混流芯加工设备及混流芯加工方法技术

本申请涉及半导体领域，尤其是涉及一种混流芯加工设备及混流芯加工方法

【技术实现步骤摘要】
混流芯加工设备及混流芯加工方法


[0001]本申请涉及半导体领域，尤其是涉及一种混流芯加工设备及混流芯加工方法
。

技术介绍

[0002]特种气体作为刻蚀
、
扩散
、
离子注入等各项关键制程环节中的重要的反应介质，其稳定的供应和使用已成为重要的技术指标
。
特气柜作为特气输送环节中的控制端，确保了各种类型的特气按照工艺需求输出，而特定比例混合气体作为较为常见的输出形式，气体之间的混合均匀度会影响最终反应效率
。
[0003]螺旋型混流芯作为较为常见的内置于特气柜的管道内部的混流装置，其螺旋异型特征
、
整体偏心度
、
小口径安装环境以及加工尺寸较小等要求，使得制造的要求和难度较高
。
因此，设计一种特气混流芯的加工装置和工艺流程，对于混流装置的质量控制和生产效率的提高具有重要意义
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种混流芯加工设备及混流芯加工方法，能够对螺旋型混流芯加工，且降低了制造的要求和难度
。
[0005]本申请提供了一种混流芯加工设备，包括支撑机构和扭转机构；
[0006]所述支撑机构用于连接工件，且所述支撑机构能够驱动所述工件沿预设方向运动，以使所述工件的多个待加工部依次途经所述扭转机构；
[0007]所述扭转机构包括第一扭转部和第二扭转部，所述第一扭转部和所述第二扭转部用于分别与所述待加工部的两端连接；所述第一扭转部和所述第二扭转部分别具有圆弧状的运动路径，且所述第一扭转部和所述第二扭转部能够沿相反的方向相对运动，以扭转所述待加工部
。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述扭转机构还包括第一旋转轨道和第二旋转轨道；
[0009]所述第一扭转部滑动安装于所述第一旋转轨道，且所述第一旋转轨道形成圆弧状的第一运动路径，以使所述第一扭转部绕第一轴线运动；
[0010]所述第二扭转部滑动安装于所述第二旋转轨道，且所述第二旋转轨道形成圆弧状的第二运动路径，以使所述第二扭转部绕第二轴线运动；
[0011]所述第一轴线的长度方向和所述第二轴线的长度方向均为所述预设方向，且所述第一轴线与所述第二轴线共线，所述工件位于所述第一轴线及所述第二轴线处
。
[0012]在上述技术方案中，进一步地，所述第一扭转部包括第一底座和第一夹片；所述第一底座滑动安装于所述第一旋转轨道，所述第一夹片的长度方向的一端与所述第一底座连接，所述第一夹片的长度方向的另一端设置有用于连接所述工件的连接口，且所述第一夹片的长度方向为所述第一运动路径的径向；
[0013]所述第二扭转部包括第二底座和第二夹片；所述第二底座滑动安装于所述第二旋
转轨道，所述第二夹片的长度方向的一端与所述第二底座连接，所述第二夹片的长度方向的另一端设置有用于连接所述工件的连接口，且所述第二夹片的长度方向为所述第二运动路径的径向
。
[0014]在上述技术方案中，进一步地，所述第一扭转部还包括与所述第一夹片对应设置的第一驱动组件；所述第一驱动组件包括第一驱动装置及啮合连接的第一齿轮和第一齿条；所述第一驱动装置与所述第一齿轮安装于所述第一底座，所述第一齿条与所述第一夹片连接，所述第一驱动装置驱动所述第一齿轮转动，以带动所述第一夹片相对于所述第一底座伸缩；
[0015]所述第二扭转部还包括与所述第二夹片对应设置的第二驱动组件；所述第二驱动组件包括第二驱动装置及啮合连接的第二齿轮和第二齿条；所述第二驱动装置和所述第二齿轮安装于所述第二底座，所述第二齿条与所述第二夹片连接，所述第二驱动装置驱动所述第二齿轮转动，以带动所述第二夹片相对于所述第二底座伸缩
。
[0016]在上述技术方案中，进一步地，所述第一夹片的数量为多个，且多个所述第一夹片沿所述预设方向间隔设置于第一底座；
[0017]所述第二夹片的数量为多个，且多个所述第二夹片沿所述预设方向间隔设置于第二底座
。
[0018]在上述技术方案中，进一步地，所述支撑机构包括驱动部和固定部；
[0019]所述预设方向为所述工件的长度方向，且所述驱动部与所述工件的长度方向上的一端连接；
[0020]所述固定部位于所述驱动部和所述扭转机构之间，所述固定部与所述工件连接，以使与被加工的所述待加工部相邻的所述待加工部保持原状
。
[0021]在上述技术方案中，进一步地，所述固定部包括固定底座
、
固定夹片和第三驱动组件；
[0022]所述固定夹片的长度方向的一端设置有用于连接所述工件的固定口；
[0023]所述第三驱动组件安装于所述固定底座，所述第三驱动组件与所述固定夹片的长度方向的另一端连接，以驱动所述固定夹片靠近或者远离所述工件
。
[0024]在上述技术方案中，进一步地，所述驱动部包括直线驱动装置和夹具；
[0025]所述直线驱动装置的输出端与所述夹具的一端连接，所述夹具的另一端与所述工件连接
。
[0026]在上述技术方案中，进一步地，还包括外壳；
[0027]所述外壳包括端板和容纳部，所述容纳部呈筒形，所述扭转机构和所述固定部安装于所述容纳部内；
[0028]所述端板与所述容纳部的端部连接，所述驱动部安装于所述端板处
。
[0029]本申请还提供了一种混流芯加工方法，所述方法包括如下步骤：
[0030]步骤一：将工件与支撑机构连接，且使所述工件的待加工部位于设置有扭转机构的加工位；
[0031]步骤二：在初始位置，所述扭转机构的第一扭转部和第二扭转部向所述工件靠近，以使所述第一扭转部和所述第二扭转部分别与位于加工位的待加工部的两端连接；所述固定部向所述工件靠近，以使所述固定部与位于等待位的待加工部连接；
[0032]步骤三：所述第一扭转部和所述第二扭转部沿相反的方向相对运动预设角度，以扭转位于加工位的待加工部；
[0033]步骤四：所述固定部
、
所述第一扭转部和所述第二扭转部远离所述工件，且所述第一扭转部和所述第二扭转部运动至所述初始位置；所述支撑机构驱动所述工件运动，以使位于等待位的待加工部移动至加工位；
[0034]步骤五：重复步骤二
、
步骤三和步骤四；且所述第一扭转部的运动方向与上一次扭转步骤中的所述第一扭转部的运动方向相反，所述第二扭转部的运动方向与上一次扭转步骤中的所述第二扭转部的运动方向相反
。
[0035]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0036]本申请提供的混流芯加工设备，能够对多种类型的混流芯加工成型，可满足螺旋异型特征
、
整体偏心度
、
小口径安装环境以及加工尺寸较小等要求，降低制造的要求和难度
。
[0037]本申请还提供了混流芯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种混流芯加工设备，其特征在于，包括支撑机构和扭转机构；所述支撑机构用于连接工件，且所述支撑机构能够驱动所述工件沿预设方向运动，以使所述工件的多个待加工部依次途经所述扭转机构；所述扭转机构包括第一扭转部和第二扭转部，所述第一扭转部和所述第二扭转部用于分别与所述待加工部的两端连接；所述第一扭转部和所述第二扭转部分别具有圆弧状的运动路径，且所述第一扭转部和所述第二扭转部能够沿相反的方向相对运动，以扭转所述待加工部
。2.
根据权利要求1所述的混流芯加工设备，其特征在于，所述扭转机构还包括第一旋转轨道和第二旋转轨道；所述第一扭转部滑动安装于所述第一旋转轨道，且所述第一旋转轨道形成圆弧状的第一运动路径，以使所述第一扭转部绕第一轴线运动；所述第二扭转部滑动安装于所述第二旋转轨道，且所述第二旋转轨道形成圆弧状的第二运动路径，以使所述第二扭转部绕第二轴线运动；所述第一轴线的长度方向和所述第二轴线的长度方向均为所述预设方向，且所述第一轴线与所述第二轴线共线，所述工件位于所述第一轴线及所述第二轴线处
。3.
根据权利要求2所述的混流芯加工设备，其特征在于，所述第一扭转部包括第一底座和第一夹片；所述第一底座滑动安装于所述第一旋转轨道，所述第一夹片的长度方向的一端与所述第一底座连接，所述第一夹片的长度方向的另一端设置有用于连接所述工件的连接口，且所述第一夹片的长度方向为所述第一运动路径的径向；所述第二扭转部包括第二底座和第二夹片；所述第二底座滑动安装于所述第二旋转轨道，所述第二夹片的长度方向的一端与所述第二底座连接，所述第二夹片的长度方向的另一端设置有用于连接所述工件的连接口，且所述第二夹片的长度方向为所述第二运动路径的径向
。4.
根据权利要求3所述的混流芯加工设备，其特征在于，所述第一扭转部还包括与所述第一夹片对应设置的第一驱动组件；所述第一驱动组件包括第一驱动装置及啮合连接的第一齿轮和第一齿条；所述第一驱动装置与所述第一齿轮安装于所述第一底座，所述第一齿条与所述第一夹片连接，所述第一驱动装置驱动所述第一齿轮转动，以带动所述第一夹片相对于所述第一底座伸缩；所述第二扭转部还包括与所述第二夹片对应设置的第二驱动组件；所述第二驱动组件包括第二驱动装置及啮合连接的第二齿轮和第二齿条；所述第二驱动装置和所述第二齿轮安装于所述第二底座，所述第二齿条与所述第二夹片连接，所述第二驱动装置驱动所述第二齿轮转动，以带动所述第二夹片相对于所述第二底座伸缩
。5.
根据权利要求4所述的混流芯加工设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明亮，于锋，徐瑞荣，刘鹏，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：