一种承载光伏制造技术

本发明专利技术公开了一种承载光伏

【技术实现步骤摘要】
一种承载光伏PECVD设备用的基片托盘


[0001]本专利技术涉及光伏设备
，具体涉及到一种承载光伏
PECVD
设备用的基片托盘
。

技术介绍

[0002]在等离子体增强镀膜或蚀刻设备中，基片作为电极之一，在温度可控且均衡
、
电场强度稳定平均的条件下，沉积效果才会理想
。
[0003]在太阳能沉积过程中，基片被放置在基片托盘上被带到反应腔内部
。
目前应用较为广泛的基片托盘大致分为两种类型，其一为一体式载盘，一般由碳碳材料或石墨材料加工而成，在平板表面加工阵列式方形沉台，用于放置基片，该类型基片载盘一般采用封底不镂空设计，加工完成的平板背部安装碳碳
/
石墨条形加强筋
。
第二种类型基片载盘为组合式载盘，由载盘框架与次托盘组合而成，可采用同种材质抑或不同材质
。
[0004]但是由于一体式载盘为实心结构，在预热腔内进行升温时，需要耗费更多的加热时间及电能；当选用全镂空小托盘配合组合式载盘使用时，该设计的缺点如下：由于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种承载光伏
PECVD
设备用的基片托盘，其特征在于，包括矩形的边框
(1)
以及可替换的兜底薄片，所述边框
(1)
上阵列设有至少一个矩形状的薄板孔
(2)
，所述薄板孔
(2)
内用于可拆卸安装兜底薄片，所述薄板孔
(2)
的外缘壁上设有一圈插槽
(3)
，所述插槽
(3)
上方的厚度小于插槽
(3)
下方的厚度，所述兜底薄片的两侧边分别插入两侧对应的插槽
(3)
内，所述插槽
(3)
内插入兜底薄片后在水平方向上还留有余量空间，所述薄板孔
(2)
的任意一个拐角处均设有从上端向下连通插槽
(3)
的缓释口
(6)
，所述薄板孔
(2)
一端的两侧具有从上端向下连通插槽
(3)
的插口
(5)
，所述插口
(5)
位于薄片孔的顶角处
。2.
如权利要求1所述的承载光伏
PECVD
设备用的基片托盘，其特征在于，所述薄板孔
(2)
的四个顶角处均通过斜边过渡设置，所述缓释口
(6)
设于斜边与薄板孔
(2)
外缘壁的连接拐角处，所述插口
(5)
的一端与邻近的缓释口
(6)
连通，所述兜底薄片的四个顶角处对应设有斜边过渡
。3.
如权利要求1所述的承载光伏
PECVD
设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱将斌，雷仲礼，
申请(专利权)人：德鸿半导体设备浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：