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本发明提供搬送装置和位置信息的存储方法，能够容易地将搬送位置存储于存储部。搬送装置具有：保持部(6)，其保持被加工物(晶片(90))；移动机构(2)，其使该保持部移动；以及控制部(3)，其控制该移动机构。移动机构具有向伺服电动机(211)提...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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