压力测试电路以及半导体存储装置制造方法及图纸

技术编号:39664824 阅读:11 留言:0更新日期:2023-12-11 18:28
本发明专利技术公开了一种压力测试电路以及半导体存储装置,该压力测试电路包括控制电路

【技术实现步骤摘要】
压力测试电路以及半导体存储装置


[0001]本专利技术有关压力测试电路以及半导体存储装置


技术介绍

[0002]传统上,在例如动态随机存储器
(DRAM)
或静态随机存取存储器
(SRAM)
等的半导体存储装置的封装工程前后,实施烧机测试
(Burn

In Test)
以进行集成电路的信赖性检查

具体而言,烧机测试例如是通过长时间将施加于位线的预充电电压设定为外部电源的电压或更高的高电压
(
简称为压力电压
)
后,再判别集成于芯片的存储单元的良莠

为此,在测试装置或半导体存储装置设置压力测试电路,用以供给烧机用的压力电压
(
例如:特开平5‑
325547
号公报
)。
[0003]另外,已知的位线的预充电电路包括一个以上的晶体管
(
例如:
N
型或
P
型的金属氧化物半导体场效晶体管
(Metal

Oxide

Semiconductor Field Effect Transistor

MOSFET)

)
,且被配置为在烧机测试中,通过使一个以上的晶体管成为导通状态,将所输出的位线的预充电电压设定为压力电压

[0004]然而,由于位线的预充电电路所供应的压力电压的大小取决于其中的晶体管的阈值电压及反向偏压效应,有可能发生实际供应的压力电压小于预期的压力电压的情况

如此一来,恐怕难以在烧机测试中供给充分的压力电压


技术实现思路

[0005]有鉴于上述课题,本专利技术的目的为提供可以供给适当的压力电压的压力测试电路以及半导体存储装置

[0006]本专利技术提供一种压力测试电路,包括:控制电路,在测试模式中,控制供给电压,该供给电压为被供给到半导体存储装置内的包含晶体管的预充电电路的电压;其中,前述控制电路,基于外部电源的电压,以及包含于前述预充电电路的晶体管的阈值电压,控制前述供给电压

[0007]根据上述专利技术,因为可基于外部电源的电压,及
/
或基于预充电电路的晶体管的阈值电压控制供给电压,即使在晶体管的阈值电压发生变化时,也可以在烧机测试中依据该阈值电压供给充分的供给电压给预充电电路

借此,可以供给适当的压力电压

[0008]根据上述专利技术,可以供给适当的压力电压给半导体存储装置,以对半导体存储装置进行信赖性检查

附图说明
[0009]图1为显示根据本专利技术的一实施例的压力测试电路以及半导体存储装置的构成例的方块图

[0010]图2为显示控制电路的构成例的示意图

[0011]图3为显示晶体管的阈值电压的变化的分布图

[0012]图4为显示外部电源的电压与供给电压的关系的示意图

[0013]附图标记:
[0014]1:
内部电压调整电路
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
BL、/BL:
位线
[0015]10:
压力测试电路
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
BLEQ:
栅极电压
[0016]11:
升压电路
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
en_CLK:
信号
[0017]12:
振荡器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
pump_CLK:
时脉信号
[0018]13:
控制电路
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
SW:
开关
[0019]13a:
恒定电流源
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
VBBSA:
反向偏压
[0020]13b、13c、13d:MOSFET
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
VDD:
外部电源的电压
[0021]13e:
比较器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
VEQL:
供给电压
[0022]20:
预充电电路
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
Vm、Vp:
电位
[0023]21、22、23:N

MOSFET
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
VREF:
基准电压
[0024]I0、I1:
电流
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
VSS:
低电源电压
具体实施方式
[0025]如图1所示,在本实施例中,半导体存储装置包括内部电压调整电路
1、
压力测试电路
10、
开关
SW
以及预充电电路
20。
另外,此处,为了简化说明,未显示半导体存储装置的指令解码器

存储单元阵列

输入输出接口部
(
接口接脚等
)
等已知的构成

[0026]内部电压调整电路1被配置为接收外部电源,且基于外部电源的电压
VDD
生成内部电压

另外,内部电压调整电路1所生成的内部电压可作为提供至由内部电压驱动的一个或更多的其他电路
(
包含预充电电路
20)
的供给电压
VEQL。
内部电压的电平可以低于外部电源的电压
VDD
的电平

于一些实施例中,内部电压调整电路1也可以包括电平转换器等其他已知的构成,该电平转换器依据被供给内部电压的其他电路转换内部电压的电平

[0027]压力测试电路
10
包括升压电路
11、
振荡器
12
以及控制电路
13。
[0028]升压电路
11
被配置为将所接收的电源电压进行升压以生成供给电压
VEQL。
例如,升压电路
11
被配置以对外部电源的电压
VDD
进行升压,且将升压后的电压作为供给电压
VEQL(
在此情况下,
VEQL>VDD)
而输出

升压电路
11
也可以被配置为利用已知的电荷泵电路

[0029]振荡器
12
被配置为生成用以驱动升压电路
11
的时脉信号
pump_CLK。本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种压力测试电路,其特征在于,包括:控制电路,在测试模式中,控制供给电压,该供给电压为被供给到半导体存储装置内的包含晶体管的预充电电路的电压;其中,该控制电路基于外部电源的电压,以及包含于该预充电电路的晶体管的阈值电压,控制该供给电压
。2.
如权利要求1所述的压力测试电路,其特征在于,该预充电电路被配置为预充电半导体存储装置内的位线
。3.
如权利要求1所述的压力测试电路,其特征在于,随着该外部电源的电压提升,该控制电路控制该供给电压提升
。4.
如权利要求1所述的压力测试电路,其特征在于,随着该阈值电压提升,该控制电路控制该供给电压提升
。5.
如权利要求1所述的压力测试电路,其特征在于,还包括:升压电路,将该外部电源的电压升压并生成该供给电压;振荡器,生成用以驱动该升压电路的时脉信号;其中,该控制电路,通过控制该振荡器将由该升压电路生成的该供给电压设定为特定电平,以控制该供给电压
。6.
如权利要求5所述的压力测试电路,其特征在于,该控制电路还包括:恒定电流源;第一晶体管,连接于该供给电压与该恒定电流源之间;第二晶体管,连接该外部电源的电压;第三晶体管,连接于该第二晶体管与低电源电压之间;以及比较器,包含第一输入端子以及第二输入端子,该第一输入端子...

【专利技术属性】
技术研发人员:大平信裕
申请(专利权)人:华邦电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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