【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于供气，尤其涉及一种供气转接装置。
技术介绍
1、双工件台光刻机系统，需要的流道系统较为复杂。通常双工件台光刻机系统为对称结构，由于两个工件台对气源的需求情况是相同的，仅仅是气源的进气口位置及出气口位置对称的或近似对称的。如果使用传统的供气装置，则需要定制两个不同的转接装置，为光刻机的两个工件台提供相应的气源，增加设备结构的复杂性。
技术实现思路
1、为了解决现有技术的不足，本专利技术提供一种供气转接装置，适用性高，能够同时满足多种供气要求，有利于降低系统复杂性。
2、本专利技术提供给一种供气转接装置，包括：装置本体和管接头，
3、所述装置本体上设置有至少两个出气口和至少一个进气插孔，所述进气插孔分别通过所述装置本体内相应的流道与各个所述出气口相连，
4、所述进气插孔所对应的所述流道的进口端沿所述进气插孔的深度方向间隔设置，
5、所述管接头可拆地设置在相应的所述进气插孔中，所述管接头上设置有用于与所述流道的进口端相连通的连接口，其...
【技术保护点】
1.一种供气转接装置，其特征在于，包括：装置本体和管接头，
2.根据权利要求1所述的供气转接装置，其特征在于，所述管接头包括：第一管接头，
3.根据权利要求2所述的供气转接装置，其特征在于，所述第一连接口的轴向的两侧分别设置有第一密封圈，
4.根据权利要求2或3所述的供气转接装置，其特征在于，所述第一管接头的外周壁上设置有至少两个所述第一连接口，所述第一连接口沿所述第一管接头的轴向依次间隔设置。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的供气转接装置，其特征在于，所述管接头包括：第二管接头，
6.根据权利要求5所述...
【技术特征摘要】
1.一种供气转接装置，其特征在于，包括：装置本体和管接头，
2.根据权利要求1所述的供气转接装置，其特征在于，所述管接头包括：第一管接头，
3.根据权利要求2所述的供气转接装置，其特征在于，所述第一连接口的轴向的两侧分别设置有第一密封圈，
4.根据权利要求2或3所述的供气转接装置，其特征在于，所述第一管接头的外周壁上设置有至少两个所述第一连接口，所述第一连接口沿所述第一管接头的轴向依次间隔设置。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的供气转接装置，其特征在于，所述管接头包括：第二管接头，
6.根据权利要求5所述的供气转接装置，其特征在于，所述第二管接头上的靠近所述第二连接口的外周壁上设置有至少一个第二密封...
【专利技术属性】
技术研发人员：李小锐，王军，刘少华，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。