【技术实现步骤摘要】
一种氮化硼陶瓷承烧板及其制备方法
[0001]本专利技术涉及陶瓷
,更具体的说是涉及一种氮化硼陶瓷承烧板及其制备方法
。
技术介绍
[0002]随着微电子设备的广泛发展,作为基体材料或封装材料的高导热氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷受到广泛的重视及应用
。
氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷产品在生产过程中,烧结是关键生产工序之一,用于将氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷生瓷片在高温下烧结转变为相应的陶瓷产品
。
在氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷的烧结过程中,影响产品质量的因素较多,其中,烧结使用的承烧板质量就是非常关键的因素
。
承烧板是承放烧结氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷的载体,它的质量与性能的好坏,对烧成氮化铝陶瓷和氮化硅陶瓷制品的质量
、
产量
、
能耗和成本等都有直接的影响
。
使用过程中,承烧板不但要承受高温烧结温度以及承烧陶瓷产品所带来的压力,而且要经受反复的冷热循环,因此要求具有耐高温
、
机械强度高
、
化学性能稳定
、
抗热震稳定性好和使用寿命长等特点
。
[0003]氮化硼材料,具有高温自润滑作用
、
热膨胀系数低
、
热导率高
、
抗热震性能好
、
高温化学稳定性良好
、
对凝固物的剥离性好
、
与熔融金属不浸润等优点,现已广泛应用于熔炼金属的坩埚
、
输送液 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,包括以下重量份的原料:氮化硼粉体
90
‑
110
份
、
纳米稀土氧化物3‑5份
、
复合烧结助剂3‑5份
、
分散剂1‑3份和表面活性剂1‑3份
。2.
根据权利要求1所述的一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,包括以下重量份的原料:氮化硼粉体
100
份
、
纳米稀土氧化物4份
、
复合烧结助剂4份
、
分散剂2份和表面活性剂2份
。3.
根据权利要求1或2所述的一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,所述氮化硼粉体为六方氮化硼粉体,粒度为
100
‑
500nm
,纯度>
99%。4.
根据权利要求1或2所述的一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,所述纳米稀土氧化物为纳米氧化铈
、
纳米氧化镧
、
纳米氧化钇
、
纳米氧化镨和纳米氧化钕中至少一种,粒径为
10
‑
80nm。5.
根据权利要求1或2所述的一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,所述复合烧结助剂为氧化物
、
硼化物和碳化物中的至少两种;氧化物为氧化硼
、
氧化钙和氧化锆中的至少一种;所述硼化物为硼化钛
、
硼化锆和硼化钒中的至少一种;所述碳化物为碳化钛
、
碳化锆和碳化硅中的至少一种
。6.
根据权利要求1或2所述的一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,所述分散剂为去离子水
、
聚乙烯
、
无水乙醇和甘油中的至少一种
。7.
根据权利要求1或2所述的一种氮化硼陶瓷承烧板,其特征在于,所述表面活性剂为单...
【专利技术属性】
技术研发人员:王前,巩鹏程,张雍,任文杰,任学美,
申请(专利权)人:山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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