静电卡盘高温测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体设备，特别是涉及一种静电卡盘高温测试装置

【技术实现步骤摘要】
静电卡盘高温测试装置


[0001]本专利技术涉及一种半导体设备，特别是涉及一种静电卡盘高温测试装置
。

技术介绍

[0002]对静电卡盘进行性能测试时，将静电卡盘安装在腔室内的工装上，保证腔室气密性，在真空环境中，给静电卡盘通电，静电卡盘吸附晶圆等被吸附物，通过背压读数换算出吸附力
。
[0003]采用现有的测试设备对静电卡盘进行高温测试时，首先对静电卡盘加热升温，如静电卡盘出现问题或者测试完成，需要测试下一块静电卡盘时，则需要等腔室内零件冷却到接近室温才可打开腔室取走静电卡盘
。
而在静电卡盘装夹状态下，由于夹具与静电卡盘材料不同
、
热膨胀不匹配，为防止受损，静电卡盘只能在真空中通过热辐射缓慢降温，不能快冷
。
在单腔室中高温测试一个静电卡盘的总时长接近一个工作日，效率低下
。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供一种检测效率更高的静电卡盘高温测试装置
。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请提供了如下技术方案：
[0006]本专利技术静电卡盘高温测试装置，包括依次放置的预热腔室
、
测试腔室
、
冷却腔室及传送组件，所述预热腔室
、
所述测试腔室
、
所述冷却腔室的侧壁上分别设置有真空接口，各所述真空接口分别与所述预热腔室
、
所述测试腔室
、
所述冷却腔室的内腔连通，所述预热腔室
、
所述冷却腔室分别带有可拆卸的腔室盖，所述预热腔室用于加热静电卡盘，所述测试腔室用于测试加热后的所述静电卡盘，所述冷却腔室用于冷却测试后的所述静电卡盘，所述传送组件用于将所述静电卡盘从所述预热腔室传输至所述测试腔室，再从所述测试腔室传输至所述冷却腔室
。
[0007]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述预热腔室内设置有加热器
。
[0008]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述加热器表面设置有均热板
。
[0009]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述测试腔室内设置有测试工装及弹性夹紧机构，所述弹性夹紧机构用于定位所述静电卡盘，所述测试工装用于检测所述静电卡盘
。
[0010]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述冷却腔室内设置有冷却器
。
[0011]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述冷却腔室内壁设置有冷却气喷嘴，所述冷却气喷嘴连接非氧化性气源
。
[0012]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述传送组件包括第一传送机构
、
第二传送机构，所述预热腔室与所述测试腔室之间设置有第一隔板装置及所述第一传送机构，所述第一隔板装置用于使所述预热腔室与所述测试腔室相互连通或相互隔开，所述第一传送机构用于将位于所述预热腔室内的所述静电卡盘运送至所述测试腔室内，所述测试腔室与所述冷却腔室之间设置有第二隔板装置及所述第二传送机构，所述第二隔板装置用于使所述测试腔室与所述冷却腔室相互连通或相互隔开，所述第二传送机构用于将位于所述测试腔
室内的所述静电卡盘运送至所述冷却腔室内
。
[0013]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述第一传送机构
、
所述第二传送机构均为三自由度机械手，所述第一传送机构设置于所述预热腔室内，所述第二传送机构设置于所述测试腔室内
。
[0014]本专利技术静电卡盘高温测试装置，其中所述第一隔板装置及所述第二隔板装置均为插板阀
。
[0015]与现有技术相比，本专利技术静电卡盘高温测试装置至少具有以下有益效果：
[0016]本专利技术静电卡盘高温测试装置由于包括依次放置的预热腔室
、
测试腔室
、
冷却腔室，上述各腔室提供不同功能，加热
、
检测和冷却由三个腔室独立完成，并且三个腔室按顺序先后排列，因此静电卡盘可提前预热
、
快速冷却，整个测试工艺可连续进行，大幅缩短检测时间
、
提高检测效率；同时，由于各腔室分别完成不同的功能，因此预热腔室
、
测试腔室和冷却腔室各自的结构简化，通过增加不大的前期投入，大幅度提高检测效率，检测效率比相同总造价的若干个单腔室检测装置更高
。
[0017]下面结合附图对本专利技术静电卡盘高温测试装置作进一步说明
。
附图说明
[0018]图1为本专利技术静电卡盘高温测试装置中预热腔室的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术静电卡盘高温测试装置中测试腔室的结构示意图；
[0020]图3为本专利技术静电卡盘高温测试装置中冷却腔室的结构示意图；
[0021]图4为本专利技术静电卡盘高温测试装置的结构示意图
。
具体实施方式
[0022]如图
1、
图
2、
图
3、
图4所示，本专利技术静电卡盘高温测试装置，包括依次放置的预热腔室
1、
测试腔室
3、
冷却腔室5及传送组件，预热腔室
1、
测试腔室
3、
冷却腔室5的侧壁上分别设置有真空接口
81、82、83
，各真空接口
81、82、83
分别与预热腔室
1、
测试腔室
3、
冷却腔室5的内腔连通，预热腔室
1、
冷却腔室5分别带有可拆卸的腔室盖
13、53
，预热腔室1用于加热静电卡盘，测试腔室3用于测试加热后的静电卡盘，冷却腔室5用于冷却测试后的静电卡盘，传送组件用于将静电卡盘从预热腔室1传输至测试腔室3，再从测试腔室3传输至冷却腔室
5。
本专利技术静电卡盘高温测试装置工作时，将预热腔室
1、
测试腔室
3、
冷却腔室5分别经真空接口
81、82、83
抽真空，第一个静电卡盘放入预热腔室1进行加热，温度达到要求后，经传送组件将第一个静电卡盘送入测试腔室3进行性能测试，同时将第二个静电卡盘放入预热腔室1开始加热，第一个静电卡盘测试完毕后经传送组件传送至冷却腔室5进行冷却，第二个静电卡盘加热至预定温度后依次经测试腔室3检测
、
冷却腔室5冷却
。
本专利技术静电卡盘高温测试装置由于包括依次放置的预热腔室
1、
测试腔室
3、
冷却腔室5，上述各腔室提供不同功能，加热
、
检测和冷却由三个腔室独立完成，并且三个腔室按顺序先后排列，因此静电卡盘可提前预热
、
快速冷却，整个测试工艺可连续进行，大幅缩短检测时间
、
提高检测效率；同时，由于各腔室分别完成不同的功能，因此预热腔室
、
测试腔室和冷却腔室各自的结构简化，通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种静电卡盘高温测试装置，其特征在于，包括依次放置的预热腔室
(1)、
测试腔室
(3)、
冷却腔室
(5)
及传送组件，所述预热腔室
(1)、
所述测试腔室
(3)、
所述冷却腔室
(5)
的侧壁上分别设置有真空接口
(81、82、83)
，各所述真空接口
(81、82、83)
分别与所述预热腔室
(1)、
所述测试腔室
(3)、
所述冷却腔室
(5)
的内腔连通，所述预热腔室
(1)、
所述冷却腔室
(5)
分别带有可拆卸的腔室盖
(13、53)
，所述预热腔室
(1)
用于加热静电卡盘，所述测试腔室
(3)
用于测试加热后的所述静电卡盘，所述冷却腔室
(5)
用于冷却测试后的所述静电卡盘，所述传送组件用于将所述静电卡盘从所述预热腔室
(1)
传输至所述测试腔室
(3)
，再从所述测试腔室
(3)
传输至所述冷却腔室
(5)。2.
根据权利要求1所述的静电卡盘高温测试装置，其特征在于，所述预热腔室
(1)
内设置有加热器
(2)。3.
根据权利要求2所述的静电卡盘高温测试装置，其特征在于，所述加热器
(2)
表面设置有均热板
。4.
根据权利要求3所述的静电卡盘高温测试装置，其特征在于，所述测试腔室
(3)
内设置有测试工装
(14)
及弹性夹紧机构
(4)
，所述弹性夹紧机构
(4)
用于定位所述静电卡盘，所述测试工装
(14)
用于检测所述静电卡盘
。5.
根据权利要求4所述的静电卡盘高温测试装置，其特征在于，所述冷却腔室
(5)
内设...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎远成，杨鹏远，王建冲，张玉利，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：