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本技术公开一种软膜晶圆压印装置，包括：晶圆置放台、框架以及辊轮压印组件，晶圆置放台用于放置晶圆；框架置放台为中间镂空的环形结构，其用于承载软膜框架，软膜框架内承载有软膜，框架置放台的相对两端分别与两组台体升降组件传动连接，两组台体升降组件能...
该专利属于苏州光舵微纳科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州光舵微纳科技股份有限公司授权不得商用。

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