一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构制造技术

本发明专利技术涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，包括支架和移动架，所述支架的内部滑动设置有移动架，所述移动架的内部设置有放置组件。本发明专利技术通过两个第一定位架和两个第二定位架对光刻板的四周进行定位，避免光刻板在输送过程中由于设备的震动导致位置发生偏移或是从设备上掉落下来，提高对光刻板的加工位置精度，同时也提高了光刻板在运输过程中的安全稳定性；并且在对光刻板的底部进行光刻加工时，通过转动电机带动放置架进行翻转，让光刻板的底部朝向上方，继续对光刻板的底部进行光刻加工，在控制放置架进行翻转时，通过定位板和托板保证光刻板的稳定性，实现对光刻板上下端面加工时位置的自动调节。置的自动调节。置的自动调节。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体为一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构。

技术介绍

[0002]半导体光刻板移动机构是光刻板加工设备的连接机构之一，其上设有运输板，运输驱动机构，能够较好的对光刻板进行移动，方便其到连接设备上进行加工。
[0003]移动机构在进行使用的时候，为了方便将光刻卸下来，往往是采用直接平放的方式来将光刻板放置在运输板进行运输，该方法易在设备发生震动的时候，使其上的光刻板发生偏移抖动，从而对其放置方位造成影响甚至受设备运行震动的影响而滑落下来，影响设备对光刻板进行运输。
[0004]为此，我们提出了一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，用于实现对光刻板运输的安全稳定性，同时能够实现对光刻板上下端面进行加工时位置的自动调节。
[0006]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，包括支架和移动架，所述支架的内部滑动设置有移动架，所述支架内壁的两侧均设置有第一电动滑台，所述移动架的两侧均设置有连接块，且两个连接块分别与两个第一电动滑台的一侧连接；
[0007]所述移动架的内部设置有放置组件，所述放置组件包括放置架，所述放置架位于移动架的内部活动设置，且放置架的内部设置有放置空腔，所述放置架内壁的左右两侧均设置有安装块，且两个安装块的一侧均设置有第一定位架，所述放置架内壁的前后两侧均设置有第二定位架，且第一定位架和第二定位架的内部均设置有定位组件，所述放置架的前后侧均设置有第一伺服电缸，且两个第一伺服电缸的驱动端分别与两个第二定位架的一侧连接，所述放置架的内部还设置有第二电动滑台，且第二电动滑台的一侧设置有托板；
[0008]所述定位组件包括定位板，所述第一定位架与第二定位架的内部均设置有安装槽，且安装槽内壁的一侧设置有第三电动滑台，所述第三电动滑台的一侧滑动设置有两个滑动块，且两个滑动块的一侧均设置有固定块，两个所述固定块的内部均设置有第一微型电缸，且两个第一微型电缸的驱动端均设置有定位板，所述定位板的一侧延伸至固定块的外部。
[0009]优选的，所述支架内壁底部的两侧均设置有滑轨，所述移动架底部的两侧均设置有滑动卡块，且两个滑动卡块的底部分别与两个滑轨的表面滑动连接。
[0010]优选的，所述第二电动滑台与托板位于放置架的内部上下对称设置有八个，且两个第二电动滑台与两个托板为一组分布设置在放置架内部的四周。
[0011]优选的，所述安装块的内部设置有活动槽，且活动槽的内部转动设置有丝杆，所述安装块内部的一侧还设置有伺服电机，且伺服电机的输出轴一端通过联轴器与丝杆的一端连接，所述丝杆的表面设置有活动块，且活动块的内部与丝杆的表面螺纹连接，所述活动块的表面与活动槽的内壁滑动连接。
[0012]优选的，所述安装块的一侧还滑动设置有连接架，且连接架的一侧与第一定位架的一侧连接，所述活动槽内壁的两侧均设置有滑槽，且两个滑槽的内部均滑动设置有滑块，所述滑块的一侧与活动块的一侧连接，且滑块的另一侧与连接架的一侧连接。
[0013]优选的，所述移动架内部的两侧均设置有安装架，且两个安装架的内部均设置有第四电动滑台，两个所述第四电动滑台的一侧均设置有固定架，且两个固定架的一侧分别与放置架的两侧连接，位于左侧所述固定架的内部设置有转动电机，且转动电机的输出轴与放置架的一侧连接。
[0014]优选的，所述移动架的顶部设置有滑动架，所述滑动架的内部滑动设置有清理架，且清理架的内部活动设置有吸料架，所述滑动架的顶部设置有两个第三伺服电缸，且两个第三伺服电缸的驱动端均与吸料架的顶部连接。
[0015]优选的，所述吸料架的底部设置有吸料口，且吸料架内部的两侧均滑动设置有调节架，所述吸料架内壁的两侧均设置有第二微型电缸，且两个第二微型电缸的驱动端分别与两个调节架的一侧连接。
[0016]优选的，所述移动架内部的下方设置有抽料箱，且抽料箱的内部通过导料管与调节架的一侧连接。
[0017]优选的，半导体光刻机用光刻板防震型移动机构的工作原理，具体包括以下步骤：
[0018]步骤1：首先通过控制位于下方的第二电动滑台带动托板相互靠近，将光刻板放入放置架的内部，利用放置架内部的托板对光刻板的底部进行支撑；
[0019]步骤2：通过伺服电机的输出轴驱动丝杆进行转动，让活动块在活动槽的内部沿着丝杆进行滑动，利用活动块和滑块带动连接架的一侧在安装块的内部进行滑动，控制连接架的一侧带动第一定位架向光刻板的一侧移动，直至第一定位架的一侧与光刻板的侧边贴合，通过光刻板两侧的第一定位架实现对光刻板左右两侧的定位夹持，接着利用两个第一伺服电缸的驱动端带动两个第二定位架对光刻板的前后两侧进行定位夹持；
[0020]步骤3：在控制第一定位架和第二定位架与光刻板的侧边贴合后，利用滑动块带动固定块滑动至光刻板的上表面，通过第一微型电缸的驱动端推动定位板的一侧伸至光刻板的上端，利用定位板和托板对光刻板的上下端进行限位；
[0021]步骤4：通过两个第一电动滑台带动移动架在支架的内部进行滑动，移动架底部的滑动卡块在滑轨的表面进行同步滑动，将移动架转移至光刻机的加工区域，在移动架内部的上方托板上放置掩膜版，接着利用光刻机对光刻板进行光刻加工；
[0022]步骤5：在对光刻板的底部进行光刻加工时，通过转动电机带动放置架进行翻转，让光刻板的底部朝向上方，同时利用第一定位架和第二定位架内部的两个定位板将光刻板转移至下方的托板上，接着在上方托板上放置掩膜版，继续对光刻板的底部进行光刻加工。
[0023]与现有技术相比具备以下有益效果：
[0024]1、通过在移动架的内部设置放置架，通过将光刻板放入放置架的内部，利用放置架内部的两个第一定位架和两个第二定位架对光刻板的四周进行定位，避免光刻板在输送
过程中由于设备的震动导致位置发生偏移或是从设备上掉落下来，在将光刻板送入光刻机的工作区域时，便于对光刻板的加工位置进行快速定位，从而有效提高对光刻板的加工位置精度，同时也提高了光刻板在运输过程中的安全稳定性；并且在对光刻板的底部进行光刻加工时，通过转动电机带动放置架进行翻转，让光刻板的底部朝向上方，继续对光刻板的底部进行光刻加工，在控制放置架进行翻转时，通过定位板和托板保证光刻板的稳定性，实现对光刻板上下端面加工时位置的自动调节。
[0025]2、通过在放置架的内部设置第一定位架、第二定位架和上下两组托板，在将光刻板放入放置架内部时，首先通过控制位于下方的第二电动滑台带动托板相互靠近，利用放置架内部的托板对光刻板的底部进行支撑，接着再利用第一定位架和第二定位架对光刻板的四周进行定位，确保光刻板在输送过程中不会发生抖动和掉落；在控制第一定位架和第二定位架与光刻板的侧边贴合后，利用滑动块带动固定块滑动至光刻板的上表面，通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，包括支架(10)和移动架(20)，所述支架(10)的内部滑动设置有移动架(20)，其特征在于：所述支架(10)内壁的两侧均设置有第一电动滑台(30)，所述移动架(20)的两侧均设置有连接块(40)，且两个连接块(40)分别与两个第一电动滑台(30)的一侧连接；所述移动架(20)的内部设置有放置组件，所述放置组件包括放置架(11)，所述放置架(11)位于移动架(20)的内部活动设置，且放置架(11)的内部设置有放置空腔，所述放置架(11)内壁的左右两侧均设置有安装块(12)，且两个安装块(12)的一侧均设置有第一定位架(13)，所述放置架(11)内壁的前后两侧均设置有第二定位架(14)，且第一定位架(13)和第二定位架(14)的内部均设置有定位组件，所述放置架(11)的前后侧均设置有第一伺服电缸(15)，且两个第一伺服电缸(15)的驱动端分别与两个第二定位架(14)的一侧连接，所述放置架(11)的内部还设置有第二电动滑台(16)，且第二电动滑台(16)的一侧设置有托板(17)；所述定位组件包括定位板(31)，所述第一定位架(13)与第二定位架(14)的内部均设置有安装槽(32)，且安装槽(32)内壁的一侧设置有第三电动滑台(33)，所述第三电动滑台(33)的一侧滑动设置有两个滑动块(34)，且两个滑动块(34)的一侧均设置有固定块(35)，两个所述固定块(35)的内部均设置有第一微型电缸(36)，且两个第一微型电缸(36)的驱动端均设置有定位板(31)，所述定位板(31)的一侧延伸至固定块(35)的外部。2.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，其特征在于：所述支架(10)内壁底部的两侧均设置有滑轨(50)，所述移动架(20)底部的两侧均设置有滑动卡块(60)，且两个滑动卡块(60)的底部分别与两个滑轨(50)的表面滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，其特征在于：所述第二电动滑台(16)与托板(17)位于放置架(11)的内部上下对称设置有八个，且两个第二电动滑台(16)与两个托板(17)为一组分布设置在放置架(11)内部的四周。4.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，其特征在于：所述安装块(12)的内部设置有活动槽(21)，且活动槽(21)的内部转动设置有丝杆(22)，所述安装块(12)内部的一侧还设置有伺服电机(23)，且伺服电机(23)的输出轴一端通过联轴器与丝杆(22)的一端连接，所述丝杆(22)的表面设置有活动块(24)，且活动块(24)的内部与丝杆(22)的表面螺纹连接，所述活动块(24)的表面与活动槽(21)的内壁滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，其特征在于：所述安装块(12)的一侧还滑动设置有连接架(25)，且连接架(25)的一侧与第一定位架(13)的一侧连接，所述活动槽(21)内壁的两侧均设置有滑槽(26)，且两个滑槽(26)的内部均滑动设置有滑块(27)，所述滑块(27)的一侧与活动块(24)的一侧连接，且滑块(27)的另一侧与连接架(25)的一侧连接。6.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，其特征在于：所述移动架(20)内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海峰，郑才忠，王跃伟，
申请(专利权)人：深圳力钛科技术有限公司，
类型：发明
国别省市：