一种具备防堵功能的机台出气口制造技术

本技术涉及半导体废气处理技术领域，且公开了一种具备防堵功能的机台出气口，该具备防堵功能的机台出气口，包括出气管体，出气管体的内部设置有防堵机构。该具备防堵功能的机台出气口，设置环形制冷器对半导体废气进行提前冷却结晶，并且通过滤网进行过滤，避免在进入管道中后端时才生产粉尘结晶，导致因为管道长度限制难以清理，甚至造成管道堵塞后导致气体外泄，危害现场工作人员的工作安全，并通过设置的电机、转杆、转动锥齿轮、从动锥齿轮和连接杆的配合带动刮板进行转动对滤网表面以及出气管体的内壁进行刮除清理，避免结晶或粉尘粘附在滤网表面或者出气管体内壁表面，影响滤网的过滤效果和出气管体的输气效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体废气处理，具体为一种具备防堵功能的机台出气口。

技术介绍

1、半导体材料是指导电率介于金属和绝缘体之间的材料，半导体材料是制作晶体管、集成电路、光电子器件的重要材料，导体和lcd工艺中使用的大部分气态物质(sih4，ph3，ash3)，是具有毒性或危险性的气态物质，所以制造过程后排出的有毒气体必须通过处理装置来减轻及稀释其毒性，以降低危险性。

2、现有的半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理，但由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远，因此需要使用出气管道连接出气口对半导体废气进行运输。

3、但是上述设备在实际使用过程中，因为部分酸性/碱性废气在输送到中央废气处理系统前，常因气体特性导致在管道中结晶或发生粉尘堆积，容易造成管道堵塞后导致气体外泄，甚至可能会引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全；鉴于此，我们提出了一种具备防堵功能的机台出气口。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种具备防堵功能的机台出气口，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具备防堵功能的机台出气口，包括出气管体，所述出气管体的内部设置有防堵机构，所述防堵机构包括：

3、环形制冷器，所述环形制冷器固定安装在出气管体的外侧，环形制冷器可对出气管体内部进行冷却处理；

4、电机，所述电机固定安装在出气管体的上表面，所述电机的输出轴贯穿出气管体的上表面固定安装有转杆，所述转杆的底端固定安装有转动锥齿轮，电机启动时可通过转杆带动转动锥齿轮进行转动；

5、滤网，所述滤网固定安装在出气管体的内部，设置的滤网可对废气中的粉尘结晶进行过滤处理，所述滤网的左端设置有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮的右端固定安装有连接杆，所述连接杆的右端外侧贯穿滤网左侧表面的中心处固定安装有刮板，连接杆进行转动时可带动刮板进行转动；

6、收集口，所述收集口开设在出气管体的底面，所述收集口的底部通过螺栓固定安装有收集箱。

7、优选的，所述转动锥齿轮的齿面与从动锥齿轮的齿面相互啮合，转动锥齿轮进行转动时可带动从动锥齿轮同步进行转动。

8、优选的，所述刮板的远离连接杆的一侧表面与出气管体的内壁相互贴合。

9、优选地，所述收集口位于刮板正下方。

10、优选的，所述收集箱的内部上端固定安装有导风板，所述收集箱的左侧内壁表面固定安装有红外传感器，所述收集箱的右侧表面固定安装有警报灯。

11、优选地，所述红外传感器与警报灯之间电气连接。

12、与现有技术相比，本技术提供了一种具备防堵功能的机台出气口，具备以下有益效果：

13、1、该具备防堵功能的机台出气口，通过设置的环形制冷器对半导体废气进行提前冷却结晶，并且通过滤网进行过滤，再输送到管道内部进行运输，避免在进入管道中后端时才生产粉尘结晶，导致因为管道长度限制难以清理，甚至造成管道堵塞后导致气体外泄，严重者引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全，并通过设置的电机、转杆、转动锥齿轮、从动锥齿轮和连接杆的配合带动刮板进行转动对滤网表面以及出气管体的内壁进行刮除清理，避免结晶或粉尘沾附在滤网表面或者出气管体内壁表面，影响滤网的过滤效果和出气管体的输气效率。

14、2、该具备防堵功能的机台出气口，通过设置的红外传感器和警报灯对收集箱内部的粉尘结晶量进行检测，避免溢出，同时通过设置的导风板避免废气进入收集箱内部带着粉尘飘起影响防堵效果的同时避免收集箱的左侧内壁对废气造成阻碍。

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【技术保护点】

1.一种具备防堵功能的机台出气口，包括出气管体(1)，其特征在于：所述出气管体(1)的内部设置有防堵机构(2)，所述防堵机构(2)包括：

2.根据权利要求1所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述转动锥齿轮(204)的齿面与从动锥齿轮(206)的齿面相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述刮板(208)的远离连接杆(207)的一侧表面与出气管体(1)的内壁相互贴合。

4.根据权利要求1所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述收集口(209)位于刮板(208)正下方。

5.根据权利要求1所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述收集箱(210)的内部上端固定安装有导风板(213)，所述收集箱(210)的左侧内壁表面固定安装有红外传感器(212)，所述收集箱(210)的右侧表面固定安装有警报灯(211)。

6.根据权利要求5所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述红外传感器(212)与警报灯(211)之间电气连接。

【技术特征摘要】

1.一种具备防堵功能的机台出气口，包括出气管体(1)，其特征在于：所述出气管体(1)的内部设置有防堵机构(2)，所述防堵机构(2)包括：

2.根据权利要求1所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述转动锥齿轮(204)的齿面与从动锥齿轮(206)的齿面相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种具备防堵功能的机台出气口，其特征在于：所述刮板(208)的远离连接杆(207)的一侧表面与出气管体(1)的内壁相互贴合。

4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：