清洗机内药液密度检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种清洗机内药液密度检测装置及方法，包括：检测槽体，检测槽体与药液槽连通；检测组件，检测组件包括：垂直设置于检测槽体内的导向柱以及由上至下依次套设于导向柱上的第一浮动环和第二浮动环，第一浮动环和第二浮动环能够在药液浮力的作用下沿着导向柱上升或下降，且第一浮动环的密度小于最低药液密度，第二浮动环的密度大于最高药液密度

【技术实现步骤摘要】
清洗机内药液密度检测装置及方法


[0001]本专利技术属于半导体清洗设备
，具体涉及一种清洗机内药液密度检测装置及方法
。

技术介绍

[0002]半导体一种电导率在绝缘体至导体之间的物质
。
电导率容易受控制的半导体，可作为信息处理的元件材料
。
从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要
。
很多电子产品，如计算机
、
移动电话
、
数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息
。
常见的半导体材料有硅
、
锗
、
砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种
。
[0003]半导体清洗主要是为了去除产品生产中产生的各种沾污杂质，是产品制造中步骤最多的工艺，几乎贯穿整个作业流程
。
以硅片为例，由于硅片的加工过程对洁净度要求非常高，所有与硅片接触的媒介都可能对硅片造成污染，硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响，因此几乎每一步加工都需要清除沾污
。
[0004]半导体发展，大多数的产品已经进入到量产阶段，一些技术工艺也趋近成熟，但是清洗的药液使用还是比较粗糙，以最常用的
SPM(
硫酸与双氧水的混合溶液，比例3：1‑5：
1)
为例，在连续的清洗过程中药液会被清洗机的手臂，清洗的产品，装产品的器具带走一部分，清洗的时候药液基本在
100
摄氏度以上，药液中的双氧水溶液会挥发掉，在清洗的过程中很容易出现液位不足的情况，这时候只能凭着经验或统计的数据进行补充硫酸或双氧水，清洗次数多了当不过几次液之后就很难判断药液的密度，如果密度发生变化较多就难以达到清洗效果，这时候一般都会进行换液处理，药液的寿命普遍不长，要做到非常精确的管理才能提高一点药液的使用寿命，投入的人力成本较大
。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提出了一种清洗机内药液密度检测装置及方法
。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：
[0007]一方面，本专利技术公开了一种清洗机内药液密度检测装置，包括：
[0008]检测槽体，检测槽体与药液槽连通；
[0009]检测组件，检测组件包括：垂直设置于检测槽体内的导向柱以及由上至下依次套设于导向柱上的第一浮动环和第二浮动环，第一浮动环和第二浮动环能够在药液浮力的作用下沿着导向柱上升或下降，且第一浮动环的密度小于最低药液密度，第二浮动环的密度大于最高药液密度
。
[0010]本专利技术公开一种清洗机内药液密度检测装置，具有以下有益效果：
[0011]第一，结构简单，成本低，对原药液槽简单改造即可
。
[0012]第二，可以直观快速判断药液密度的变化情况，工作人员可以及时对药液密度进行调整，从而有效延长药液的使用寿命
。
[0013]在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
[0014]作为优选的方案，在检测槽体靠近顶部的位置安装有第一感应器，第一感应器用于检测第一浮动环是否浮于药液液面处；
[0015]在检测槽体靠近顶部的位置安装有第二感应器，第二感应器用于检测第二浮动环是否沉于槽底
。
[0016]采用上述优选的方案，利用第一感应器和第二感应器来实现智能化的检测
。
[0017]作为优选的方案，第一感应器和第二感应器分别与报警装置电连接
。
[0018]采用上述优选的方案，利用报警装置起到警示作用
。
[0019]作为优选的方案，报警装置为指示灯
、
蜂鸣器
、
语音播报器中的一种或多种
。
[0020]采用上述优选的方案，根据具体使用场景，选择合适的报警装置
。
[0021]作为优选的方案，检测槽体与药液槽为一体式结构，或，为可拆卸式结构
。
[0022]采用上述优选的方案，一体式结构更牢固，而可拆卸式结构可以更好的进行检修
。
[0023]作为优选的方案，导向柱可拆卸式安装于检测槽体内
。
[0024]采用上述优选的方案，便于对导向柱进行清洗和检修
。
[0025]作为优选的方案，在导向柱上还套设有第三浮动环，第三浮动环置于第一浮动环与第三浮动环之间，且第三浮动环的密度介于最低药液密度与最高药液密度之间
。
[0026]采用上述优选的方案，第三浮动环的高度位置可以示出药液的相对密度
。
[0027]作为优选的方案，第三浮动环内嵌有金属感应磁体，且在检测槽体的顶部或底部安装有
LC
检测装置，
LC
检测装置的电感线圈与金属感磁体互相感应，用于感应第三浮动环的实时位置
。
[0028]采用上述优选的方案，采用电磁感应的方式进行检测，检测精准
。
[0029]另一方面，本专利技术还公开一种清洗机内药液密度检测方法，包括：
[0030]步骤
S1
：根据药液密度的预设范围，制备密度小于最低药液密度的第一浮动环以及密度大于最高药液密度的第二浮动环；
[0031]步骤
S2
：将第一浮动环和第二浮动环套设于检测槽体内的导向柱上；
[0032]步骤
S3
：给药液槽加入预设密度的药液，一部分药液流入检测槽体内；
[0033]步骤
S4
：药液槽内药液开始进行半导体清洗，且第一浮动环浮于药液液面处，第二浮动环沉于槽体底部；
[0034]步骤
S5
：当第一浮动环下降至第一报警位置时，或，第二浮动环上升至第二报警位置时，药液密度不符合要求，停止半导体清洗
。
[0035]作为优选的方案，步骤
S5
进一步为：
[0036]当第一感应器检测到第一浮动环下降至第一报警位置时，或，第二感应器检测到第二浮动环上升至第二报警位置时，药液密度不符合要求，停止半导体清洗
。
[0037]采用上述优选的方案，利用第一感应器和第二感应器来实现智能化的检测
。
附图说明
[0038]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这
些附图获得其他相关的附图
。
[0039]图1为本专利技术实施例提供的清洗机内药液密度检测装置的结构示意图之一
。
[0040]图2为本专利技术实施例提供的清洗机内药液密度检测装置的结构示意图之二
。
[0041]其中：1‑<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
清洗机内药液密度检测装置，其特征在于，包括：检测槽体，所述检测槽体与药液槽连通；检测组件，所述检测组件包括：垂直设置于所述检测槽体内的导向柱以及由上至下依次套设于导向柱上的第一浮动环和第二浮动环，所述第一浮动环和第二浮动环能够在药液浮力的作用下沿着导向柱上升或下降，且所述第一浮动环的密度小于最低药液密度，所述第二浮动环的密度大于最高药液密度
。2.
根据权利要求1所述的清洗机内药液密度检测装置，其特征在于，在所述检测槽体靠近顶部，且低于药液液面的第一报警位置安装有第一感应器，所述第一感应器用于检测第一浮动环是否下降至第一报警位置；在所述检测槽体靠近底部的第二报警位置安装有第二感应器，所述第二感应器用于检测第二浮动环是否上升至第二报警位置
。3.
根据权利要求2所述的清洗机内药液密度检测装置，其特征在于，所述第一感应器和第二感应器分别与报警装置电连接
。4.
根据权利要求3所述的清洗机内药液密度检测装置，其特征在于，所述报警装置为指示灯
、
蜂鸣器
、
语音播报器中的一种或多种
。5.
根据权利要求1‑4任一项所述的清洗机内药液密度检测装置，其特征在于，所述检测槽体与药液槽为一体式结构，或，为可拆卸式结构
。6.
根据权利要求1‑4任一项所述的清洗机内药液密度检测装置，其特征在于，所述导向柱可拆卸式安装于检测槽体内
。7.
根据权利要求1‑4任一项所述的清洗机内药液密度检测装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐明金，史晓华，
申请(专利权)人：苏州光舵微纳科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：