一种限位装置及电子束检测设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及电子束检测技术领域，公开一种限位装置及电子束检测设备

【技术实现步骤摘要】
一种限位装置及电子束检测设备


[0001]本技术涉及电子束检测
，尤其涉及一种限位装置及电子束检测设备
。

技术介绍

[0002]在电子束检测领域，器件尺寸不断缩小，晶圆上缺陷的尺寸也变得越来越小，缺陷检测变得更加的困难
。
电子束检测设备克服了光学波长的限制，且由于其优异的分辨率和检测精度，成为下一代制程
(7nm/5nm)
的检测不可或缺的手段，工件台是电子束检测设备的核心部件之一，为晶圆提供水平向精密定位功能
。
限位装置是工件台必不可少的装置，为工件台提供水平向限位功能
。
在电子束检测装备中，限位装置在真空环境下工作，限位装置的放气率影响检测精度
。
[0003]目前，限位装置包括导向块和底座，底座设置有用于导向的阶梯孔，阶梯孔包括大径孔和小径孔，导向块设置有大径段和小径段，大径段滑动连接于大径孔，小径段滑动连接于小径孔
。
但是为了保证导向块的移动精度，大径段的外壁与大径孔的外壁之间的间隙往往在几个微米内，大径段与阶梯孔的阶梯面之间形成腔室，腔室内的残留空气很难被有效排出，这些残留气体会在设备运行时慢慢被释放，放气率较高，从而在真空环境下影响设备的精密性和稳定性
。
[0004]基于此，亟需一种限位装置及电子束检测设备，以解决上述存在的问题
。

技术实现思路

[0005]基于以上所述，本技术的目的在于提供一种限位装置及电子束检测设备，降低限位装置的放气率，提高电子束检测设备的精密性和稳定性
。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一方面，提供一种限位装置，
[0008]底座，所述底座设置有沿一个方向延伸的导向部，所述导向部内设置有沿轴向延伸且贯通所述底座的阶梯孔，所述阶梯孔包括大径孔和小径孔，所述大径孔与所述小径孔之间设置有阶梯面，所述阶梯孔的侧壁设置有沿径向延伸的第一导气孔，所述第一导气孔位于所述大径孔与所述小径孔衔接处，且贯通所述导向部外壁；
[0009]衬套，所述衬套包括依次连接的第一限位部
、
中间部和第二限位部，所述中间部滑动连接于所述小径孔内，所述第一限位部滑动连接于所述大径孔内，且所述第一限位部能够抵接于所述阶梯面，所述第二限位部能够抵接于所述小径孔远离所述大径孔一端的端面；
[0010]弹性件，其设置于所述底座和所述第二限位部之间，所述弹性件用于驱动所述第二限位部向远离所述底座的方向移动
。
[0011]作为一种限位装置的优选技术方案，所述中间部和所述第二限位部一体成型，所述第一限位部包括锁紧螺钉和垫片，所述垫片设置有通孔，所述中间部靠近所述第一限位
部的一端设置有螺纹孔，所述锁紧螺钉穿设于所述通孔并螺纹连接于所述螺纹孔，所述垫片滑动连接于所述大径孔且能够抵接于所述阶梯面
。
[0012]作为一种限位装置的优选技术方案，所述中间部和所述第一限位部一体成型，所述第二限位部包括锁紧螺钉和顶板，所述顶板设置有通孔，所述中间部靠近所述第二限位部的一端设置有螺纹孔，所述锁紧螺钉穿设于所述通孔并螺纹连接于所述螺纹孔，所述顶板能够抵接于所述小径孔远离所述大径孔一端的端面
。
[0013]作为一种限位装置的优选技术方案，所述锁紧螺钉沿轴向设置有贯穿的第二导气孔
。
[0014]作为一种限位装置的优选技术方案，所述弹性件为弹簧，所述底座设置有凸台，所述弹簧套设于所述导向部，且一端抵接于所述凸台，另一端抵接于所述第二限位部
。
[0015]作为一种限位装置的优选技术方案，所述弹性件的材质为无磁性材料
。
[0016]作为一种限位装置的优选技术方案，所述大径孔内壁
、
所述第一限位部与所述阶梯面之间形成有第一腔室，所述第一导气孔设置于所述大径孔靠近所述小径孔的一端，所述第一导气孔连通于所述第一腔室
。
[0017]作为一种限位装置的优选技术方案，所述第一导气孔部分位于所述小径孔的内壁上，另一部分位于所述大径孔的内壁上
。
[0018]作为一种限位装置的优选技术方案，所述第一导气孔为多个，多个所述第一导气孔沿周向环设于所述阶梯孔
。
[0019]另一方面，提供一种电子束检测设备，包括工作台和以上任一方案所述的限位装置，所述底座可拆卸安装于所述工作台上
。
[0020]本技术的有益效果为：
[0021]本技术提供一种限位装置及电子束检测设备，限位装置在真空环境下，第一限位部与阶梯面之间气体能够经第一导气孔被抽出，实现对限位装置排真空，防止第一限位部与阶梯面之间气体在工作状态下放气，降低限位装置的放气率，提高电子束检测设备的精密性和稳定性
。
[0022]再者，当限位装置在正常状态下，弹性件驱动第二限位部向远离底座的方向移动，第一限位部抵接于阶梯面
。
当限位装置在限位状态下，衬套受力，第二限位部压缩弹性件，第二限位部向靠近底座的方向移动，当第二限位部抵接于小径孔远离大径孔一端的端面，达到最大限位行程
。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图
。
[0024]图1是本技术实施例一提供的限位装置的结构示意图；
[0025]图2是本技术实施例一提供的限位装置的剖视图之一；
[0026]图3是本技术实施例一提供的底座的结构示意图；
[0027]图4是本技术实施例一提供的底座的剖视图；
[0028]图5是本技术实施例一提供的限位装置的剖视图之二；
[0029]图6是本技术实施例一提供的限位装置的部分结构剖视图；
[0030]图7是本技术实施例二提供的限位装置的剖视图；
[0031]图8是本技术实施例三提供的电子束检测设备的局部图
。
[0032]图中标记如下：
[0033]1、
底座；
11、
导向部；
111、
阶梯孔；
1111、
大径孔；
1112、
小径孔；
1113、
阶梯面；
112、
第一导气孔；
12、
凸台；
[0034]2、
衬套；
23、
第一限位部；
24、
第二限位部；
25、
锁紧螺钉；
251、
第二导气孔；
26、
垫片；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种限位装置，其特征在于，底座
(1)
，所述底座
(1)
设置有沿一个方向延伸的导向部
(11)
，所述导向部
(11)
内设置有沿轴向延伸且贯通所述底座
(1)
的阶梯孔
(111)
，所述阶梯孔
(111)
包括大径孔
(1111)
和小径孔
(1112)
，所述大径孔
(1111)
与所述小径孔
(1112)
之间设置有阶梯面
(1113)
，所述阶梯孔
(111)
的侧壁设置有沿径向延伸的第一导气孔
(112)
，所述第一导气孔
(112)
位于所述大径孔
(1111)
与所述小径孔
(1112)
衔接处，且贯通所述导向部
(11)
外壁；衬套
(2)
，所述衬套
(2)
包括依次连接的第一限位部
(23)、
中间部
(27)
和第二限位部
(24)
，所述中间部
(27)
滑动连接于所述小径孔
(1112)
内，所述第一限位部
(23)
滑动连接于所述大径孔
(1111)
内，且所述第一限位部
(23)
能够抵接于所述阶梯面
(1113)
，所述第二限位部
(24)
能够抵接于所述小径孔
(1112)
远离所述大径孔
(1111)
一端的端面；弹性件
(3)
，其设置于所述底座
(1)
和所述第二限位部
(24)
之间，所述弹性件
(3)
用于驱动所述第二限位部
(24)
向远离所述底座
(1)
的方向移动
。2.
根据权利要求1所述的限位装置，其特征在于，所述中间部
(27)
和所述第二限位部
(24)
一体成型，所述第一限位部
(23)
包括锁紧螺钉
(25)
和垫片
(26)
，所述垫片
(26)
设置有通孔，所述中间部
(27)
靠近所述第一限位部
(23)
的一端设置有螺纹孔，所述锁紧螺钉
(25)
穿设于所述通孔并螺纹连接于所述螺纹孔，所述垫片
(26)
滑动连接于所述大径孔
(1111)
且能够抵接于所述阶...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈啸虎，江旭初，周羽，雒佳，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：