一种管道防堵疏通装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体尾气处理技术领域，且公开了一种管道防堵疏通装置及方法，该管道防堵疏通装置及方法，包括机台，所述机台左侧顶部弧形内壁固定连接半导体反应炉底端弧形外壁，所述半导体反应炉底部固定安装有出料口，所述半导体反应炉顶端左侧弧形侧壁固定安装有进料口

【技术实现步骤摘要】
一种管道防堵疏通装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体尾气处理
，具体为一种管道防堵疏通装置及方法
。

技术介绍

[0002]半导体，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常大的，今日大部分的电子产品，如计算机
、
移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅
、
锗
、
砷化镓等
。
[0003]在对半导体进行制程加工时，工业尾气中含有大量污染性气体以及固体颗粒物，排气管中的粉尘等颗粒物受重力影响下落依附在管道上，如果不进行定期清理，将会造成除尘管道的堵塞
。
[0004]传统半导体加工设备直接将尾气排向大气中，目前国家重点要求企业进行环保生产，所以会在排气管中加装滤板对尾气中的颗粒物进行拦截，但是随着排气时间增加，颗粒物撞击滤板会造成其磨损，传统装置不方便对其进行更换，并且单一的滤板结构使得防堵疏通效果不尽理想；鉴于此，我们提出了一种管道防堵疏通装置及方法
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种管道防堵疏通装置及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种管道防堵疏通装置，包括机台，所述机台左侧顶部弧形内壁固定连接半导体反应炉底端弧形外壁，所述半导体反应炉底部固定安装有出料口，所述半导体反应炉顶端左侧弧形侧壁固定安装有进料口，所述出料口和进料口弧形侧壁均固定安装有电磁阀，所述半导体反应炉顶部固定安装有炉盖，所述半导体反应炉顶端右侧弧形侧壁固定连接排气管一端侧壁，所述机台顶部设置有拦截机构和转动机构，所述拦截机构包括：
[0007]处理装置本体，所述排气管远离半导体反应炉的一端圆形内壁通过法兰盘固定连接处理装置本体左右两端圆形侧壁，所述处理装置本体弧形侧壁固定安装有固定盒，所述固定盒顶部开设有卡槽，所述卡槽内壁滑动贴合卡块侧壁；
[0008]斜面柱，所述固定盒顶端右侧开孔内部滑动安装有斜面柱，所述斜面柱右侧侧壁固定连接双耳圆块左侧中心侧壁，所述斜面柱外侧套接有贴紧弹簧，所述贴紧弹簧左侧一端固定连接固定盒右侧侧壁，所述贴紧弹簧右侧一端固定连接双耳圆块左侧侧壁，所述双耳圆块底端左侧侧壁固定连接细杆右侧一端，所述细杆左侧一端弧形外壁滑动贴合固定盒右侧侧壁内部；
[0009]连杆，所述卡块底部固定连接连杆顶部，所述连杆底部固定连接滤板顶部弧形侧壁，所述滤板外径与处理装置本体内径相适配，所述卡块顶部固定安装有拉环
。
[0010]优选的，所述卡槽底部的处理装置本体弧形侧壁开设有与滤板厚度相同的槽，以
使得滤板在顺利上下运动的同时，可以将处理装置本体弧形侧壁进行初步封堵
。
[0011]优选的，所述卡槽前后侧方向上的前后两端不贯穿固定盒，且中部贯穿固定盒并与处理装置本体内部连通，所述卡块左右方向侧壁开设有与斜面柱外径相适配的通孔
。
[0012]优选的，所述斜面柱
、
双耳圆块
、
贴紧弹簧以及细杆设置有两组，且以固定盒左右方向上的水平中线为对称轴对称设置在其前后两端，以使得滤板固定的更加牢固
。
[0013]优选的，所述转动机构包括固定杆，所述处理装置本体底端弧形内壁固定连接固定杆底部，所述固定杆位于滤板的左侧，所述固定杆顶端圆形侧壁截面圆心与处理装置本体圆形侧壁截面圆心同轴心
。
[0014]优选的，所述固定杆顶端弧形内壁转动连接转轴弧形外壁，所述处理装置本体后侧弧形内壁固定安装有斜板，所述转轴左端弧形外壁固定连接涡轮中心弧形内壁，所述斜板位于涡轮左侧，且所述斜板前侧侧壁与转轴竖直中线位于同一竖直平面内，以使得斜板可以将涡轮后侧一半进行遮挡
。
[0015]优选的，所述转轴右侧弧形外壁固定安装有长条块，所述长条块右侧侧壁固定连接刷毛一端，所述刷毛远离长条块的一端滑动贴合滤板左侧侧壁，所述长条块和刷毛设置有四组，且以转轴圆形截面圆心为阵列中心等间距圆周阵列在其右端外侧，以使得清洁效果更好
。
[0016]优选的，所述处理装置本体底端设置有收集组件，所述处理装置本体底端弧形侧壁固定安装有螺纹套，所述螺纹套位于固定盒的正下方，所述螺纹套内部螺纹连接收集罐顶端，所述收集罐顶部通过卡扣卡接锥形罩顶部，所述锥形罩底部圆形截面面积小于其顶部圆形截面面积，防止废气倒灌进入收集罐内部，将颗粒物重新带出
。
[0017]优选的，所述机台顶部设置有辅助组件，所述机台顶部固定连接龙门架底部，所述龙门架顶部固定安装有风机，所述风机输出端固定连接细管一端，所述细管远离风机的一端贯穿排气管底端弧形侧壁，且出气口面向处理装置本体的方向，从而可以增强废气的流速，更好地带动涡轮进行转动
。
[0018]一种管道防堵疏通装置及方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
[0019]S1、
当启动半导体反应炉，生产过程中产生的废气通过排气管向处理装置本体的方向输送；
[0020]S2、
当启动风机，配合细管和排气管向处理装置本体的方向输送空气，使得废气流速进一步加强；
[0021]S3、
当废气通过滤板时，内部的颗粒物会被其拦截，配合固定盒
、
卡槽
、
卡块
、
斜面柱
、
双耳圆块
、
贴紧弹簧
、
细杆
、
连杆以及拉环，可以方便地取放滤板，从而方便对滤板进行更换；
[0022]S4、
当颗粒物被滤板拦截后，会受其自身重力影响，经过锥形罩落入收集罐内，锥形罩可以通过卡扣进行取放，且起到防止废气倒灌进入收集罐内部，将颗粒物重新带出的效果；
[0023]S5、
当废气经过转动机构时，配合固定杆
、
斜板和涡轮，使得转轴进行转动；
[0024]S6、
当转轴转动时，从而配合长条块带动多组刷毛在滤板侧壁进行刮动，达到更好的清理颗粒物的效果
。
[0025]与现有技术相比，本专利技术提供了一种管道防堵疏通装置及方法，具备以下有益效
果：
[0026]1、
该管道防堵疏通装置及方法，为了更好地在防堵疏通的同时方便对滤板进行更换，通过设置有拦截机构，当废气通过滤板时，内部的颗粒物会被其拦截，从而配合收集组件起到了防堵疏通的效果，进一步地，配合固定盒
、
卡槽
、
卡块
、
斜面柱
、
双耳圆块
、
贴紧弹簧
、
细杆
、
连杆以及拉环，可以方便地取放滤板，从而方便对滤板进行更换
。
[0027]2、<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种管道防堵疏通装置，包括机台
(1)
，其特征在于：所述机台
(1)
左侧顶部弧形内壁固定连接半导体反应炉
(2)
底端弧形外壁，所述半导体反应炉
(2)
底部固定安装有出料口
(3)
，所述半导体反应炉
(2)
顶端左侧弧形侧壁固定安装有进料口
(4)
，所述出料口
(3)
和进料口
(4)
弧形侧壁均固定安装有电磁阀
(5)
，所述半导体反应炉
(2)
顶部固定安装有炉盖
(6)
，所述半导体反应炉
(2)
顶端右侧弧形侧壁固定连接排气管
(7)
一端侧壁，所述机台
(1)
顶部设置有拦截机构
(8)
和转动机构
(9)
，所述拦截机构
(8)
包括：处理装置本体
(81)
，所述排气管
(7)
远离半导体反应炉
(2)
的一端圆形内壁通过法兰盘
(82)
固定连接处理装置本体
(81)
左右两端圆形侧壁，所述处理装置本体
(81)
弧形侧壁固定安装有固定盒
(83)
，所述固定盒
(83)
顶部开设有卡槽
(84)
，所述卡槽
(84)
内壁滑动贴合卡块
(85)
侧壁；斜面柱
(86)
，所述固定盒
(83)
顶端右侧开孔内部滑动安装有斜面柱
(86)
，所述斜面柱
(86)
右侧侧壁固定连接双耳圆块
(87)
左侧中心侧壁，所述斜面柱
(86)
外侧套接有贴紧弹簧
(88)
，所述贴紧弹簧
(88)
左侧一端固定连接固定盒
(83)
右侧侧壁，所述贴紧弹簧
(88)
右侧一端固定连接双耳圆块
(87)
左侧侧壁，所述双耳圆块
(87)
底端左侧侧壁固定连接细杆
(89)
右侧一端，所述细杆
(89)
左侧一端弧形外壁滑动贴合固定盒
(83)
右侧侧壁内部；连杆
(810)
，所述卡块
(85)
底部固定连接连杆
(810)
顶部，所述连杆
(810)
底部固定连接滤板
(811)
顶部弧形侧壁，所述滤板
(811)
外径与处理装置本体
(81)
内径相适配，所述卡块
(85)
顶部固定安装有拉环
(812)。2.
根据权利要求1所述的一种管道防堵疏通装置，其特征在于：所述卡槽
(84)
底部的处理装置本体
(81)
弧形侧壁开设有与滤板
(811)
厚度相同的槽
。3.
根据权利要求1所述的一种管道防堵疏通装置，其特征在于：所述卡槽
(84)
前后侧方向上的前后两端不贯穿固定盒
(83)
，且中部贯穿固定盒
(83)
并与处理装置本体
(81)
内部连通，所述卡块
(85)
左右方向侧壁开设有与斜面柱
(86)
外径相适配的通孔
。4.
根据权利要求1所述的一种管道防堵疏通装置，其特征在于：所述斜面柱
(86)、
双耳圆块
(87)、
贴紧弹簧
(88)
以及细杆
(89)
设置有两组，且以固定盒
(83)
左右方向上的水平中线为对称轴对称设置在其前后两端
。5.
根据权利要求1所述的一种管道防堵疏通装置，其特征在于：所述转动机构
(9)
包括固定杆
(91)
，所述处理装置本体
(81)
底端弧形内壁固定连接固定杆
(91)
底部，所述固定杆
(91)
位于滤板
(811)
的左侧，所述固定杆
(91)
顶端圆形侧壁截面圆心与处理装置本体
(81)
圆形侧壁截面圆心同轴心
。6.
根据权利要求5所述的一种管道防堵疏通装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：发明
国别省市：