纳米压印用柔性模板的张力调整装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置及方法，张力调整装置包括：用于承载柔性模板的下承载环以及能够垂直运动的上压环；上压环上设有顶撑部，其与下承载环相互配合，用于调整柔性模板的张力

【技术实现步骤摘要】
纳米压印用柔性模板的张力调整装置及方法


[0001]本专利技术属于纳米压印
，具体涉及一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置及方法
。

技术介绍

[0002]纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术
。
该技术通过机械转移的手段，达到了超高的分辨率，有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子
、
材料领域的重要加工手段
。
[0003]纳米压印的主要工作过程如下：
[0004]首先，铝质工装2承载柔性模板1，如图1所示，将其转移至带有压印胶
、
待压印的晶圆上方
。
[0005]其次，铝质工装上方圆筒腔室下压于柔性模板最外侧，形成一可充气
、
泄气及带有压力感测器的腔室
。
[0006]随后，对腔室进行充气，形成腔内正压
P1。
[0007]然后，移动柔性模板至其与晶圆接触，且当接触时，腔内加压至
P2
，将柔性模板上图形挤压入晶圆上的压印胶
。
[0008]最后，开启上方圆筒腔室内的紫外光源及晶圆下方的加热台，对压印胶进行固化，待后固化泄气压，将晶圆台下移，完成脱模
。
[0009]但是，将柔性模板静置于铝质框架上进行搬运
、
压印
、
脱模
。
仅靠柔性模板自身重量静置于铝质框架之上，加之柔性模板与框架间保留数毫米空隙，使得移动时柔性模板于框架内回有所移动
。
[0010]当柔性模板于预压印时进行充气，即执行“对腔室进行充气，形成腔内正压
P1”时，柔性模板加上自身下垂重量，已使得柔性模板有些微拉伸
(
约为1～3％不等
)。
柔性模板上的图形与设计好的对准标记会有些微变形
(XY
拉伸
)、
扭曲，及柔性模板之间的不一致，使得在做多层对准压印时会有对准精度上的变差，无法进一步满足对准套刻应用所需
。

技术实现思路

[0011]为了解决上述技术问题，本专利技术提出了一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置及方法
。
[0012]为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：
[0013]一方面，本专利技术公开一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置，包括：用于承载柔性模板的下承载环以及能够垂直运动的上压环；
[0014]上压环上设有顶撑部，其与下承载环相互配合，用于调整柔性模板的张力
。
[0015]本专利技术公开一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置，包括：下承载环和上压环，利用顶撑部调整柔性模板的张力
。
[0016]在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
[0017]作为优选的方案，下承载环的承载面呈向上扩张呈喇叭状倾斜，即下承载环的承
载面具有第一倾斜面
。
[0018]采用上述优选的方案，利用第一倾斜面对柔性模板进行支撑，便于顶撑部从第一倾斜面的底端对柔性模板进行挤压
。
[0019]作为优选的方案，在上压环上设有与第一倾斜面相对的第二倾斜面，且顶撑部设置于第二倾斜面的底端
。
[0020]采用上述优选的方案，第二倾斜面与第一倾斜面相互配合，使得顶撑部对柔性模板进行挤压
。
[0021]作为优选的方案，第一倾斜面与水平面的夹角为
α
，第二倾斜面与水平面的夹角为
β
，且
β
＞
α
。
[0022]采用上述优选的方案，上压环的第二倾斜面与下承载环的第一倾斜面的倾斜角度差异可以确保挤压效果
。
[0023]作为优选的方案，在下承载环上设有用于对柔性模板的边缘进行限制的限位凸环
。
[0024]采用上述优选的方案，进一步对柔性膜板的边缘进行限位
。
[0025]作为优选的方案，在上压环上设有沿其周向分布的若干调节件，且调节件用于调整其对柔性模板的边缘尾部的挤压力，且柔性模板的边缘尾部置于限位凸环的外侧
。
[0026]采用上述优选的方案，进一步调整顶撑部对柔性模板施加的挤压力
。
[0027]作为优选的方案，上压环具有环形槽口，下承载环能够伸入环形槽口内
。
[0028]采用上述优选的方案，便于后续对柔性模板的搬运
。
[0029]作为优选的方案，上压环与下承载环通过凸起凹槽结构卡接
。
[0030]采用上述优选的方案，上压环和下承载环在卡接后，不会发生相对偏移
。
[0031]此外，另一方面，本专利技术纳米压印用柔性模板的张力调整方法，利用上述任一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置进行张力调整，包括以下内容：
[0032]将柔性模板置于下承载环上；
[0033]上压环向下运动，与下承载环相互配合，且上压环上的顶撑部对柔性模板进行挤压，调整柔性模板的张力，当图像识别装置识别软性模板上图纹形变量达到预设值，则柔性模板的张力调整完成
。
[0034]作为优选的方案，包括：
[0035]步骤
S1
：将柔性模板置于下承载环上，柔性模板的边缘通过下承载环上的限位凸环对其进行限制；
[0036]步骤
S2
：上压环向下运动，上压环上的顶撑部对柔性模板进行挤压，调整柔性模板的张力；
[0037]步骤
S3
：下承载环伸入环形槽口内，且下承载环通过凸起凹槽结构卡接；
[0038]步骤
S4
：调节上压环上的调节件，调整其对柔性模板的边缘尾部的挤压力，当图像识别装置识别软性模板上图纹形变量达到预设值，则柔性模板的张力调整完成
。
[0039]本专利技术一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置及方法具有以下有益效果：
[0040]第一，本专利技术能够解决现有纳米压印时柔性模板的搬运时位移
、
形变不可控难题
。
后续可以直接将调整好张力的柔性模板
(
承载于张力调整装置内
)
进行晶圆压印
。
[0041]第二，本专利技术能够弱化柔性模板下垂自身重量引起的下垂形变，调整柔性模板张
力，确保柔性模板的图纹形变量一致，保证多层套印精度
。
[0042]第三，本专利技术可以提供对准压印技术中的对位标记的形貌确认
、
保障
。
附图说明
[0043]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图
。
[0044本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
纳米压印用柔性模板的张力调整装置，其特征在于，包括：用于承载柔性模板的下承载环以及能够垂直运动的上压环；所述上压环上设有顶撑部，其与下承载环相互配合，用于调整柔性模板的张力
。2.
根据权利要求1所述的张力调整装置，其特征在于，所述下承载环的承载面呈向上扩张呈喇叭状倾斜，即所述下承载环的承载面具有第一倾斜面
。3.
根据权利要求2所述的张力调整装置，其特征在于，在所述上压环上设有与第一倾斜面相对的第二倾斜面，且所述顶撑部设置于第二倾斜面的底端
。4.
根据权利要求3所述的张力调整装置，其特征在于，所述第一倾斜面与水平面的夹角为
α
，所述第二倾斜面与水平面的夹角为
β
，且
β
＞
α
。5.
根据权利要求1‑4任一项所述的张力调整装置，其特征在于，在所述下承载环上设有用于对柔性模板的边缘进行限制的限位凸环
。6.
根据权利要求5所述的张力调整装置，其特征在于，在所述上压环上设有沿其周向分布的若干调节件，且所述调节件用于调整其对柔性模板的边缘尾部的挤压力，且柔性模板的边缘尾部置于限位凸环的外侧
。7.

【专利技术属性】
技术研发人员：袁国华，李其凡，史晓华，
申请(专利权)人：苏州光舵微纳科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：