的搬送装置、以及在该搬送装置中存储对被加工物进行保持的保持部的位置信息的位置信息的存储方法。

技术介绍

[0002]加工装置具有搬送晶片的机器人、搬送片材的片材搬送机构那样的多个搬送装置(例如，参照专利文献1)。这样的搬送装置具有对晶片、片材等被加工物进行保持的保持部、使该保持部移动的移动机构以及对该移动机构进行控制的控制部，将被加工物从第1场所搬送到第2场所。
[0003]控制部按照将保持部所保持的被加工物从第1场所搬送到第2场所的方式对移动机构进行控制。由此，保持部如下所述那样进行动作。例如，保持部从原点位置沿水平方向移动并在第1场所的正上方的第1位置停止，接着，从第1位置下降而对载置于第1场所的被加工物进行保持。接着，保持部上升并在第1位置停止。接着，保持部沿水平方向移动并在第2场所的正上方的第2位置停止。接着，保持部从第2位置下降而将所保持的被加工物载置于第2场所。接着，保持部上升到第2位置。然后，保持部从第2位置沿水平方向移动并返回到原点本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送装置，其将被加工物从第1场所搬送到第2场所，其中，该搬送装置具有：保持部，其对被加工物进行保持；移动机构，其使该保持部移动到相对于第1场所的第1位置和相对于该第2场所的第2位置；以及控制部，其对该移动机构进行控制，该移动机构具有：伺服电动机；编码器，其与该伺服电动机的旋转轴连结；以及控制器，其向该伺服电动机提供电力，并且读取该编码器的数值，在该编码器与该控制器连接的状态下切断该伺服电动机与该控制器的连接，并且，该控制部具有：第1存储部，通过作业者使该保持部沿水平方向移动而移动到该第1场所的正上方或者正下方的该第1位置，该第1存储部存储该编码器的值；以及第2存储部，通过作业者使该保持部沿水平方向移动而移动到该第2场所的正上方或者正下方的该第2位置，该第2存储部存储该编码器的值，在该第1存储部和该第2存储部存储了各自的值之后，使该伺服电动机与该控制器连接，能够通过该保持部将被加工物从该第1场所搬送到该第2场所。2.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，该搬送装置具有开关，该开关配置于连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保徹雄，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：