【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印模具的图像处理方法
[0001]本专利技术属于图像处理
,具体涉及一种纳米压印模具的图像处理方法
。
技术介绍
[0002]纳米压印光刻技术作为一种平台型微纳加工技术,理论上可应用于所有微纳结构应用场景,是完美解决当下硅光核心器件
、
光学核心元件大批量和低成本制造的最优方案
。
可广泛用于消费类电子(人脸识别
、3D
传感,屏下指纹识别等)
、AR
眼镜
、
车载光学(
AR
‑
HUD、
迎宾光毯
、3D
感知等)
、
生物芯片及显示领域(
WGP、
微透镜阵列
、
成像等)和镜头模组等领域
。
纳米压印技术分为三步:第一步是纳米压印模具的加工:一般使用电子束刻蚀等手段,在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为纳米压印模具;由于电子的衍射极限远小于光子,因此可以达到远高于光刻的分辨率
。
第二步是图样的转移:在待加工的材料表面涂上光刻胶,然后将纳米压印模具压在其表面,采用加压的方式使图案转移到光刻胶上;注意光刻胶不能被全部去除,防止模板与材料直接接触,损坏纳米压印模具
。
第三步是衬底的加工:用紫外光使光刻胶固化,移开纳米压印模具后,用刻蚀液将上一步未完全去除的光刻胶刻蚀掉,露出待加工材料表面,然后使用化学刻蚀的方法进行加工,完成后去除全部光刻胶,最终得到高精度加工的材
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种纳米压印模具的图像处理方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、
采集纳米压印模具的实时图像,并获取纳米压印模具与待加工材料之间光刻胶的颜色;
S2、
获取纳米压印模具表面的平整度,并根据纳米压印模具表面的平整度,对实时图像进行平整处理,生成平整图像;
S3、
根据纳米压印模具与待加工材料之间光刻胶的颜色,确定平整图像的感兴趣检测区域,完成图像处理
。2.
根据权利要求1所述的纳米压印模具的图像处理方法,其特征在于,所述
S2
包括以下子步骤:
S21、
获取纳米压印模具的实时图像中各个像素点的亮度值,并根据纳米压印模具表面的平整度,计算实时图像中各个像素点的平整亮度值;
S22、
构建一次平整条件,判断实时图像中各个像素点的平整亮度值与周围八个相邻像素点的亮度值是否满足一次平整条件,若是则进入
S23
,否则进入
S24
;
S23、
将实时图像中所有像素点的平整亮度值的均值作为平整图像中各个像素点的亮度值,完成平整处理;
S24、
将实时图像中各个像素点的平整亮度值与周围八个相邻像素点的亮度值的均值作为实时图像中各个像素点的临时亮度值,并根据实时图像中各个像素点的临时亮度值,确定平整图像中各个像素点的亮度值,完成平整处理
。3.
根据权利要求2所述的纳米压印模具的图像处理方法,其特征在于,所述
S21
中,实时图像中像素点的平整亮度值的计算公式为:;式中,表示纳米压印模具表面的平整度,表示实时图像中像素点的亮度值,表示最大值运算,表示对数运算
。4.
根据权利要求2所述的纳米压印模具的图像处理方法,其特征在于,所述
S22
中,一次平整条件的表达式为:;式中,表示实时图像中像素点的平整亮度值,表示实时图像中像素点对应的第一相邻像素点的亮度值,表示实时图像中像素点对应的第二相邻像素点的亮度值,表示实时图像中像素点对应的第三相邻像素点...
【专利技术属性】
技术研发人员:冀然,管海清,
申请(专利权)人:青岛天仁微纳科技有限责任公司,
类型:发明
国别省市:
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