一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种40um以下金刚石线锯的制备方法


[0001]本专利技术属于金刚石线锯
，具体为一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法
。

技术介绍

[0002]为配合硅片大尺寸化以及薄片化的发展趋势，金刚线要求向着高品质
、
低成本以及细线化的方向优化
。
[0003]1、
在品质控制方面，要求金刚线具备高密度
、
高耐磨以及高圆度的特性
。
高品质的金刚线能实现更快速切割的同时减少断线率
。
金刚线生产企业可通过调整参数，包括金刚线直径
、
出刃率
、
出刃高度等，以实现高品质的金刚线生产
。
[0004]2、
在成本控制方面，金刚线产能逐渐增加，金刚线价格也将随之降低
。
金刚线企业可通过加强技术发等方式不断降低成本，保持市场竞争力
。
[0005]3、
在细线化方面，细线化已然成为金刚线切割技术发展的大趋势
。
切割母线及金刚线直径与硅片切割质量及切削损耗量相关
。
较小的母线
、
金刚线母线直径有利于降低切削损耗和生产成本等，同时提升硅片切割表面稳定性等
。

技术实现思路

[0006]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本专利技术的目的在于提供一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法
。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法，包括步骤如下：
[0008]S1
：碱洗：将高碳线放入碱性溶液中进行除油，通过在碱性溶液中浸蚀去除基体表面油性物质；
[0009]S2
：酸洗：将
S1
步骤中经过碱洗除油的高碳线浸入酸性溶液，通过在酸性溶液中浸蚀去除基体表面氧化层及锈蚀物；
[0010]S3
：预镀：将经过
S1
步骤和
S2
步骤处理后的高碳线放入镀镍溶液中，预镀镍过程，通过电镀的方法在基体表面沉积镍层，增加产品结合力的作用；
[0011]S4
：上砂：将金刚石微粉放入砂槽中，通过电化学沉积的方法，在电场的作用下使其沉积到
S3
步骤中得到的基体高碳线表面，在基体表面固接金刚石磨料，同时根据需要调节沉积金刚石的密度与分布；
[0012]S5
：加厚：将
S4
步骤中得到的金刚线通过镀镍溶液，在电流的作用下使其表面再沉积一层固结镀镍层，使金刚石裸粉固结在基体高碳线的表面，对金刚石进行加固，防止金刚石脱落，同时调整金刚石微粉的埋入深度及出刃高度；
[0013]S6
：烘干：将
S5
步骤中得到的加厚金刚线放入加热装置中加热烘干，去除线锯表面水渍以及通过高温达到除氢目的，得到成品金刚线
。
[0014]作为本专利技术优选的，所述
S1
步骤中，碱性溶液选用氢氧化钠溶液
。
[0015]作为本专利技术优选的，所述
S1
步骤中，高碳线在经过碱洗除油后，使用纯水清洗经过
碱洗槽钢线带出的碱性溶液
。
[0016]作为本专利技术优选的，所述
S2
步骤中，用浓度为
45
±
5℃
的
40g/L
氨基磺酸溶液对高碳线进行清洗
。
[0017]作为本专利技术优选的，所述
S2
步骤中，高碳线在经过酸洗后，使用纯水清洗经过酸洗槽钢线带出的酸性溶液
。
[0018]作为本专利技术优选的，所述
S3
和
S5
步骤中，以氨基磺酸镍为电镀液，在
2.25
～
7.55V
的电场作用下对高碳线表面电镀镍
。
[0019]作为本专利技术优选的，所述
S4
步骤中，金刚石微粉颗粒密度
100
～
320
颗
/mm
，金刚石微粉颗粒的平均粒径为6‑
12um
，优选为5‑
10um。
[0020]作为本专利技术优选的，所述
S5
步骤中，金刚线在经过加厚后，表面沾染了预镀
/
上砂
/
加厚工序的脏污，使用纯水清洗去除预镀
/
上砂
/
加厚工序线锯表面脏污
。
[0021]作为本专利技术优选的，所述
S6
步骤中加厚镀镍层的烘干温度为
180℃
‑
220℃。
[0022]作为本专利技术优选的，所述高碳线线径为
30
～
38um。
[0023]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0024]1、
本专利技术涉及一种金刚石线锯的制备方法，此方法在碳钢金刚石线锯的基础上改进，保留原有的设备和电镀配方，使用不同碳钢线径基体和不同粒径砂搭配工艺工序，使得金刚线具备高密度
、
高耐磨以及高圆度的特性，从而实现更快速切割的同时减少断线率，而且较小的金刚线母线直径有利于降低切削损耗和生产成本，同时提升硅片切割表面稳定性
。
具体实施方式
[0025]下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0026]实施例一
[0027]一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法，包括步骤如下：
[0028]高碳线线径为
30
～
38um
；
[0029]S1
：碱洗：将高碳线放入碱性溶液中进行除油，通过在碱性溶液中浸蚀去除基体表面油性物质，碱性溶液选用氢氧化钠溶液，高碳线在经过碱洗除油后，使用纯水清洗经过碱洗槽钢线带出的碱性溶液；
[0030]S2
：酸洗：将
S1
步骤中经过碱洗除油的高碳线浸入酸性溶液，通过在酸性溶液中浸蚀去除基体表面氧化层及锈蚀物，用浓度为
45
±
5℃
的
40g/L
氨基磺酸溶液对高碳线进行清洗
15min
，高碳线在经过酸洗后，使用纯水清洗经过酸洗槽钢线带出的酸性溶液；
[0031]S3
：预镀：将经过
S1
步骤和
S2
步骤处理后的高碳线放入镀镍溶液中，预镀镍过程，通过电镀的方法在基体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法，其特征在于：包括步骤如下：
S1
：碱洗：将高碳线放入碱性溶液中进行除油，通过在碱性溶液中浸蚀去除基体表面油性物质；
S2
：酸洗：将
S1
步骤中经过碱洗除油的高碳线浸入酸性溶液，通过在酸性溶液中浸蚀去除基体表面氧化层及锈蚀物；
S3
：预镀：将经过
S1
步骤和
S2
步骤处理后的高碳线放入镀镍溶液中，预镀镍过程，通过电镀的方法在基体表面沉积镍层，增加产品结合力的作用；
S4
：上砂：将金刚石微粉放入砂槽中，通过电化学沉积的方法，在电场的作用下使其沉积到
S3
步骤中得到的基体高碳线表面，在基体表面固接金刚石磨料，同时根据需要调节沉积金刚石的密度与分布；
S5
：加厚：将
S4
步骤中得到的金刚线通过镀镍溶液，在电流的作用下使其表面再沉积一层固结镀镍层，使金刚石裸粉固结在基体高碳线的表面，对金刚石进行加固，防止金刚石脱落，同时调整金刚石微粉的埋入深度及出刃高度；
S6
：烘干：将
S5
步骤中得到的加厚金刚线放入加热装置中加热烘干，去除线锯表面水渍以及通过高温达到除氢目的，得到成品金刚线
。2.
根据权利要求1所述的一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法，其特征在于：所述
S1
步骤中，碱性溶液选用氢氧化钠溶液
。3.
根据权利要求1所述的一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法，其特征在于：所述
S1
步骤中，高碳线在经过碱洗除油后，使用纯水清洗经过碱洗槽钢线带出的碱性溶液
。4.
根据权利要求1所述的一种
40um
以下金刚石线锯的制备方法，其特征在于：所述
S2
步骤中，用浓度为

【专利技术属性】
技术研发人员：彭龙鑫，
申请(专利权)人：江苏三超金刚石工具有限公司，
类型：发明
国别省市：