一种无焰低温燃烧器及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种无焰低温燃烧器及其使用方法，无焰低温燃烧器，包括燃烧筒、保温套筒和外筒，所述燃烧筒围合形成燃烧室，所述燃烧筒内壁面包括金属纤维毡层，所述保温套筒套设于燃烧筒外以起保温作用，所述外筒套设于保温套筒外且与保温套筒之间形成上下密闭的环形进气腔，所述环形进气腔可与外部气源连通，且所述保温套筒和燃烧筒被设计为，所述外部气源供给的燃烧材料可穿经保温套筒和燃烧筒进入燃烧室内。本发明专利技术结构合理、燃烧均匀性好、无大范围明火且有利于充分燃烧。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有害气体处理，具体为一种无焰低温燃烧器及其使用方法。

技术介绍

1、半导体行业相关产品如芯片制造中，各阶段都会产生不同的废气，例如：薄膜沉积工艺的热氧化工艺中产生含有未反应的含卤素氧化剂的酸性废气，cvd工艺产生含有sih4、sicl4、sih2cl2、ph3、hf、hcl、nh3等的废气，刻蚀工艺会产生酸、碱、有机废气，还包括一些气态副产物(如h2、no、nh3等)，掺杂工艺会产生含磷烷、砷烷的酸性废气等。这些尾气普遍具有有毒、易燃等性质，处理不当会产生严重的安全事故，造成严重的经济损失，还会对环境造成严重污染。

2、现有的半导体尾气处理设备基于原理的不同被划分为多种不同类型，如燃烧式尾气处理设备、等离子尾气处理设备、电加热尾气处理设备等。其中，现有的燃烧式尾气处理设备是通过燃烧室内高温火焰使尾气得到充分燃烧，不仅存在尾气在燃烧室燃烧不均匀、不充分的问题，而且存在较大范围的明火，安全性差。因此，现有技术还有待进一步发展。

技术实现思路

1、本专利技术公开了一种无焰低温燃烧器及其使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无焰低温燃烧器，其特征在于，包括燃烧筒(61)、保温套筒(62)和外筒(63)，所述燃烧筒(61)围合形成燃烧室(64)，所述燃烧筒(61)内壁面包括金属纤维毡层，所述保温套筒(62)套设于燃烧筒(61)外以起保温作用，所述外筒(63)套设于保温套筒(62)外且与保温套筒(62)之间形成上下密闭的环形进气腔(65)，所述环形进气腔(65)可与外部气源连通，且所述保温套筒(62)和燃烧筒(61)被设计为，所述外部气源供给的燃烧材料可穿经保温套筒(62)和燃烧筒(61)进入燃烧室内。

2.根据权利要求1所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，所述金属纤维毡通过金属纤维丝烧结制成...

【技术特征摘要】

1.一种无焰低温燃烧器，其特征在于，包括燃烧筒(61)、保温套筒(62)和外筒(63)，所述燃烧筒(61)围合形成燃烧室(64)，所述燃烧筒(61)内壁面包括金属纤维毡层，所述保温套筒(62)套设于燃烧筒(61)外以起保温作用，所述外筒(63)套设于保温套筒(62)外且与保温套筒(62)之间形成上下密闭的环形进气腔(65)，所述环形进气腔(65)可与外部气源连通，且所述保温套筒(62)和燃烧筒(61)被设计为，所述外部气源供给的燃烧材料可穿经保温套筒(62)和燃烧筒(61)进入燃烧室内。

2.根据权利要求1所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，所述金属纤维毡通过金属纤维丝烧结制成且可耐800～1450°高温，所述金属纤维毡的孔径沿径向方向自外而内渐小。

3.根据权利要求2所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，所述金属纤维毡的孔隙率为85～95％，且所述金属纤维毡的孔径大小为3～20μm。

4.根据权利要求2所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，所述金属纤维毡包括钨合金。

5.根据权利要求1～4中任一所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，所述保温套筒(62)包括耐高温玻璃棉层。

6.根据权利要求5所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，所述保温套筒(62)还包括铁铬铝纤维布层，且所述耐高温玻璃棉层与铁铬铝纤维布层叠交错设置。

7.根据权利要求5所述的无焰低温燃烧器，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，陈刚，王占杰，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：发明
国别省市：