用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体测试技术领域，尤其涉及用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统；包括：数据采集模块

【技术实现步骤摘要】
用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统


[0001]本专利技术涉及半导体测试
，尤其涉及用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统
。

技术介绍

[0002]半导体产品主要应用于计算机
、
家用电器
、
数码电子
、
电气
、
通信
、
交通
、
医疗
、
航空航天等诸多领域；随着半导体电子技术的发展，老化测试已成为保证质量的关键过程；在半导体器件老化测试中，稳定的环境条件对于确保测试结果的准确性和可靠性非常重要，因为环境条件的变化会影响器件的性能和寿命，从而导致测试结果的误差和不一致性；因此用于半导体器件老化测试的环境控制调节尤为重要；老化测试是筛选掉早期故障和老化后性能不符合要求的半导体器件的过程，但是，在进行半导体器件老化测试时，一味的施加极端电压和温度会对器件的寿命和特性产生不利影响，缩短设备的总寿命，导致更频繁的维修和更高的更换成本；因此，在半导体器件老化测试中，如何合理的控制调节测试环境并得到准确的半导体器件老化测试结果，避免过度的极端条件造成半导体器件损害是当前需要解决的技术问题
。

技术实现思路

[0003]为此，本专利技术提供用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统，以克服上述
技术介绍
提到的问题
。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统，包括：数据采集模块
、
服务器
>、
环境调控模块和测试输出模块；环境调控模块通过将客户使用信息转化成测试参数以模拟出客户真实使用环境，并依据测试参数进行半导体器件老化测试的环境调控以得到性能参数；具体如下：步骤一：将客户使用信息转化成测试参数；步骤二：调取与客户使用信息中半导体器件类型相同的半导体器件，并按照测试参数进行老化测试；具体如下：
M21
：通过测试参数与标准参数进行数值化分析以得到停留阶段的停留时长；
M22
：环境调控模块通过与环境调控装置通讯连接以控制半导体器件老化测试的环境条件，依据测试参数和停留阶段调控测试环境；
M23
：通过获取并分析各停留阶段的环境维持数据以判定停留阶段是否稳定，并在环境稳定时采集该停留阶段的性能参数；
M24
：当依据测试参数完成老化测试时，则进行降阶层操作；降阶层是测试参数中测试温度阶层
、
测试湿度阶层
、
测试电流阶层和测试电压阶层的逆顺序，并控制环境调控装置按照其逆顺序进行降阶层操作；步骤三：将各停留阶段的性能参数发送至测试输出模块
。
[0005]进一步的，客户使用信息转化成测试参数具体为：
客户使用信息包括环境温度上限
、
环境温度下限
、
环境湿度上限
、
环境湿度下限
、
电压上限
、
电压下限
、
电流上限
、
电流下限
、
客户需求类型以及需求数量；将环境温度上限和环境温度下限均等分成若干个温度阶层，并将生成的温度阶层记为测试温度阶层；以此类推将环境湿度上限和环境湿度下限
、
电流上限和电流下限
、
电压上限和电压下限
、
分别均等分成若干个湿度阶层
、
电流阶层和电压阶层，并将生成的湿度阶层
、
电流阶层和电压阶层记为测试湿度阶层
、
测试电流阶层
、
测试电压阶层；将测试温度阶层
、
测试湿度阶层
、
测试电压阶层和测试电流阶层记为测试参数
。
[0006]进一步的，通过测试参数与标准参数进行数值化分析以得到停留阶段，具体如下：将测试温度阶层中的测试温度记为
An
，测试湿度阶层中的测试湿度记为
Sn
，测试电流阶层中的测试电流记为
Ln
，测试电压阶层中的测试电压记为
Un
；提取该类型半导体器件对应的标准参数，并将标准温度
、
标准湿度
、
标准电流和标准电压分别记为
Bt、Bs、Bl
和
Bu
；通过设定的公式计算以得到各停留阶段的停留时长
Tn
，其中
a1、a2、a3
和
a4
分别为设定的比例系数；其中，一个停留时长的时间段记为停留阶段，
An、Sn、Ln
和
Un
分别与停留阶段
n
一一对应，其中
n=1
，2，3……
N
，
n
表示的是某一停留阶段的序号，
N
取值为正整数，
N
表示的是停留阶段的总数
。
[0007]进一步的，通过获取并分析各停留阶段的环境维持数据以判定停留阶段是否稳定，并在环境稳定时采集该停留阶段的性能参数，其判断过程具体如下：
401
：提取各停留阶段
n
的环境维持参数，其中环境维持参数包括维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压；设定停留阶段内存在
k
个采集时刻，其中
k=1
，2，3……
m
，
m
取值为正整数，
m
表示的是停留阶段内总采集时刻；提取停留阶段内的每个采集时刻对应的维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压；
402
：将维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压分别进行均值计算以得到平均维持温度
、
平均维持湿度
、
平均维持电流和平均维持电压；
403
：将维持温度
Wtk、
维持湿度
Wsk、
维持电流
Wlk、
维持电压
Wuk、
平均维持温度
、
平均维持湿度
、
平均维持电流和平均维持电压代入设定的公式计算以得到维持波动值
DZ
，其中
d1、d2、d3
和
d4
分别为设定的比例系数；
404
：当维持波动值大于或等于设定的波动阈值时，则提取当前停留阶段的测试温度
、
测试湿度
、
测试电流和测试电压，并将其与当前维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压分别进行差值计算以得到调控温度
、
调控湿度
、
调控电流和调控电压，将调控温度
、
调控湿度
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统，包括数据采集模块和服务器，数据采集模块采集客户使用信息和信息，并将其发送至服务器；其特征在于，还包括：环境调控模块；环境调控模块通过将客户使用信息转化成测试参数以模拟出客户真实使用环境，并依据测试参数进行半导体器件老化测试的环境调控以得到性能参数；具体如下：步骤一：将客户使用信息转化成测试参数；步骤二：调取与客户使用信息中半导体器件类型相同的半导体器件，并按照测试参数进行老化测试；具体如下：
M21
：通过测试参数与标准参数进行数值化分析以得到停留阶段的停留时长；
M22
：环境调控模块通过与环境调控装置通讯连接以控制半导体器件老化测试的环境条件，依据测试参数和停留阶段调控测试环境；
M23
：通过获取并分析各停留阶段的环境维持数据以判定停留阶段是否稳定，并在测试环境维持稳定时采集该停留阶段的性能参数；
M24
：当依据测试参数完成老化测试时，则进行降阶层操作；降阶层是测试参数中测试温度阶层
、
测试湿度阶层
、
测试电流阶层和测试电压阶层的逆顺序，并控制环境调控装置按照其逆顺序进行降阶层操作；步骤三：将各停留阶段的性能参数发送至测试输出模块
。2.
根据权利要求1所述的用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统，其特征在于，客户使用信息转化成测试参数具体为：客户使用信息包括环境温度上限
、
环境温度下限
、
环境湿度上限
、
环境湿度下限
、
电压上限
、
电压下限
、
电流上限
、
电流下限
、
客户需求类型以及需求数量；将环境温度上限和环境温度下限均等分成若干个温度阶层，并将生成的温度阶层记为测试温度阶层；以此类推将环境湿度上限和环境湿度下限
、
电流上限和电流下限
、
电压上限和电压下限
、
分别均等分成若干个湿度阶层
、
电流阶层和电压阶层，并将生成的湿度阶层
、
电流阶层和电压阶层记为测试湿度阶层
、
测试电流阶层
、
测试电压阶层；将测试温度阶层
、
测试湿度阶层
、
测试电压阶层和测试电流阶层记为测试参数
。3.
根据权利要求1所述的用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统，其特征在于，通过测试参数与标准参数进行数值化分析以得到停留阶段的停留时长，具体如下：将测试温度阶层中的测试温度记为
An
，测试湿度阶层中的测试湿度记为
Sn
，测试电流阶层中的测试电流记为
Ln
，测试电压阶层中的测试电压记为
Un
；提取该类型半导体器件对应的标准参数，并将标准温度
、
标准湿度
、
标准电流和标准电压分别记为
Bt、Bs、Bl
和
Bu
；通过设定的公式 计算以得到各停留阶段
n
的停留时长
Tn
，其中
a1、a2、a3
和
a4
分别为设定的比例系数；其中，一个停留时长的时间段记为停留阶段，
An、Sn、Ln
和
Un
分别与停留阶段
n
一一对应，
n
表示的是具体某一停留阶段的序号，
Tn
表示的是序号为
n
的停留阶段的停留时长
。4.
根据权利要求1所述的用于半导体器件老化测试的环境控制调节系统，其特征在于，通过获取并分析各停留阶段的环境维持数据以判定停留阶段是否稳定，并在测试环境维持稳定时采集该停留阶段的性能参数，其判断过程具体如下：
401
：提取各停留阶段
Tn
的环境维持参数，其中环境维持参数包括维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压；设定停留阶段内存在
k
个采集时刻，提取停留阶段内的每个采集时刻对应的维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压；
402
：将维持温度
、
维持湿度
、
维持电流和维持电压分别进行均值计算以得到平均维持温度
、
平均维持湿度
、
平均维持电流和平均维持电压；
403
：将维持温度
、
维持湿度
、
维持电流
、
维持电压
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海峰，郑才忠，王跃伟，
申请(专利权)人：深圳力钛科技术有限公司，
类型：发明
国别省市：