一种电子级柠檬酸的提纯方法技术

本发明专利技术提供一种电子级柠檬酸的提纯方法

【技术实现步骤摘要】
一种电子级柠檬酸的提纯方法


[0001]本专利技术涉及一种电子级化学品的生产方法，尤其涉及一种高纯度高收率电子级柠檬酸的生产方法
。
技术背景
[0002]柠檬酸生产方法简单，原料来源丰富，因而产能大，成本低，功耗的
、
无污染，对人体无害，因而广泛用于各个领域
。
因其物理性质稳定
、
有很强的络合能力，在半导体领域亦有大量应用
。
[0003]随半导体技术的不断提高，各类化学品的纯度要求也愈来愈高
。
柠檬酸作为一种重要的添加剂，广泛应用于各类半导体制造中的功能性湿电子化学品，如蚀刻液
、
清洗液等
。
因此，提高提纯技术增大收率
、
降低其金属和非金属杂质，让其能适用于
14nm、7nm
乃至未来更高端的制成则尤为重要
。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本专利技术提供了一种纯度非常高的电子级柠檬酸的提纯方法，通过降温结晶提纯的方式制备超高纯的电子级柠檬酸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种电子级柠檬酸的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将无水柠檬酸与超纯水混合后搅拌至完全溶解；步骤2：将步骤1的柠檬酸溶液通过混床树脂纯化除杂；步骤3：除杂后升温并浓缩至
65%
及以上；步骤4：将浓缩后的柠檬酸溶液降温至
25
‑
29℃
；步骤5：加入晶种后降温至
20℃
以下，再升温至
25℃
及以上；步骤6：将步骤5的柠檬酸溶液离心，分离出一次母液和晶体，将一次母液升温并浓缩至
65%
及以上；步骤7：重复上述步骤
4~6
过程直至母液质量低于初始溶液质量的
10
‑
20%
；步骤8：将多次结晶的晶体集中
、
洗涤过滤
、
溶解配成电子级柠檬酸
。2.
根据权利要求1所述的电子级柠檬酸的提纯方法，其特征在于，步骤1中柠檬酸稀溶液的质量浓度为
30
‑
35%。3.
根据权利要求1所述的电子级柠檬酸的提纯方法，其特征在于，步骤2中的树脂为强酸强碱型混床树脂，优选：
ZGNR8410、ZGNR8420、ZGNR8715、ZGNR8720、ZGNR6010、ZGNR6020、MB10、MB20、MB30、MB1301、MB1401、SEPLITE
@
Monojet
TM 6040U、 SEPLITE
@
Monojet
TM
6150U
中的任意一种
。4. 根据权利要求1所述的电子级草酸的提纯方法，其特征在于，通过混床树脂的速率为
10~50Bv/h
，优选为
10 BV/h、20 BV/h、30 BV/h、40 BV/h、
或
50 BV/h
中的任意一种
。5.
根据权利要求1所述的电子级柠檬酸的提纯方法，其特征在于，步骤3中的升温终点为
32
‑
35℃
，优选为<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王荣，贺兆波，叶瑞，张庭，欧阳克银，吴昊，彭俊杰，苗茁，章玲，吴文静，李琴，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：