一种紧固组件及连接结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种紧固组件和连接结构，其中，紧固组件包括紧固件和弹性套筒，紧固件包括头部和连接杆

【技术实现步骤摘要】
一种紧固组件及连接结构


[0001]本技术涉及紧固连接
，具体而言，涉及一种紧固组件及连接结构
。

技术介绍

[0002]双工件台光刻机系统的吸盘，由于其内部有冷却水道，当其内部水路通入高压水时，由于水路压力的波动会造成吸盘发生窜动
。
现有技术中，使用螺钉将吸盘刚性压紧在工件台上，由于吸盘在受力方向的自由度被限制，当吸盘内水压波动较大时，吸盘被刚性固定，容易造成吸盘的损坏；或者是在受力方向上允许有最大的间隙行程，虽然允许吸盘有一定的行程间隙，但是这种限位方式使得吸盘瞬间与限位螺钉接触，此冲击力同样会使吸盘有发生损坏的风险
。
因此，现有技术中还存在如下技术问题，紧固件与待固定件刚性连接或者紧固件与被固件在轴向方向允许有最大的间隙，待固定件沿轴向受到冲击载荷较大时，被固件件容易损坏
。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种紧固组件，用于解决现有技术中，紧固件与待固定件刚性连接或者紧固件与被固件在轴向方向允许有最大的间隙，待固定件沿轴向受到冲击载荷较大时，被固件件容易损坏技术问题
。
[0004]本技术提供的紧固组件，包括：
[0005]紧固件，包括头部和连接杆
,
所述头部固设于所述连接杆的一端，且沿径向向外延伸凸出于所述连接杆的外侧壁，所述连接杆的另一端具有紧固部，用于固接待连接件；
[0006]弹性套筒，包括中空筒体和凸缘
,
所述中空筒体套设于所述连接杆，二者的侧壁之间具有用于固接二者的连接部，所述中空筒体位于所述头部和所述紧固部之间；所述凸缘固设于所述中空筒体的一端，且沿径向向外延伸凸出于所述中空筒体的外侧壁，所述凸缘靠近于所述头部，且两者的端面之间具有预设间隙；
[0007]所述紧固组件被配置为：若所述紧固件与待固定件和所述待连接件连接，且所述紧固部与所述待连接件固连时，若所述待固定件沿轴向受到的冲击载荷小于所述弹性套筒的预设预紧力，则所述头部和所述凸缘之间保持所述预设间隙；若所述待固定件沿轴向受到的冲击载荷大于所述弹性套筒的预设预紧力，则所述中空筒体发生弹性形变，使所述头部和所述凸缘之间的所述预设间隙减小
。
[0008]本技术实施例提供的紧固组件，采用在紧固件上套设弹性套筒，对待固定件在受力方向上进行缓冲限位，起到缓冲保护的作用，防止待固定件被破坏
。
[0009]进一步地，所述中空筒体的圆周壁面设有开孔结构，所述开孔结构贯穿于所述中空筒体的侧壁，如此设置，提高弹性套筒的弹性性能
。
[0010]进一步地，所述开孔结构为圆孔或条形孔，如此设置，便于加工，成本低
。
[0011]进一步地，所述开孔结构的数量为多个，多个所述开孔结构沿所述中空筒体的轴向方向间隔设置且沿所述中空筒体的周向方向间隔设置
。
[0012]进一步地，多个所述开孔结构沿所述中空筒体的轴向方向等间距间隔设置且沿所述中空筒体的周向方向等间距间隔设置，如此设置，使弹性套筒沿周向的弹性变形均匀
。
[0013]进一步地，所述连接部设于所述中空筒体的中部或远离所述凸缘的一端，和
/
或所述连接部通过焊接
、
粘接或销钉连接的方式连接
。
[0014]进一步地，所述紧固部具有外螺纹，所述外螺纹用于与所述待连接件连接
。
[0015]进一步地，所述凸缘的端面设有凸条，所述凸条用于与所述待固定件的第一端面抵接；或，所述凸缘的端面设有至少三个凸点，所述凸点用于与所述待固定件的第一端面抵接
。
[0016]本技术的第二方面提供一种连接结构，包括待固定件
、
待连接件以及上述所述的紧固组件，所述待固定件具有第一孔，所述待连接件具有第二孔，所述紧固组件依次穿过所述的第一孔和所述第二孔并于所述第二孔固连，所述待固定件的第一端与所述凸缘面抵接，所述待固定件的第二端面与所述待连接件抵接，所述中空筒体与所述第一孔配合，其中，所述中空筒体处于自由状态的长度小于等于所述待固定件的厚度
。
[0017]所述紧固组件被配置为：若所述待固定件处于预紧状态或所述待固定件受到外部冲击载荷且冲击载荷小于预设预紧力，则所述凸缘和所述头部之间具有所述预设间隙；若所述待固定件受到外部冲击载荷且冲击载荷大于预设预紧力，则所述待固定件发生位移，所述凸缘和所述头部之间的所述间隙减小；
[0018]进一步地，所述第二孔具有内螺纹，所述第二孔与所述紧固部螺纹连接；或，所述第二孔为通孔，所述紧固件穿过所述通孔且所述紧固部与所述待连接件通过螺母连接
。
附图说明
[0019]图1为本技术实施例提供的紧固组件与待连接件和待固定件的安装状态示意图；
[0020]图2为本技术实施例提供的紧固组件在待连接件受到冲击后的状态示意图；
[0021]图3为本技术实施例提供的紧固组件的结构示意图；
[0022]图4为本技术实施例提供的紧固组件中紧固件的结构示意图；
[0023]图5为本技术实施例提供的紧固组件中弹性套筒的结构示意图；
[0024]附图标记说明：
[0025]10
‑
紧固组件；
[0026]100
‑
紧固件；
110
‑
头部；
120
‑
连接杆；
121
‑
紧固部；
122
‑
外螺纹；
[0027]200
‑
弹性套筒；
201
‑
连接部；
210
‑
中空筒体；
220
‑
凸缘；
230
‑
开孔结构；
[0028]300
‑
待连接件；
310
‑
第二孔；
[0029]400
‑
待固定件；
410
‑
第一孔；
具体实施方式
[0030]为使本技术的上述目的
、
特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图1‑5对本技术的具体实施例做详细的说明
。
[0031]参见附图1‑
附图4，本技术实施例提供的紧固组件
10
，该紧固组件
10
包括紧固件
100
和弹性套筒
200
，紧固件
100
包括头部
110
和连接杆
120,
头部
110
固设于连接杆
120
的一
端，且沿径向向外延伸凸出于连接杆
120
的外侧壁，连接杆
120
的另一端具有紧固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种紧固组件，其特征在于，包括：紧固件
(100)
，包括头部
(110)
和连接杆
(120),
所述头部
(110)
固设于所述连接杆
(120)
的一端，且沿径向向外延伸凸出于所述连接杆
(120)
的外侧壁，所述连接杆
(120)
的另一端具有紧固部
(121)
，用于固接待连接件
(300)
；弹性套筒
(200)
，包括中空筒体
(210)
和凸缘
(220),
所述中空筒体
(210)
套设于所述连接杆
(120)
，二者的侧壁之间具有用于固接二者的连接部
(201)
，所述中空筒体
(210)
位于所述头部
(110)
和所述紧固部
(121)
之间；所述凸缘
(220)
固设于所述中空筒体
(210)
的一端，且沿径向向外延伸凸出于所述中空筒体
(210)
的外侧壁，所述凸缘
(220)
靠近于所述头部
(110)
，且两者的端面之间具有预设间隙；所述紧固组件被配置为：若所述紧固件
(100)
与待固定件
(400)
和所述待连接件
(300)
连接，且所述紧固部
(121)
与所述待连接件
(300)
固连时，若所述待固定件
(400)
沿轴向受到的冲击载荷小于所述弹性套筒
(200)
的预设预紧力，则所述头部
(110)
和所述凸缘
(220)
之间保持所述预设间隙；若所述待固定件
(400)
沿轴向受到的冲击载荷大于所述弹性套筒
(200)
的所述预设预紧力，则所述中空筒体
(210)
发生弹性形变，使所述头部
(110)
和所述凸缘
(220)
之间的所述预设间隙减小
。2.
根据权利要求1所述的紧固组件，其特征在于，所述中空筒体
(210)
的圆周壁面设有开孔结构
(230)
，所述开孔结构
(230)
贯穿于所述中空筒体
(210)
的侧壁
。3.
根据权利要求2所述的紧固组件，其特征在于，所述开孔结构
(230)
为圆孔或条形孔
。4.
根据权利要求3所述的紧固组件，其特征在于，所述开孔结构
(230)
的数量为多个，多个所述开孔结构
(230)
沿所述中空筒体
(210)
的轴向方向间隔设置且沿所述中空筒体
(210)
的周向方向间...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小锐，刘少华，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：