【技术实现步骤摘要】
本技术具体涉及一种软膜晶圆压印装置。
技术介绍
1、纳米压印技术是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术通过接触式压印完成图形的转移，相当于光学曝光技术中的曝光和显影工艺过程，然后利用刻蚀传递工艺将结构转移到其他材料上。纳米压印技术克服了光学曝光技术中光衍射现象造成的分辨率极限问题，展示了超高分辨率、高效率、低成本、适合工业化生产的独特优势。
2、目前纳米压印制作时，软膜与晶圆之间采用两个水平面直接接触式压印，压印效果不佳。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本技术提出了一种软膜晶圆压印装置。
2、为了达到上述目的，本技术的技术方案如下：
3、本技术公开一种软膜晶圆压印装置，包括：
4、晶圆置放台，晶圆置放台用于放置晶圆；
5、框架置放台，框架置放台为中间镂空的环形结构，其用于承载软膜框架，软膜框架内承载有软膜，框架置放台的相对两端分别与两组台体升降组件传动连接，两组台体升降组件能够带动框架置放台升降及倾斜；>
6、辊轮压印本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.软膜晶圆压印装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，所述软膜晶圆压印装置还包括：视觉检测组件，用于检测软膜与晶圆之间的对准情况。
3.根据权利要求2所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，视觉检测组件包括：视觉驱动机构以及与所述视觉驱动机构传动连接的视觉识别装置，所述视觉驱动机构能够带动视觉识别装置进行位置调整。
4.根据权利要求3所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，所述晶圆置放台能够对晶圆的位置和角度进行调整。
5.根据权利要求1-4任一项所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.软膜晶圆压印装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，所述软膜晶圆压印装置还包括：视觉检测组件，用于检测软膜与晶圆之间的对准情况。
3.根据权利要求2所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，视觉检测组件包括：视觉驱动机构以及与所述视觉驱动机构传动连接的视觉识别装置，所述视觉驱动机构能够带动视觉识别装置进行位置调整。
4.根据权利要求3所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，所述晶圆置放台能够对晶圆的位置和角度进行调整。
5.根据权利要求1-4任一项所述的软膜晶圆压印装置，其特征在于，所述辊轮压印组件包括：辊轮、与所述辊轮传动连接的辊轮转动驱动机...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓成，史晓华，
申请(专利权)人：苏州光舵微纳科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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